下载一种基于压电驱动的超精密运动平台的技术资料

文档序号:36157060

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本发明公开了一种基于压电驱动的超精密运动平台,旨在提供一种可提高调节精度、稳定性和效率的基于压电驱动的超精密运动平台,它包括平台基座和预紧旋钮,平台基座上连接有调整结构和驱动机构,预紧旋钮的一端与驱动机构连接,预紧旋钮的另一端套接有固定环且...
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