一种方便取放的晶圆盒超声清洗机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其技术方案是：包括存储盒，存储盒顶部设有盛放机构；盛放机构包括两个连接块，两个连接块均设于存储盒内部，两个连接块之间固定连接有多个支撑台，多个支撑台顶部设有晶圆本体，两个连接块内部均开设有空腔，空腔内部设有限位组件，限位组件包括齿板，齿板设于空腔内部，齿板一侧设有多个连接轴，多个连接轴两端均与空腔侧壁通过轴承连接，多个连接轴外部均固定套设有齿轮，多个齿轮均与齿板相啮合，一种方便取放的晶圆盒超声清洗机有益效果是：方便对晶圆进行固定，方便晶圆的清洗，使晶圆固定更加稳定，并起到保护晶圆的作用，晶圆取放非常的方便快捷，提升晶圆取放速度。提升晶圆取放速度。提升晶圆取放速度。

【技术实现步骤摘要】
一种方便取放的晶圆盒超声清洗机


[0001]本技术涉及晶圆
，具体涉及一种方便取放的晶圆盒超声清洗机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。
[0003]现有的晶圆专用储存盒，通常在晶圆收放过程中，会使用专门的收纳装置，通常使用的储存盒在储存时，将晶圆直接放置在盒体内，通过隔离垫等即可进行防护，功能单一，且无法对晶圆进行超声清洗，同时晶圆取放非常的麻烦不方便。

技术实现思路

[0004]为此，本技术提供一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，以解决储存盒在储存时，将晶圆直接放置在盒体内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，包括存储盒(1)，其特征在于：所述存储盒(1)顶部设有盛放机构；所述盛放机构包括两个连接块(5)，两个所述连接块(5)均设于存储盒(1)内部，两个所述连接块(5)之间固定连接有多个支撑台(6)，多个所述支撑台(6)顶部设有晶圆本体(7)，两个所述连接块(5)内部均开设有空腔(21)，所述空腔(21)内部设有限位组件，所述限位组件包括齿板(23)，所述齿板(23)设于空腔(21)内部，所述齿板(23)一侧设有多个连接轴(27)，多个所述连接轴(27)两端均与空腔(21)侧壁通过轴承连接，多个所述连接轴(27)外部均固定套设有齿轮(26)，多个所述齿轮(26)均与齿板(23)相啮合，多个所述齿轮(26)一侧均固定连接有连接滑板(14)，所述连接块(5)一侧开设有多个滑槽(10)，多个所述连接滑板(14)分别贯穿多个所述滑槽(10)，多个所述连接滑板(14)一端固定连接有压板(9)，所述压板(9)与晶圆本体(7)相接触。2.根据权利要求1所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：所述空腔(21)侧壁开设有两个滑动槽(25)，两个所述滑动槽(25)内部均设有滑动块(24)，两个所述滑动块(24)均与齿板(23)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：所述连接块(5)顶部设有旋钮(11)，所述旋钮(11)一端固定连接有螺纹杆(22)，所述螺纹杆(22)延伸入空腔(21)内部并与连接块(5)顶部相接触，所述螺纹杆(22)延伸入齿板(23)内部并与齿板(23)侧壁通过螺纹连接。4.根据权利要求1所述的一种方便取放的晶圆盒超声清洗机，其特征在于：所述存储盒(1)两侧壁均开设有通槽(13)，两个所述通槽(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄诗妤，
申请(专利权)人：厦门东骏佳得环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：