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本实用新型公开了一种用于半导体静电吸盘的修复用的夹具，其包括：支撑底座，所述支撑底座的上侧壁转动连接有转动板，所述转动板的上侧壁固定连接有三爪卡盘，所述三爪卡盘由卡盘主体、传动斜齿轮、传动盘以及卡爪组成，所述卡爪的内侧壁固定连接有弹性垫；所...
该专利属于苏州合志杰新材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州合志杰新材料技术有限公司授权不得商用。

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