一种便于取放晶圆片的晶圆盒制造技术

技术编号:36058912 阅读:30 留言:0更新日期:2022-12-21 11:22
本实用新型专利技术公开了一种便于取放晶圆片的晶圆盒,属于晶圆盒技术领域,包括下盖,所述下盖的上端通过卡合连接有上盖,所述下盖与上盖之间设置有放置组件,本实用新型专利技术通过设置放置组件,将放置盒放进下盖中,同时横板下端的插柱进入固定板的插孔中,之后再将晶圆片通过提杆上的标号依次放进放置盒中放置架的存放槽中,盖上上盖,上盖下端的限位座对晶圆片上端进行限位固定,对晶圆片进行储存,当需要度单个晶圆片进行取出时,通过提杆上的标号找到对应的晶圆片,通过提杆向上提动放置架,放置架在放置盒的放置槽中向上滑动,放置架可将单个晶圆片进行取出,通过设置放置组件方便对单个晶圆片进行取出,提高装置实用性。提高装置实用性。提高装置实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种便于取放晶圆片的晶圆盒


[0001]本技术属于晶圆盒
,具体涉及一种便于取放晶圆片的晶圆盒。

技术介绍

[0002]晶圆片的由来,是先将二氧化矽经过纯化,融解,蒸馏之后,制成矽晶棒,晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨,抛光和切片成为晶圆母片;由于圆形的晶圆片本身没有方向性,不适合电子的传输,因此这些晶圆还必须切出一个边,当做类似三角形的"底",所以晶圆长得并不像家里的DVD是标准的圆,而是被切掉一个边,成为有"底"的圆。
[0003]现有技术公开了一种晶圆包装盒,原包装盒通过设置盒体对晶圆片进行排列放置,当需要对单个晶圆片进行取出时,由于相邻晶圆片之间缝隙较小不方便对晶圆片进行取出,直接捏晶圆片两端拿取容易污染晶圆片,对晶圆片易造成伤害,同时原包装盒内部不具备干燥功能,无法保证对晶圆片储存环境的干燥。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
中提出的问题,本技术提供了一种便于取放晶圆片的晶圆盒,具有方便单个晶圆片取出,储存环境好的特点。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种便于取放晶圆片的晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于取放晶圆片的晶圆盒,包括下盖(1),其特征在于:所述下盖(1)的上端通过卡合连接有上盖(2),所述下盖(1)与上盖(2)之间设置有放置组件(3),所述放置组件(3)包括放置盒(301),所述放置盒(301)设置在下盖(1)内部,所述放置盒(301)两端设置有横板(303),所述横板(303)下端两侧设置有插柱(304),所述下盖(1)内部两端上侧设置有固定板(305),所述固定板(305)与插柱(304)对应的位置设置有插孔(306),所述放置盒(301)内部设置有若干放置架(307),所述放置盒(301)中开设有与放置架(307)对应的放置槽(308),所述放置架(307)上端开设有存放槽(309),所述放置架(307)上端两侧设置有提杆(310),所述提杆(310)上端设置有标号(311),所述上盖(2)下端与存放槽(309)对应的位置设置有限位座(302)。2.根据权利要求1所述的一种便于取放晶圆片的晶圆盒,其特征在于:所...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄诗妤
申请(专利权)人:厦门东骏佳得环保科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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