一种电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具，包括组装为一体的固定部和限位部，其中，固定部可拆卸安装于所述电感耦合工艺腔的外壁的设定位置处；限位部具有限位面限位面与上部电极的边缘相匹配。本实用新型专利技术通过在电感耦合工艺腔的外壁增设限位治具，且限位治具的限位面为上部电极的边缘位置处，在上部电极的对准步骤时，直接将上部电极移动至与限位面相接触即可，无需多次移动确认，节省了安装时间，也节约的人力成本；通过使用限位治具，上部电极安装的位置精度有保证，有效避免了因上部电极安装精度问题而可能导致的产品不良。致的产品不良。致的产品不良。

【技术实现步骤摘要】
一种电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具


[0001]本技术涉及半导体制备领域，特别涉及一种电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具。

技术介绍

[0002]刻蚀机台长时间使用后，其电感耦合工艺腔的上部电极的密封面内侧会形成严重的刻蚀痕迹，影响密封效果，从而可能导致产品不良率升高，因此，需要定期进行更换。
[0003]目前，对电感耦合工艺腔的上部电极进行更换时，通常是人工根据经验进行的，主要包括对准和安装步骤，其中，对准步骤需要控制上部电极边缘的缝隙均匀，需要多次移动确认，但由于上部电极的重量较大，移动不便，使得对准步骤成为更换流程中较为耗时的步骤；若对准位置不准确，上部电极安装的位置有偏差，则会在后续生产过程中导致产品存在一定的缺陷，使得产品总体的良率降低，因此，如何优化对准操作，成为本领域需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具，在上部电极的对准步骤时，直接将上部电极移动至与限位治具的限位面相接触即可，无需多次移动确认，节省了安装时间，也节约的人力成本，有效保障了上部电极的位置精度。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供的一种电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具，包括：
[0006]固定部，其可拆卸安装于所述电感耦合工艺腔的外壁的设定位置处；
[0007]限位部，其安装于所述固定部，所述限位部具有限位面，所述限位面与所述上部电极的边缘相匹配。
[0008]较佳地，所述固定部包括限位孔，所述限位孔与所述设定位置处的定位柱相匹配。
[0009]较佳地，所述限位孔开设于所述固定部的朝向所述外壁的一侧。
[0010]较佳地，所述固定部还包括沿厚度方向贯通的螺孔，所述外壁开设有与所述螺孔对应的盲孔。
[0011]较佳地，所述螺孔的数量为三个。
[0012]较佳地，三个所述螺孔的位置呈非线性分布。
[0013]较佳地，所述限位部通过紧固件安装于所述固定部。
[0014]较佳地，所述固定部的材质为金属材质；
[0015]所述限位部的材质为塑料材质。
[0016]较佳地，所述固定部的材质为铝合金材质；
[0017]所述限位部的材质为特氟龙材质。
[0018]本技术通过在电感耦合工艺腔的外壁增设限位治具，且限位治具的限位面为
上部电极的边缘位置处，在上部电极的对准步骤时，直接将上部电极移动至与限位面相接触即可，无需多次移动确认，节省了安装时间，也节约的人力成本；通过使用限位治具，上部电极安装的位置精度有保证，有效避免了因上部电极安装精度问题而可能导致的产品不良。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面对本技术所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是本技术的电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具一实施例的应用于上部电极安装的示意图；
[0021]图2是本技术的电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具一实施例的电感耦合工艺腔的外壁设定位置处结构示意图；
[0022]图3是本技术的电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具一实施例的限位治具朝向外壁一侧的示意图；
[0023]图中，1
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限位治具；2
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外壁；3
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紧固件；4
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上部电极；11
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固定部；12
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限位部；21
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定位柱；22
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盲孔；23
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接地屏蔽线槽；111
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限位孔；112
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螺孔；121
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限位面。
具体实施方式
[0024]下面将结合附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]参考图1
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3，示出了本技术的一种电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具，包括：
[0026]固定部，其可拆卸安装于所述电感耦合工艺腔的外壁的设定位置处；
[0027]限位部，其安装于所述固定部，所述限位部具有限位面，所述限位面与所述上部电极的边缘相匹配。
[0028]本技术实施例中，在电感耦合工艺腔的上部电极安装时，增加限位治具，安装上部电极之前，先将限位治具通过其固定部将其安装于外壁的设定位置处，安装完成后，限位治具的限位面为上部电极的边缘位置处，因此，在上部电极的对准步骤时，直接将上部电极移动至与限位面相接触即可，无需多次移动确认，节省了安装时间，也节约的人力成本；需要说明的是，限位治具的数量可设置为多个，比如两个或三个或更多以便限位更准确，但通常安装位置处于上部电极的同一侧，如图1中示出，图1中为两个限位治具，两个限位治具处于上部电极的同一侧，上部电极对准时，上部电极的边缘紧贴限位治具的限位面时，上部电极的位置即为标注位置，上部电极安装完成后，再将限位治具拆除即可。
[0029]在一种具体的实施方式中，所述固定部包括限位孔，所述限位孔与所述设定位置处的定位柱相匹配；优选地，所述限位孔开设于所述固定部的朝向所述外壁的一侧；需要说
明的是，限位治具通过定位柱定位后，其底部边缘位置刚好配合于外壁的接地屏蔽线槽。
[0030]该具体实施方式中，安装限位治具时，限位治具的安装位置需要确定，否则限位治具位置安装不准确，则会直接影响上部电极的安装精度；该具体实施方式通过限位治具与外壁设定位置处的定位柱配合，有效保障了限位治具的位置精度。
[0031]在一种具体的实施方式中，所述固定部还包括沿厚度方向贯通的螺孔，所述外壁开设有与所述螺孔对应的盲孔；优选地，所述螺孔的数量为三个；更优选地，三个所述螺孔的位置呈非线性分布。
[0032]该具体实施方式中，限位治具位置精度调整完成后，使用紧固件(螺杆)将限位治具固定在电感耦合工艺腔的外壁；固定部开设的螺孔与螺杆相匹配，开设于电感耦合工艺腔的外壁的盲孔内壁形成有与螺杆相匹配的螺纹，螺杆贯穿螺孔后再与盲孔内的螺纹连接以完成对限位治具的固定；可理解地，固定的点位多，有利于对限位治具的固定，该具体实施方式中优选为三个固定点位，三个固定点位非线性分布，即，三个固定点位不处于同一条直线上，更有利于对限位治具的固定。
[0033]在一种具体的实施方式中，所述限位部通过紧固件安装于所述固定部。
[0034]在一种具体的实施方式中，所述固定部的材质为金属材质，优选为铝合金本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具，其特征在于，包括：固定部，其可拆卸安装于所述电感耦合工艺腔的外壁的设定位置处；限位部，其安装于所述固定部，所述限位部具有限位面，所述限位面与所述上部电极的边缘相匹配。2.如权利要求1所述的电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具，其特征在于，所述固定部包括限位孔，所述限位孔与所述设定位置处的定位柱相匹配。3.如权利要求2所述的电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具，其特征在于，所述限位孔开设于所述固定部的朝向所述外壁的一侧。4.如权利要求2所述的电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具，其特征在于，所述固定部还包括沿厚度方向贯通的螺孔，所述外壁开设有与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：栾剑峰，曹春生，戴一然，阚保国，
申请(专利权)人：华虹半导体无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：