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本实用新型公开了一种电感耦合工艺腔的上部电极安装用限位治具，包括组装为一体的固定部和限位部，其中，固定部可拆卸安装于所述电感耦合工艺腔的外壁的设定位置处；限位部具有限位面限位面与上部电极的边缘相匹配。本实用新型通过在电感耦合工艺腔的外壁增设...
该专利属于华虹半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华虹半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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