一种液态前驱体输送用脱气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种液态前驱体输送用脱气装置，包括脱气腔和脱气膜，所述脱气膜设置在脱气腔内；所述脱气膜的一端连接有进液阀，所述脱气膜的另一端连接有出液阀；所述脱气腔连接有真空管。本实用新型专利技术提供的一种液态前驱体输送用脱气装置通过进液阀向脱气膜中输送液体，利用真空泵通过真空管对脱气腔进行抽真空处理，液态前驱体中混有的氦气在气压的作用下从脱气膜中析出，从而将氦气从液态前驱体中分离，经过分离后的液态前驱体通过出液阀流出脱气膜，从而对前驱体中溶解的氦气气泡进行去除，使得液态前驱体保持稳定的流量。使得液态前驱体保持稳定的流量。使得液态前驱体保持稳定的流量。

【技术实现步骤摘要】
一种液态前驱体输送用脱气装置


[0001]本申请涉及脱气装置的领域，尤其是涉及一种液态前驱体输送用脱气装置。

技术介绍

[0002]高纯ALD/CVD前驱体产品是整个电子工业体系的核心原材料之一，其被广泛应用于电脑芯片、太阳能电池、移动通讯、卫星导航、航天器等电子器件制造的诸多方面，在航天航空、新型太阳能电池、电子产品等领域发挥着巨大作用。
[0003]目前，由于工艺机台的工艺要求，只能用氦气压力将液态前驱体输送到设备使用点，但溶解在液态前驱体内的氦气气泡，会影响液体流量计的读值跳动，导致流量不稳定或者流量报警，因此需将溶解在前驱体内的氦气去除后，才能输送到工艺机台使用点。

技术实现思路

[0004]为了对前驱体中溶解的氦气气泡进行去除，使得液态前驱体保持稳定的流量，本申请提供一种液态前驱体输送用脱气装置。
[0005]本申请提供的一种液态前驱体输送用脱气装置采用如下的技术方案：
[0006]一种液态前驱体输送用脱气装置，包括脱气腔和脱气膜，所述脱气膜设置在脱气腔内；
[0007]所述脱气膜的一端连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液态前驱体输送用脱气装置，其特征在于：包括脱气腔(1)和脱气膜(2)，所述脱气膜(2)设置在脱气腔(1)内；所述脱气膜(2)的一端连接有进液阀(3)，所述脱气膜(2)的另一端连接有出液阀(4)；所述脱气腔(1)连接有真空管(5)。2.根据权利要求1所述的一种液态前驱体输送用脱气装置，其特征在于：所述脱气腔(1)连接有泄露传感器(6)，所述泄露传感器(6)用于检测液态前驱体是否泄露在脱气腔(1)内。3.根据权利要求1所述的一种液态前驱体输送用脱气装置，其特征在于：所述脱气膜(2)包括两个以上的盘管(21)，所述进液阀(3)和出液阀(4)均为两通阀，所述盘管(21)的一端分别与进液阀(3)的出口连接，所述盘管(21)的另一端分别与出液阀(4)的进口连接。4.根据权利要求3所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵薇薇，夏玉悦，隗婷婷，
申请(专利权)人：上海至纯系统集成有限公司，
类型：新型
国别省市：