【技术实现步骤摘要】
半导体化学机械研磨设备用水汽分离装置
[0001]本技术涉及的是半导体化学机械研磨设备用水汽分离装置，具体涉及一种半导体化学机械研磨设备用的排气管道引流水汽冷凝水的装置。
技术介绍
[0002]在半导体化学机械研磨设备工作时，工作区域密闭空间内会产生大量湿润的气体，现有技术中，湿润空气会通过排气设备管道连接到场务主排气管道。由于排出的为温暖且湿润的气体，在经过主排气管道时会冷凝成液体，长时间积累容易影响设备使用效率。
技术实现思路
[0003]本技术提出的是半导体化学机械研磨设备用水汽分离装置，其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷，使温暖湿润气体在设备排风管道中冷凝排出。
[0004]本技术的技术解决方案：半导体化学机械研磨设备用水汽分离装置，其结构包括一端连接半导体化学机械研磨设备的第一黑色波纹排气管，第一黑色波纹排气管另一端通过金属束带连接冷凝机构进气口，第二黑色波纹排气管一端连接场务主排气管道，第二黑色波纹排气管另一端通过金属束带连接冷凝机构出气口。
[0005]优选的，为了实现对冷凝水的收集排放，所述的冷凝机构包括两侧分别连接第一黑色波纹排气管另一端和第二黑色波纹排气管另一端的带气管接头侧板，两侧带气管接头侧板顶部连接顶板，两侧带气管接头侧板两侧分别连接侧板，侧板顶部也连接顶板，带气管接头侧板和侧板底部连接底板，底板上设有排水接头，排水接头连接冷凝水排水管。
[0006]优选的，为了实现冷凝机构的固定和与其它结构的连接，所述的顶板两端凸出于侧板并开设有连接槽孔。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.半导体化学机械研磨设备用水汽分离装置，其特征在于，包括一端连接半导体化学机械研磨设备的第一黑色波纹排气管(1)，第一黑色波纹排气管(1)另一端通过金属束带(4)连接冷凝机构(2)进气口，第二黑色波纹排气管(3)一端连接场务主排气管道，第二黑色波纹排气管(3)另一端通过金属束带(4)连接冷凝机构(2)出气口。2.如权利要求1所述的半导体化学机械研磨设备用水汽分离装置，其特征在于，所述的冷凝机构(2)包括两侧分别连接第一黑色波纹排气管(1)另一端和第二黑色波纹排...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈勇，莫科伟，李春，李峰，李少博，王召亮，刘传文，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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