一种BOE废液综合利用系统技术方案

本实用新型专利技术涉及BOE废液处理技术领域，且公开了一种BOE废液综合利用系统，包括BOE废液池，BOE废液池一侧固定连接有化学反应池，化学反应池出口处固定安装有压滤装置，压滤装置出口处固定连接收集装置，收集装置出口处固定连接有真空蒸发装置，真空蒸发装置一侧固定安装有筛分装置。该BOE废液综合利用系统，通过在BOE废液中分别加入氯化钙和硫酸钙后，在化学反应池中与氟化铵反应生成沉淀并经压滤装置去除废液中的杂质，再采用蒸发、冷却结晶和干燥即可得到氯化铵和硫酸铵；整体工艺条件温和、投资成本低，且对BOE废液进行回收利用，不仅可避免造成环境污染，而且可以有效降低生产成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
一种BOE废液综合利用系统


[0001]本技术涉及BOE废液处理
，具体为一种BOE废液综合利用系统。

技术介绍

[0002]BOE缓冲蚀刻液是氟氢酸(HF)与氟化铵(NH4F)依不同比例混合而成， HF为主要的蚀刻液，NH4F则作为缓冲剂使用，用于半导体元件蚀刻工艺后，产生的BOE废液主要成分即为氟化铵(NH4F)和氟化氢铵(NH4HF2)，同时含有少量的氟硅酸离子和硫酸根离子，因此，我们提出一种BOE废液综合利用系统来解决上述问题。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种BOE废液综合利用系统，具备BOE废液回收利用，降低生产成本等优点，解决了上述的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]为实现上述BOE废液回收利用，降低生产成本的目的，本技术提供如下技术方案：一种BOE废液综合利用系统，包括BOE废液池，所述BOE废液池一侧固定连接有化学反应池，所述化学反应池出口处固定安装有压滤装置，所述压滤装置出口处固定连接收集装置，所述收集装置出口处固定连接有真空蒸发装置，所述真空蒸发装置一侧固定安装有筛分装置。
[0007]优选的，所述真空蒸发装置还包含蒸发器，所述蒸发器一侧固定安装有冷却结晶器，所述冷却结晶器一侧固定安装有干燥装置，所述干燥装置与筛分装置固定连接。
[0008](三)有益效果
[0009]与现有技术相比，本技术提供了一种BOE废液综合利用系统，具备以下有益效果：
[0010]1、该BOE废液综合利用系统，通过在BOE废液中分别加入氯化钙和硫酸钙后，在化学反应池中与氟化铵反应生成沉淀并经压滤装置去除废液中的杂质，再采用蒸发、冷却结晶和干燥即可得到高纯度且含水率低的氯化铵和硫酸铵；整体工艺条件温和、投资成本低，且对BOE废液进行回收利用，不仅可避免造成环境污染，而且可以有效降低生产成本。
[0011]本技术自动化程度高，减少人为操作对系统产生的影响，可模块化投产，增容扩容方便，且维护方便，日常管理简单，检修方便，可边生产边检修。
附图说明
[0012]图1为本技术结构示意图；
[0013]图2为本技术真空蒸发装置的结构示意图。
[0014]图中：1BOE废液池、2化学反应池、3压滤装置、4收集装置、5真空蒸发装置、6筛分装置、7蒸发器、8冷却结晶器、9干燥装置。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]请参阅图1，一种BOE废液综合利用系统，包括BOE废液池1，BOE废液池1一侧固定连接有化学反应池2，化学反应池2出口处固定安装有压滤装置3，压滤装置3出口处固定连接收集装置4，收集装置4出口处固定连接有真空蒸发装置5，真空蒸发装置5一侧固定安装有筛分装置6。
[0017]优选的，真空蒸发装置5还包含蒸发器7，蒸发器7一侧固定安装有冷却结晶器8，冷却结晶器8一侧固定安装有干燥装置9，干燥装置9与筛分装置 6固定连接。
[0018]工作原理：
[0019]BOE废液池1中的BOE废液进入化学反应池2内，然后在化学反应池2中分别加入氯化钙和硫酸钙，将经过化学反应过后的液体通过压滤装置3的压滤，将液体内一些的杂质去除，随后经过收集装置4，将压滤过后的液体收集起来，进入真空蒸发装置5内，再采用蒸发器7对液体进行蒸发作业，再通过冷却结晶器8对蒸发过后的液体进行冷却和结晶，最后通过筛分装置9即可得到高纯度且含水率低的氯化铵和硫酸铵。
[0020]综上所述，该BOE废液综合利用系统，整体工艺条件温和、投资成本低，且对BOE废液进行回收利用，不仅可避免造成环境污染，而且可以有效降低生产成本。
[0021]本技术自动化程度高，减少人为操作对系统产生的影响，可模块化投产，增容扩容方便，且维护方便，日常管理简单，检修方便，可边生产边检修。
[0022]需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0023]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种BOE废液综合利用系统，包括BOE废液池(1)，其特征在于：所述BOE废液池(1)一侧固定连接有化学反应池(2)，所述化学反应池(2)出口处固定安装有压滤装置(3)，所述压滤装置(3)出口处固定连接收集装置(4)，所述收集装置(4)出口处固定连接有真空蒸发装置(5)，所述真空蒸发装置(...

【专利技术属性】
技术研发人员：方海欧，董龙，李怀庆，
申请(专利权)人：安徽超越环保科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：