一种基于压电驱动的超精密运动平台制造技术

本发明专利技术公开了一种基于压电驱动的超精密运动平台，旨在提供一种可提高调节精度、稳定性和效率的基于压电驱动的超精密运动平台，它包括平台基座和预紧旋钮，平台基座上连接有调整结构和驱动机构，预紧旋钮的一端与驱动机构连接，预紧旋钮的另一端套接有固定环且与调节结构连接，固定环的表面连接有若干锥型齿，调整结构包括固定块、按钮和推杆，固定块内设有活动腔，预紧旋钮与固定块插接，按钮与活动腔弹性连接，推杆的一端与按钮活动连接，活动腔内设有限位滑轨和定位杆，定位杆与限位滑轨滑动连接，限位滑轨为弧形状，推杆的另一端与定位杆的一端连接，定位杆的另一端与锥型齿相对。本发明专利技术的有益效果是：快速调节预紧力，调节快速、方便精度高。方便精度高。方便精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种基于压电驱动的超精密运动平台


[0001]本专利技术涉及压电驱动
，尤其指一种基于压电驱动的超精密运动平台。

技术介绍

[0002]压电驱动平台为实现微/纳米级的输出精度而设计，现代精密驱动技术的应用对驱动平台的精度提出了更高要求。压电驱动平台具有体积尺寸小、位移分辨率高、输出负载大、能量转换率高等优点，能实现微/纳米级的输出精度，已经越来越多地被应用到微定位和精密超精密加工中，通常压电驱动运动平台由驱动单元本体、底座以及调节驱动单元预紧力的预紧旋钮组成，预紧旋钮通过旋转精密调节驱动单元内柔性铰链机构与动子间的接触距离。
[0003]中国专利授权公告号：CN 110798093 B，授权公告日2022年08月23日，本专利技术涉及一种直线型压电精密驱动平台，主要包括压电叠堆、非对称薄壁式柔性铰链机构和动子。压电叠堆安装在非对称薄壁式柔性铰链机构内，通过非对称薄壁式柔性铰链机构的寄生惯性运动，实现动子的直线移动；预紧旋钮调节非对称薄壁式柔性铰链机构与动子间的初始预紧力；固定底座支撑和安装固定其他零件。本专利技术压电叠堆主输出方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于压电驱动的超精密运动平台，其特征是，包括平台基座（1）和预紧旋钮（2），所述平台基座（1）上连接有调整结构（3）和驱动机构（4），所述预紧旋钮（2）的一端与驱动机构（4）连接，所述预紧旋钮（2）的另一端套接有固定环（5）且与调节结构（3）连接，所述固定环（5）的表面连接有若干锥型齿（6），所述调整结构（3）包括固定块（7）、按钮（8）和推杆（9），所述固定块（7）内设有活动腔（10），所述预紧旋钮（2）与固定块（7）插接，所述按钮（8）与活动腔（10）弹性连接，所述推杆（9）的一端与按钮（8）活动连接，所述活动腔（10）内设有限位滑轨（11）和定位杆（12），所述定位杆（12）与限位滑轨（11）滑动连接，所述限位滑轨（11）为弧形状，所述推杆（9）的另一端与定位杆（12）的一端连接，所述定位杆（12）的另一端与锥型齿（6）相对。2.根据权利要求1所述的一种基于压电驱动的超精密运动平台，其特征是，所述定位杆（12）上设有滑杆（13），所述滑杆（13）的一端与定位杆（12）连接，所述滑杆（13）的另一端与限位滑轨（11）插接，所述滑杆（13）的结构形状为圆杆状。3.根据权利要求2所述的一种基于压电驱动的超精密运动平台，其特征是，所述限位滑轨（11）的侧壁上设有滑槽（14），所述滑杆（13）上连接有旋转盘（15），所述旋转盘（15）与滑杆（13）转动连接，所述旋转盘（15）与滑槽（14）插接。4.根据权利要求1所述的一种基于压电驱动的超精密运动平台，其特征是，所述活动腔（10）上设有直线滑轨（16），所述限位滑轨（11）的两端与直线滑轨（16）相连接且连通，所述直线滑轨（16）的竖向中心轴线置于相邻锥型齿（6）之间。5.根据权利要求1所述的一种基于压电驱动的超精密运动平台，其特征是，所述定位杆（12）包括顶杆（17）和稳定块（18），所述顶杆（17）与稳定块（18）的一端连接，所述稳定块（...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷振，汤怀胜，秦笠吉，陈子豪，
申请(专利权)人：尚匠精密科技湖州有限公司，
类型：发明
国别省市：