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本实用新型公开了一种液态前驱体输送用脱气装置，包括脱气腔和脱气膜，所述脱气膜设置在脱气腔内；所述脱气膜的一端连接有进液阀，所述脱气膜的另一端连接有出液阀；所述脱气腔连接有真空管。本实用新型提供的一种液态前驱体输送用脱气装置通过进液阀向脱气膜...
该专利属于上海至纯系统集成有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯系统集成有限公司授权不得商用。

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