一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其包括：支撑底座，所述支撑底座的上侧壁转动连接有转动板，所述转动板的上侧壁固定连接有三爪卡盘，所述三爪卡盘由卡盘主体、传动斜齿轮、传动盘以及卡爪组成，所述卡爪的内侧壁固定连接有弹性垫；所述支撑底座的上侧壁转动连接有第一转动球，所述转动板的内部转动连接有第二转动球，所述第二转动球的内部螺纹连接有调节杆，所述调节杆的上端固定连接有转盘，所述支撑底座的下侧壁设置有电磁底座，所述支撑底座的左侧壁设置有控制旋钮。本实用新型专利技术中，通过转动调节杆，可以对转动板的角度进行调节，从而调节三爪卡盘以及吸盘的角度，便于对静电吸盘进行修复。便于对静电吸盘进行修复。便于对静电吸盘进行修复。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具


[0001]本技术涉及静电吸盘吸附
，特别涉及一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具。

技术介绍

[0002]传统抓取搬运设备采用的是机械运动或真空吸力，但这类机器体型很大，造价高昂，耗电很高；想要拿起特定的物体，还需要对它们进行配置。而如果对象是玻璃板这样的脆弱物体，那它们也无能为力。静电卡盘系统可举起并运输物体，其表面的电极可在几乎任何物体之间产生并维持强大的吸附力，可以拿起任何物体，比如罐子、水果、盒子、箱子、玻璃板、硅胶板和纤维板。
[0003]静电卡盘是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称，静电卡盘所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用。
[0004]静电卡盘在进行修复需要夹具对静电卡盘进行固定，但是现有的夹具很难对不同大小的静电卡盘进行固定，并且在对静电卡盘进行夹持的过程中，很难静电卡盘的角度进行调节。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于至少解决现有技术中存本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，包括：支撑底座（1），所述支撑底座（1）的上侧壁转动连接有转动板（2），所述转动板（2）的上侧壁固定连接有三爪卡盘（3），所述三爪卡盘（3）由卡盘主体（301）、传动斜齿轮（303）、传动盘（304）以及卡爪（305）组成，所述卡爪（305）的内侧壁固定连接有弹性垫（306）；所述支撑底座（1）的上侧壁转动连接有第一转动球（401），所述转动板（2）的内部转动连接有第二转动球（402），所述第二转动球（402）的内部螺纹连接有调节杆（4），所述调节杆（4）的上端固定连接有转盘（403），所述支撑底座（1）的下侧壁设置有电磁底座（102），所述支撑底座（1）的左侧壁设置有控制旋钮（103）。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，所述调节杆（4）与第一转动球（401）之间为转动连接。3.根据权利要求1所述的一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其特征在于，所述支撑底座（1）的下侧壁固定连接有防滑垫（101），所述防滑垫（101）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王成杰，林凤兰，王梦霞，
申请(专利权)人：苏州合志杰新材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：