固体摄像装置及其制造方法制造方法及图纸

技术编号:3606544 阅读:152 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种固体摄像装置及其制造方法,用来对入射到受光部的全部波长范围的可见光有效抑制入射光的反射,并且输出图像画面质量良好,灵敏度高。具备:光学部件,用来将入射光分离成多种颜色的成分;多个受光部,形成于半导体基片内,用来将通过上述光学部件所分离出每种颜色的光分别转换成电荷;反射防止膜,分别形成于各受光部的上方,至少具有2种膜厚中的任一种膜厚,用来减少各受光部表面上的光的反射。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种对图像进行摄像的固体摄像装置,其特征为:具备光学部件,用来将入射光分离成多种颜色的成分;多个受光部,形成于半导体基片内,用来将通过上述光学部件所分离出的每种颜色的光分别转换成电荷;反射防止膜,分别形成于各受光部的 上方,至少具有2种膜厚中的任一种膜厚,用来减少各受光部表面上的光的反射。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:铃木政胜
申请(专利权)人:松下电器产业株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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