固体摄像元件及其制造方法技术

技术编号:3610326 阅读:129 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种固体摄像元件,其特征在于:    备有有一种导电型,在逆导电型的半导体衬底的主面上互相以规定的间隔设置且平行配置的多个第一沟道区;    配置在上述多个第一沟道区的间隙中的漏极区;    在上述多个第一沟道区上形成的、在与上述第一沟道区交叉的方向上互相平行配置的多个第一传输电极;    有一种导电型,与上述多个第一沟道区连续地在上述半导体衬底的主面上形成的、沿着与上述第一沟道区交叉的方向延伸的第二沟道区;以及    在上述第二沟道区上形成的、在与上述第二沟道区交叉的方向上互相平行配置的多个第二传输电极,    上述第二沟道区的杂质浓度比上述第一沟道区的低。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:冈田吉弘
申请(专利权)人:三洋电机株式会社
类型:发明
国别省市:

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