轨道清洁小车制造技术

本实用新型专利技术提供了一种轨道清洁小车，包括小车本体、行走机构及清洁机构；其中，所述行走机构，安装在所述小车本体上并用于驱使所述小车本体沿一预定轨道移动；所述清洁机构，安装在所述小车本体内，所述清洁机构包括吸尘单元及过滤单元，所述吸尘单元包括动力源及吸尘管路，所述吸尘管路的吸尘口对准所述预定轨道，所述动力源与所述吸尘管路连通并提供吸力，以通过所述吸尘管路吸收所述预定轨道上的颗粒物，所述过滤单元与所述吸尘管路连通并用于对所述颗粒物进行过滤。通过行走机构带动小车本体沿预定轨道移动，以带动所述清洁结构沿所述预定轨道移动，利用所述清洁机构对所述预定轨道上的颗粒物统一收集，从而实现了对所述预定轨道的清洁。轨道的清洁。轨道的清洁。

【技术实现步骤摘要】
轨道清洁小车


[0001]本技术涉及物料搬运
，尤其涉及一种轨道清洁小车。

技术介绍

[0002]在半导体制造技术高速发达的今天，12寸(300mm)晶圆已经成为全球半导体行业的主流。相比于8寸(200mm)晶圆，12寸晶圆拥有更大的尺寸及重量，人工搬送晶圆载体的效率已经远远无法满足工厂的生产需求，AMHS(自动化物料搬送系统)在半导体制造领域得到广泛应用。
[0003]现有的AMHS设备中，OHT(Overhead Hoist Transfer，空中走行式无人搬送车)为主要搬运设备。由于OHT在预定轨道上方长时间运行会产生灰尘等颗粒物，所以需要定期进行清洁。进行轨道清洁作业时，需要把对应的轨道断电，之后登高才能进行清洁。这样不但会影响全厂生产的整体搬送效率，而且高空作业会带来一定的安全风险。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种轨道清洁小车，一方面解决了人工清洁空中搬运车轨道时需要断电导致的影响物料搬送效率的问题，另一方面避免了高空作业带来的安全风险。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种轨道清洁小车，其特征在于，包括小车本体、行走机构及清洁机构；其中，所述行走机构，安装在所述小车本体上并用于驱使所述小车本体沿一预定轨道移动；所述清洁机构，安装在所述小车本体内，所述清洁机构包括吸尘单元及过滤单元，所述吸尘单元包括动力源及吸尘管路，所述吸尘管路的吸尘口对准所述预定轨道，所述动力源与所述吸尘管路连通并提供吸力，以通过所述吸尘管路吸收所述预定轨道上的颗粒物，所述过滤单元与所述吸尘管路连通并用于对所述颗粒物进行过滤。2.如权利要求1所述的轨道清洁小车，其特征在于，所述吸尘管路不少于两条。3.如权利要求2所述的轨道清洁小车，其特征在于，所述清洁机构还包括一吸气腔，所述吸尘管路及所述过滤单元通过所述吸气腔相连通。4.如权利要求3所述的轨道清洁小车，其特征在于，所述吸气腔的口径朝靠近所述吸尘管路的一端逐渐增大。5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晨光，李佰干，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：