可控式真空设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种可控式真空设备，包括有设备基座，设备基座上设置有真空发生器，设备基座内设置有导气管路，设备基座上设置有与导气管路导通的安装接口，真空发生器与安装接口对接，导气管路的一端设置有真空负压管，导气管路的另一端设置有高压空气进气管，真空发生器上还连接有真空力度控制装置，真空力度控制装置包括有真空破坏阀与真空控制阀。由此，配置有独立的真空破坏阀与真空控制阀，可以对真空发生器的工作状态进行有效控制，能避免小件物料在真空释放时的力度过大而吹飞。实现模块化的集成配置，可适用于各类常见的负压加工设备。拥有较佳的结合气密性，不容易造成非必要外泄。要外泄。要外泄。

【技术实现步骤摘要】
可控式真空设备


[0001]本技术涉及一种真空发生控制设备，尤其涉及一种可控式真空设备。

技术介绍

[0002]对于IC加工领域来看，问问需要采用真空设备来确保物料表面不存在灰尘颗粒。目前的真空设备都是采用统一化的配置，工作前进只能实现真空负压环境与常规气压环境的切换，无法控制真空释放力度。对于小件物料的加工来看，往往会导致其被吹飞或是出现颤动，影响加工。若采用较小功率的真空发生器，则吹拂能力欠佳，可能存在较小颗粒物在物料表面的残留。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种可控式真空设备，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种可控式真空设备。
[0005]本技术的可控式真空设备，包括有设备基座，所述设备基座上设置有真空发生器，其中：所述设备基座内设置有导气管路，所述设备基座上设置有与导气管路导通的安装接口，所述真空发生器与安装接口对接，所述导气管路的一端设置有真空负压管，所述导气管路的另一端设置有高压空气进气管，所述真空发生器上还连接有真空力度控制装置，所述真空力度控制装置包括有真空破坏阀与真空控制阀。
[0006]进一步地，上述的可控式真空设备，其中，所述导气管路上设置有气密锁紧阀套。
[0007]更进一步地，上述的可控式真空设备，其中，所述真空破坏阀包括有阀腔体，所述阀腔体上设置有真空破坏力度控制阀，所述真空破坏力度控制阀上设置有泄压管路。
[0008]更进一步地，上述的可控式真空设备，其中，所述真空破坏力度控制阀为机械阀或是电磁阀。
[0009]更进一步地，上述的可控式真空设备，其中，所述真空发生器上连接有负压压力表，所述负压压力表包括有表本体，所述表本体内设置有压力感应模组，所述表本体上设置有显示器，所述显示器与压力感应模组电性连接，所述表本体上还设置有若干控制按钮，所述控制按钮与压力感应模组电性连接。
[0010]再进一步地，上述的可控式真空设备，其中，所述设备基座包括有基座本体，所述基座本体上设置有若干定位槽，所述定位槽内设置有定位螺栓。
[0011]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0012]1、配置有独立的真空破坏阀与真空控制阀，可以对真空发生器的工作状态进行有效控制，能避免小件物料在真空释放时的力度过大而吹飞。
[0013]2、实现模块化的集成配置，可适用于各类常见的负压加工设备。
[0014]3、拥有较佳的结合气密性，不容易造成非必要外泄。
[0015]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技
术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0016]图1是的结构示意图。
[0017]图中各附图标记的含义如下。
[0018]1 设备基座
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2 真空发生器
[0019]3 真空负压管
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4 高压空气进气管
[0020]5 真空破坏阀
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6 真空控制阀
[0021]7 气密锁紧阀套
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8 真空破坏力度控制阀
[0022]9 负压压力表
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10 定位槽
具体实施方式
[0023]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0024]如图1的可控式真空设备，包括有设备基座，设备基座上设置有真空发生器，其特征在于：设备基座内设置有导气管路(图中未示出)，设备基座上设置有与导气管路导通的安装接口，真空发生器与安装接口对接。同时，为了接入加工设备来实现真空负压或是吹气处理，导气管路的一端设置有真空负压管，导气管路的另一端设置有高压空气进气管。并且，为了根据不同的加工产品来提供不同的真空工作环境，真空发生器上还连接有真空力度控制装置。实施期间，采用的真空力度控制装置包括有真空破坏阀与真空控制阀。
[0025]结合本技术一较佳的实施方式来看，导气管路上设置有气密锁紧阀套。这样，便于真空负压管、高压空气进气管连入时拥有较佳的气密性，不会造成非必要的负压外泄。
[0026]进一步看，为了在使用期间有效控制真空破坏阀的破坏临界值，真空破坏阀包括有阀腔体，阀腔体上设置有真空破坏力度控制阀。同时，真空破坏力度控制阀上设置有泄压管路，这样便于实现气压回收，避免出现气压不当外溢而激起粉尘。考虑到实施的便利，真空破坏力度控制阀为机械阀或是电磁阀。当然，也可以是其他可以实现破坏临界值调节的阀体来参与控制。
[0027]结合实际实施来看，为了便于用户根据使用需要来控制相应的真空工作数值，便于提供较佳的真空工作环境，在真空发生器上连接有负压压力表，负压压力表包括有表本体，表本体内设置有压力感应模组，表本体上设置有显示器，显示器与压力感应模组电性连接。这样，可以进行较为直观的工作数据显示。同时，表本体上还设置有若干控制按钮，控制按钮与压力感应模组电性连接。这样，可实现相应的参数调整，便于现场便捷化的维护控制。
[0028]再进一步来看，本技术采用的设备基座包括有基座本体，基座本体上设置有若干定位槽，定位槽内设置有定位螺栓。这样，可以通过定位螺栓安装到设备相应的装配区域中，能够满足模块化定位的需要。
[0029]本技术的工作原理如下：
[0030]通过真空控制阀来控制真空发生器的工作状态。在此期间，通过负压压力表显示
相应参数，并可反馈数值到上位机，便于系统进行统一控制。工作期间，可通过真空破坏阀来进行负压释放，满足真空释放力度的调整，避免小件物料在真空释放时的力度过大而吹飞。
[0031]通过上述的文字表述并结合附图可以看出，采用本技术后，拥有如下优点：
[0032]1、配置有独立的真空破坏阀与真空控制阀，可以对真空发生器的工作状态进行有效控制，能避免小件物料在真空释放时的力度过大而吹飞。
[0033]2、实现模块化的集成配置，可适用于各类常见的负压加工设备。
[0034]3、拥有较佳的结合气密性，不容易造成非必要外泄。
[0035]此外，本技术所描述的指示方位或位置关系，均为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或构造必须具有特定的方位，或是以特定的方位构造来进行操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0036]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.可控式真空设备，包括有设备基座，所述设备基座上设置有真空发生器，其特征在于：所述设备基座内设置有导气管路，所述设备基座上设置有与导气管路导通的安装接口，所述真空发生器与安装接口对接，所述导气管路的一端设置有真空负压管，所述导气管路的另一端设置有高压空气进气管，所述真空发生器上还连接有真空力度控制装置，所述真空力度控制装置包括有真空破坏阀与真空控制阀。2.根据权利要求1所述的可控式真空设备，其特征在于：所述导气管路上设置有气密锁紧阀套。3.根据权利要求1所述的可控式真空设备，其特征在于：所述真空破坏阀包括有阀腔体，所述阀腔体上设置有真空破坏力度控制阀，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟小龙，
申请(专利权)人：苏州矽微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：