下载一种便于取放晶圆片的晶圆盒的技术资料

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本实用新型公开了一种便于取放晶圆片的晶圆盒,属于晶圆盒技术领域,包括下盖,所述下盖的上端通过卡合连接有上盖,所述下盖与上盖之间设置有放置组件,本实用新型通过设置放置组件,将放置盒放进下盖中,同时横板下端的插柱进入固定板的插孔中,之后再将晶圆...
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