一种可拆分式蒸镀机防着板制造技术

本实用新型专利技术涉及蒸镀机领域，具体涉及一种可拆分式蒸镀机防着板，其技术方案是：包括蒸镀源与第一防着板，蒸镀源左右两侧对称设置有固定板，还包括第一拆装机构、电动升降杆、第二拆装机构、第二防着板与第三防着板，所述第一防着板与第二防着板均通过第一拆装机构连接在固定板顶部，所述第一防着板与第二防着板的相对面相贴合，所述电动升降杆固定连接在固定板侧部，所述第三防着板通过第二拆装机构连接在电动升降杆顶部，本实用新型专利技术的有益效果是：在延长防着板的使用周期的同时，能够使得防着板正反面均可被利用，有效减少停机开腔维护次数。数。数。

【技术实现步骤摘要】
一种可拆分式蒸镀机防着板


[0001]本技术涉及蒸镀机领域，具体涉及一种可拆分式蒸镀机防着板。

技术介绍

[0002]蒸镀机被誉为屏幕界的光刻机，是生产高端OLED屏最核心的设备，OLED的生产环节主要包括五大步骤，分别是LTPS、蒸镀、封装、单元、模块，其中，蒸镀是至关重要的一步，简单说就是在玻璃基板上“蒸”出包括红、绿、蓝三色的有机发光层。
[0003]现有技术中，蒸镀机中的蒸镀源内装填有机材料，通过加热，使得材料升华逸出蒸镀源镀到基板上，随着材料的蒸发，蒸发源口部位的防着板因为接近蒸镀口，材料容易堆积在蒸发源口的防着板上。
[0004]中国专利网于2022年1月28日公开了一种用于蒸镀机防着板的技术专利，其公开号为CN215668182U，该技术专利包括蒸镀源，所述蒸镀源的两侧对称设置有升降控制器和活动防着板板块，其中活动防着板板块由活动部与升降部组成，其中活动部为两个竖直设置的可拆卸防着板体，以及用于将两个可拆卸防着板体对立端活动连接的连接活扣组成，所述升降部与升降控制器相连接，所述升降部同样为可拆卸防着板体，且所述可拆卸防着板体在最大高度时，其顶端面与活动部的顶端面处于同一平面。
[0005]上述技术专利虽然防止材料在蒸发源口的防着板堆积，脱落产生灰尘影响器件稳定性和产品质量；延长防着板使用周期，减少停机开腔维护次数，提高产能，但仍存在以下不足：防着板只是面向蒸镀源的一面得到利用，防着板背对蒸镀源的一面不能被利用，造成了防着板的浪费，仍需进一步改进，因此，专利技术一种可拆分式蒸镀机防着板很有必要。

