本实用新型专利技术公开了一种液态前驱体输送用脱气装置，包括脱气腔和脱气膜，所述脱气膜设置在脱气腔内；所述脱气膜的一端连接有进液阀，所述脱气膜的另一端连接有出液阀；所述脱气腔连接有真空管。本实用新型专利技术提供的一种液态前驱体输送用脱气装置通过进液阀向脱气膜中输送液体，利用真空泵通过真空管对脱气腔进行抽真空处理，液态前驱体中混有的氦气在气压的作用下从脱气膜中析出，从而将氦气从液态前驱体中分离，经过分离后的液态前驱体通过出液阀流出脱气膜，从而对前驱体中溶解的氦气气泡进行去除，使得液态前驱体保持稳定的流量。使得液态前驱体保持稳定的流量。使得液态前驱体保持稳定的流量。
【技术实现步骤摘要】
一种液态前驱体输送用脱气装置
[0001]本申请涉及脱气装置的领域，尤其是涉及一种液态前驱体输送用脱气装置。
技术介绍
[0002]高纯ALD/CVD前驱体产品是整个电子工业体系的核心原材料之一，其被广泛应用于电脑芯片、太阳能电池、移动通讯、卫星导航、航天器等电子器件制造的诸多方面，在航天航空、新型太阳能电池、电子产品等领域发挥着巨大作用。
[0003]目前，由于工艺机台的工艺要求，只能用氦气压力将液态前驱体输送到设备使用点，但溶解在液态前驱体内的氦气气泡，会影响液体流量计的读值跳动，导致流量不稳定或者流量报警，因此需将溶解在前驱体内的氦气去除后，才能输送到工艺机台使用点。
技术实现思路
[0004]为了对前驱体中溶解的氦气气泡进行去除，使得液态前驱体保持稳定的流量，本申请提供一种液态前驱体输送用脱气装置。
[0005]本申请提供的一种液态前驱体输送用脱气装置采用如下的技术方案：
[0006]一种液态前驱体输送用脱气装置，包括脱气腔和脱气膜，所述脱气膜设置在脱气腔内；
[0007]所述脱气膜的一端连接有进液阀，所述脱气膜的另一端连接有出液阀；
[0008]所述脱气腔连接有真空管。
[0009]通过采用上述技术方案，通过进液阀向脱气膜中输送液体，利用真空泵通过真空管对脱气腔进行抽真空处理，液态前驱体中混有的氦气在气压的作用下从脱气膜中析出，从而将氦气从液态前驱体中分离，经过分离后的液态前驱体通过出液阀流出脱气膜，从而对前驱体中溶解的氦气气泡进行去除，使得液态前驱体保持稳定的流量。
[0010]可选的，所述脱气腔连接有泄露传感器，所述泄露传感器用于检测液态前驱体是否泄露在脱气腔内。
[0011]通过采用上述技术方案，泄露传感器与外部控制器电连接，当液态前驱体从脱气膜中泄露后，泄露传感器检测到液态前驱体，并将信号发送给控制器，并报警。
[0012]可选的，所述脱气膜包括两个以上的盘管，所述进液阀和出液阀均为两通阀，所述盘管的一端分别与进液阀的出口连接，所述盘管的另一端分别与出液阀的进口连接。
[0013]通过采用上述技术方案，充分对脱气腔内的空间进行利用，同时，确保单位时间内，有更多的液态前驱体能够通过盘管，从而提高了脱气效率。
[0014]可选的，两所述盘管呈螺旋形缠绕设置。
[0015]通过采用上述技术方案，增加盘管长度，从而增加溶解了氦气的前驱体通过除气装置的时间，确保氦气的除气效率。
[0016]可选的，所述脱气腔包括腔体和两法兰盘，所述腔体的两端均一体设置有法兰盲盘，两所述法兰盘分别与两所述法兰盲盘贴合，所述法兰盘和法兰盲盘之间设置有密封圈，
所述法兰盘和法兰盲盘通过固定件固定在一起。
[0017]通过采用上述技术方案，固定件将法兰盘和法兰盲盘紧密固定在一起，从而提高了装置的密封性。
[0018]可选的，所述固定件为法兰锁扣，所述法兰锁扣有多个。
[0019]通过采用上述技术方案，法兰锁扣将法兰盘和法兰盲盘紧密固定在一起，从而提高了装置的密封性。
[0020]可选的，所述真空管连接有真空度检测器，所述真空度检测器用于检测腔体内的真空度。
[0021]通过采用上述技术方案，真空检测器对腔体内的真空度进行检测，确保氦气在有压差的环境下，能被有效的透过盘管。
[0022]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0023]本技术通过设置了盘管、进液阀、真空管和出液阀，液态前驱体通过进液阀进入到两盘管中，利用真空泵通过真空管对脱气腔进行抽真空处理，液态前驱体中混有的氦气在气压的作用下从盘管中析出，从而将氦气从液态前驱体中分离，经过分离后的液态前驱体通过出液阀流出腔体11，从而对液态前驱体中溶解的氦气气泡进行去除，使得液态前驱体保持稳定的流量；
