一种边缘密封的密封门制造技术

本实用新型专利技术涉及密封装置技术领域，具体涉及一种边缘密封的密封门，包括长方体状的门板和设置在门板上的密封件，门板上设有密封面，密封件为弹性垫，密封件沿着密封面的边缘环绕一圈设置，且密封件粘接在密封面上。本方案中，密封件直接设置在门板的边缘，而密封件的位置对应门框的密封处，密封门可盖合在门框上，本方案能最大程度防止半导体设备用的气体泄露和减少颗粒产生。和减少颗粒产生。和减少颗粒产生。

【技术实现步骤摘要】
一种边缘密封的密封门


[0001]本技术涉及密封装置
，具体涉及一种边缘密封的密封门。

技术介绍

[0002]半导体工艺设备中门与门框之间的密封程度比较低，门与门框之间通常采用传统的门密封结构，密封结构为门与门框之间设有垫片密封，垫片密封是连接处靠外力压紧密封垫片，使其本身发生变形，让垫片填补门和门框密封面上的宏观凹凸不平和微观的粗糙，使得工作介质或者外界物质的相互流通力小于垫片的阻力，从而实现密封，阻止泄漏。
[0003]目前的垫片设置位置均与门的边缘存在一段距离，门可以盖合在门框上，但对于门需要伸入到门框内进行密封时较为不便，同样大小的门，对应的门框的开口较小，不利于更大尺寸的物品或更多的物质进出。

技术实现思路

[0004]因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中同等大小的门，对应门框的开口较小的缺陷，从而提供一种边缘密封的密封门。
[0005]为了解决上述问题，本技术提供了一种边缘密封的密封门，包括门板，包括密封面；密封件，环绕并固定在所述密封面的边缘。
[0006]可选的，所述密封面上设置阶梯面，所述阶梯面沿密封面的边缘环形设置。
[0007]可选的，所述密封件粘接在阶梯面上。
[0008]可选的，所述密封件为弹性垫。
[0009]可选的，所述密封件的横截面为梯形。
[0010]可选的，所述密封件包括平行于密封面的抵接面。
[0011]可选的，所述密封面上还设置有凸起，所述凸起位于所述密封面的中部。
[0012]可选的，所述门板呈长方体状。
[0013]可选的，所述门板还包括连接面，所述连接面与所述密封面相对设置，所述连接面上设置有螺纹孔。
[0014]可选的，所述门板上还设置有凹槽，所述凹槽位于所述连接面上。
[0015]本技术具有以下优点：
[0016]1、密封门包括长方体状的门板和设置在门板上的密封件，门板上设有密封面，密封件为弹性垫，密封件沿着密封面的边缘环绕一圈设置，且密封件粘接在密封面上。
[0017]本方案中，密封件直接设置在门板的边缘，而密封件的位置对应门框的密封处。且相比于以往密封门盖合在门框上的方式，本方案的密封门适于伸入到门框内进行密封。
[0018]2、门板上还设置有连接面，连接面与密封面对称设置，连接面上设置有凹槽，凹槽沿着连接面的宽度方向的一端延伸至另一端，且凹槽位于连接面的中部。当门板关闭在门框上后，使用销穿设门框上的孔以及门板上的凹槽，起到门闩的作用，将门板进一步固定，提升密封门的密封效果。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1示出了本技术实施例的边缘密封的密封门的俯视图；
[0021]图2示出了图1中A
‑
A向剖视图；
[0022]图3示出了本技术实施例的边缘密封的密封门的正视图；
[0023]图4示出了本技术实施例的边缘密封的密封门的仰视图。
[0024]附图标记说明：
[0025]1、门板；2、密封件；11、密封面；12、阶梯面；13、凸起；14、连接面；15、螺纹孔；16、凹槽；21、抵接面。
具体实施方式
[0026]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0030]本技术公开了一种边缘密封的密封门，参照图1至图4，包括门板1和设置在门板1上的密封件2，其中，门板1的其中一个表面为密封面11，密封件2环绕密封面11的边缘设置。相对于以往密封件2设置在门板1中部位置，或密封件2与门板1的边缘间隔设置的情况，本方案中，密封件2直接设置在门板1的边缘，而密封件2的位置对应门框的密封处，门框可以获得更大的开口。且相比于以往密封门盖合在门框上的方式，本方案的密封门适于伸入到门框内进行密封。
[0031]参照图1和图2，门板1呈长方体状，由金属材质制成，密封面11为门板1两个面积最大的面中其中一个，密封面11上设置有阶梯面12，阶梯面12沿着密封面11的边缘环形设置，阶梯面12低于密封面11设置，且阶梯面12的宽度与密封件2的宽度相适应，密封件2粘接在
阶梯面12上，并同样沿着门板1环绕设置。当然，在其它的实施方式中，门板1还可以为圆形等其它形状。
[0032]密封件2为弹性垫，具体的，密封件2为橡胶材质制成的。密封件2的横截面呈梯形，密封件2中较大的底边与阶梯面12连接，密封件2还包括平行于密封面11的抵接面21。当密封门合在门框上时，抵接面21抵接在门框上，相对于以往密封件2的抵接部位为直线的情况，本方案中抵接面21的设置扩大了接触面积，即增大了密封的面积，进而增加了密封门的密封效果。在其它的实施方式中，密封件2的横截面还可以为方形。
[0033]密封面11上还设置有凸起13，凸起13位于密封件2的内部，且凸起13位于密封面11的中部，本方案中的凸起13呈方形。
[0034]参照图3和图4，门板1还包括连接面14，连接面14与密封面11相对设置，连接面14为门板1与机械臂连接的一个面，连接面14上设置有螺纹孔15，螺纹孔15的数量不限，以将门板1与机械臂连接牢固为佳。本方案中螺纹孔15的数量优选为两个，两个螺纹孔15沿着门板1的长度方向并排设置。安装时，将门板1的连接面14与机械臂贴合，然后使用螺栓从机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种边缘密封的密封门，其特征在于：包括：门板(1)，包括密封面(11)；密封件(2)，环绕并固定在所述密封面(11)的边缘；所述密封面(11)上设置阶梯面(12)，所述阶梯面(12)沿密封面(11)的边缘环形设置；所述密封件(2)粘接在阶梯面(12)上；所述密封件(2)为弹性垫；所述密封件(2)的横截面为梯形。2.根据权利要求1所述的边缘密封的密封门，其特征在于：所述密封件(2)包括平行于密封面(11)的抵接面(21)。3.根据权利要求1所述的边缘密封的密封门，其特征在于：所述密...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：无锡金源半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：