技术实现思路

[0006]为此，本技术提供一种可拆分式蒸镀机防着板，以解决上述
技术介绍
中所提出的问题。
[0007]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可拆分式蒸镀机防着板，包括蒸镀源与第一防着板，蒸镀源左右两侧对称设置有固定板，还包括第一拆装机构、电动升降杆、第二拆装机构、第二防着板与第三防着板，所述第一防着板与第二防着板均通过第一拆装机构连接在固定板顶部，所述第一防着板与第二防着板的相对面相贴合，所述电动升降杆固定连接在固定板侧部，所述第三防着板通过第二拆装机构连接在电动升降杆顶部；
[0008]所述第一拆装机构包括第一安装组件、第一控制组件与第一夹紧组件，所述第一安装组件设在固定板顶部，所述第一控制组件设在第一安装组件上，所述第一夹紧组件设在第一控制组件上；
[0009]所述第二拆装机构包括第二安装组件、第二控制组件与第二夹紧组件，所述第一安装组件设在电动升降杆顶部，所述第二控制组件设在第二安装组件上，所述第二夹紧组件设在第二控制组件上；
[0010]所述第一夹紧组件与第二夹紧组件上均设有防护组件。
[0011]优选的，所述第一安装组件包括第一安装槽，所述第一安装槽开设在固定板顶部，所述第一防着板底部与第二防着板底部均插设在第一安装槽内部。
[0012]优选的，所述第一控制组件包括第一螺纹孔与第一转杆，所述第一螺纹孔开设在第一安装槽内部侧部，所述第一转杆贯穿第一螺纹孔，且第一转杆表面与第一螺纹孔孔壁螺纹连接。
[0013]优选的，所述第一夹紧组件包括第一夹板，所述第一夹板远离第一防着板的一端固定连接在第一转杆靠近第一防着板的一端，所述第一夹板靠近第一防着板的一端固定连接有防护组件。
[0014]优选的，所述第二安装组件包括安装座与第二安装槽，所述安装座底部固定连接在电动升降杆顶部，所述第二安装槽开设在安装座顶部，所述第三防着板底部插设在第二安装槽内部。
[0015]优选的，所述第二控制组件包括第二螺纹孔与第二转杆，所述第二螺纹孔开设在第二安装槽内壁侧部，所述第二转杆贯穿第二螺纹孔，且第二转杆表面与第二螺纹孔孔壁螺纹连接。
[0016]优选的，所述第二夹紧组件包括第二夹板，所述第二夹板远离第三防着板的一端固定连接在第二转杆靠近第三防着板的一端，所述第二夹板靠近第三防着板的一端固定连接有防护组件。
[0017]优选的，所述防护组件包括橡胶防护垫，所述第一夹板靠近第一防着板的一端以及第二夹板靠近第三防着板的一端均固定连接有橡胶防护垫，所述橡胶防护垫靠近第一防着板的一端与第一防着板表面相贴合，所述橡胶防护垫靠近第三防着板的一端与第三防着板表面相贴合。
[0018]本技术的有益效果是：
[0019]1.通过设有的固定板、第一拆装机构、第一防着板与第二防着板的配合使用，使得第一防着板与第二防着板之间可便于拆装，从而便于拆分第一防着板与第二防着板，且便于工作人员更换第一防着板与第二防着板的正反面，使得第一防着板与第二防着板的正反面均可被利用，所以本技术在延长防着板的使用周期的同时，能够使得防着板正反面均可被利用；
[0020]2.通过设有的电动升降杆、第二拆装机构与第三防着板的配合使用，当第一防着板或第二防着板被使用后，工作人员可通过电动升降杆控制控制第三防着板上移，从而使得第三防着板被使用，有效减少停机开腔维护次数，且第三防着板同样便于拆装，从而也便于工作人员更换正反面使用。
附图说明
[0021]图1为本技术提供的结构剖视图；
[0022]图2为图1中的A处放大图；
[0023]图3为图1中的B处放大图；
[0024]图4为本技术提供的结构主视图；
[0025]图5为本技术提供的局部结构立体图。
[0026]图中：1、蒸镀源；2、固定板；3、第一防着板；4、电动升降杆；5、第二防着板；6、第三防着板；7、第一安装槽；8、第一螺纹孔；9、第一转杆；10、第一夹板；11、安装座；12、第二安装槽；13、第二螺纹孔；14、第二转杆；15、第二夹板；16、橡胶防护垫。
具体实施方式
[0027]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0028]请参照附图1
‑
5，本技术提供的一种可拆分式蒸镀机防着板，包括蒸镀源1与第一防着板3，蒸镀源1左右两侧对称设置有固定板2，还包括第一拆装机构、电动升降杆4、第二拆装机构、第二防着板5与第三防着板6，第一防着板3与第二防着板5均通过第一拆装机构连接在固定板2顶部，第一防着板3与第二防着板5的相对面相贴合，电动升降杆4固定连接在固定板2侧部，第三防着板6通过第二拆装机构连接在电动升降杆4顶部，第一拆装机构包括第一安装组件、第一控制组件与第一夹紧组件，第一安装组件设在固定板2顶部，第一控制组件设在第一安装组件上，第一夹紧组件设在第一控制组件上，第二拆装机构包括第二安装组件、第二控制组件与第二夹紧组件，第一安装组件设在电动升降杆4顶部，第二控制组件设在第二安装组件上，第二夹紧组件设在第二控制组件上，第一夹紧组件与第二夹紧组件上均设有防护组件；
[0029]第一安装组件包括第一安装槽7，第一安装槽7开设在固定板2顶部，第一防本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可拆分式蒸镀机防着板，包括蒸镀源(1)与第一防着板(3)，蒸镀源(1)左右两侧对称设置有固定板(2)，其特征在于：还包括第一拆装机构、电动升降杆(4)、第二拆装机构、第二防着板(5)与第三防着板(6)，所述第一防着板(3)与第二防着板(5)均通过第一拆装机构连接在固定板(2)顶部，所述第一防着板(3)与第二防着板(5)的相对面相贴合，所述电动升降杆(4)固定连接在固定板(2)侧部，所述第三防着板(6)通过第二拆装机构连接在电动升降杆(4)顶部；所述第一拆装机构包括第一安装组件、第一控制组件与第一夹紧组件，所述第一安装组件设在固定板(2)顶部，所述第一控制组件设在第一安装组件上，所述第一夹紧组件设在第一控制组件上；所述第二拆装机构包括第二安装组件、第二控制组件与第二夹紧组件，所述第一安装组件设在电动升降杆(4)顶部，所述第二控制组件设在第二安装组件上，所述第二夹紧组件设在第二控制组件上；所述第一夹紧组件与第二夹紧组件上均设有防护组件。2.根据权利要求1所述的一种可拆分式蒸镀机防着板，其特征在于：所述第一安装组件包括第一安装槽(7)，所述第一安装槽(7)开设在固定板(2)顶部，所述第一防着板(3)底部与第二防着板(5)底部均插设在第一安装槽(7)内部。3.根据权利要求2所述的一种可拆分式蒸镀机防着板，其特征在于：所述第一控制组件包括第一螺纹孔(8)与第一转杆(9)，所述第一螺纹孔(8)开设在第一安装槽(7)内部侧部，所述第一转杆(9)贯穿第一螺纹孔(8)，且第一转杆(9)表面与第一螺纹孔(8)孔壁螺纹连接。4.根据权利要求3所述的一种可拆分式蒸镀机防着板，其特征在于：所述第一夹紧组...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘炜，
申请(专利权)人：上海拓赛半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：