[0024]本技术通过设置双螺旋的盘管可充分对脱气腔内的空间进行利用，同时，确保单位时间内，有更多的液态前驱体能够通过盘管，从而提高了脱气效率，两盘管呈双螺旋形缠绕设置从而增加盘管长度，从而增加溶解了氦气的前驱体通过除气装置的时间，确保氦气的除气效率。
附图说明
[0025]图1为本技术一种液态前驱体输送用脱气装置的结构示意图；
[0026]图2为本技术一种液态前驱体输送用脱气装置中盘管的结构示意图。
[0027]图中：1、脱气腔；11、腔体；12、法兰盘；13、法兰盲盘；14、法兰锁扣；2、脱气膜；21、盘管；3、进液阀；4、出液阀；5、真空管；6、泄露传感器。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]参照图1和图2，本技术提供的一种液态前驱体输送用脱气装置的实施例，液态前驱体输送用脱气装置包括脱气腔1和脱气膜2，脱气膜2设置在脱气腔1内，氦气可从脱气膜2中析出。脱气膜2的一端连接有进液阀3，脱气膜2的另一端连接有出液阀4，进液阀3和出液阀4均固定在脱气腔1上，脱气腔1连接有真空管5，真空管5与真空泵连接，真空泵对脱气腔1进行抽真空处理。
[0030]脱气腔1连接有泄露传感器6，泄露传感器6用于检测液态前驱体是否泄露在脱气腔1内。泄露传感器6与外部控制器电连接，当液态前驱体从脱气膜2中泄露后，泄露传感器6
检测到液态前驱体，并将信号发送给控制器，并报警。
[0031]脱气膜2包括两盘管21，管盘21可以为多个，盘管21可以为ePTFE防水透气膜，进液阀3和出液阀4均为两通阀，两盘管21的一端分别与进液阀3的两个出口连接，两盘管21的另一端分别与出液阀4的两个进口连接。充分对脱气腔1内的空间进行利用，液态前驱体通过进液阀3分别流入到两盘管21中，增大了液态前驱体与盘管21的接触面积，确保单位时间内，有更多的液态前驱体能够通过盘管21，从而提高了脱气效率。
[0032]两盘管21呈双螺旋形缠绕设置。增加盘管21长度，从而增加溶解了氦气的前驱体通过除气装置的时间，确保氦气的除气效率。两盘管21所形成螺旋的直径不同，螺旋直径较小的盘管21设置在螺旋直径较大的盘管21内，两盘管21平行设置。
[0033]脱气腔1包括腔体11和两法兰盘12，腔体11的两端均一体设置有法兰盲盘13，两法兰盘12分别与两法兰盲盘13贴合，法兰盘12和法兰盲盘13之间设置有密封圈，法兰盘12和法兰盲盘13通过固定件固定在一起，固定件为法兰锁扣14。法兰锁扣14有四个，法兰锁扣14均匀设置在法兰盲盘13和法兰盘12上。法兰锁扣14将法兰盘12和法兰盲盘13紧密固定在一起，从而提高了装置的密封性。
[0034]真空管5连接有真空度检测器，真空度检测器用于检测本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种液态前驱体输送用脱气装置，其特征在于：包括脱气腔(1)和脱气膜(2)，所述脱气膜(2)设置在脱气腔(1)内；所述脱气膜(2)的一端连接有进液阀(3)，所述脱气膜(2)的另一端连接有出液阀(4)；所述脱气腔(1)连接有真空管(5)。2.根据权利要求1所述的一种液态前驱体输送用脱气装置，其特征在于：所述脱气腔(1)连接有泄露传感器(6)，所述泄露传感器(6)用于检测液态前驱体是否泄露在脱气腔(1)内。3.根据权利要求1所述的一种液态前驱体输送用脱气装置，其特征在于：所述脱气膜(2)包括两个以上的盘管(21)，所述进液阀(3)和出液阀(4)均为两通阀，所述盘管(21)的一端分别与进液阀(3)的出口连接，所述盘管(21)的另一端分别与出液阀(4)的进口连接。4.根据权利要求3所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵薇薇，夏玉悦，隗婷婷，
申请(专利权)人：上海至纯系统集成有限公司，
类型：新型
国别省市：
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