一种用于静电吸盘陶瓷表面磨抛用的夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于静电吸盘陶瓷表面磨抛用的夹具，包括底座，底座的顶部两端分别固定连接有支撑板，支撑板的中部通过螺纹孔套设有螺纹杆，螺纹杆的相对的一端分别转动连接有弧形夹板，弧形夹板的底端中部分别固定连接有滑块，滑块的底部滑动连接支撑滑槽，支撑滑槽内凹设在底座的顶部两侧；底座的顶端中部内凹设有凹槽，凹槽内设有调高组件，调高组件的顶端连接承接板，承接板活动设在凹槽内。通过螺纹杆的调节，带动弧形夹板对静电吸盘进行夹持固定，圆弧形结构的弧形夹板，对静电吸盘的周侧进行固定，夹持的面积更广泛，避免夹持力集中在静电吸盘外侧，防止夹持力对静电吸盘外壁造成磨损。盘外壁造成磨损。盘外壁造成磨损。

【技术实现步骤摘要】
一种用于静电吸盘陶瓷表面磨抛用的夹具


[0001]本技术涉及夹具
，具体为一种用于静电吸盘陶瓷表面磨抛用的夹具。

技术介绍

[0002]静电吸盘是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称，所使用的静电吸附技术是一种替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，在半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用。
[0003]现有技术中的等离子刻蚀工艺均需要用到静电吸盘，静电吸盘的表面通常使用陶瓷材质，表面设有许多微小凸起用来承载晶圆，并且该凸起的平整度要求非常高，如果有微小的差异会导致该差异位置处的晶圆温度的导热性能与其他位置有差异并且造成晶圆的拱起，这种微小的差异会在长时间的刻蚀工艺过程中逐渐的积累，最终会导致晶圆的关键尺寸有所差异，进而导致晶圆良率的降低。
[0004]现有技术中为了保持静电吸盘陶瓷表面凸起的平整度，通常使用硅片进行传送磨抛，磨抛时为了保持静电吸盘位置固定，需对静电吸盘进行固定，传统的夹具只能对静电吸盘两侧进行夹持，容易因夹持力较大对静电吸盘的两侧外壁造成磨损，为此我们提出一种用于静电吸盘陶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于静电吸盘陶瓷表面磨抛用的夹具，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部两端分别固定连接有支撑板（2），所述支撑板（2）的中部通过螺纹孔套设有螺纹杆（3），所述螺纹杆（3）的相对的一端分别转动连接有弧形夹板（4），所述弧形夹板（4）的底端中部分别固定连接有滑块（6），所述滑块（6）的底部滑动连接支撑滑槽（5），所述支撑滑槽（5）内凹设在底座（1）的顶部两侧；所述底座（1）的顶端中部内凹设有凹槽（7），所述凹槽（7）内设有调高组件（9），所述调高组件（9）的顶端连接承接板（8），所述承接板（8）活动设在凹槽（7）内。2.根据权利要求1所述的一种用于静电吸盘陶瓷表面磨抛用的夹具，其特征在于：所述底座（1）的底部表面设有若干防滑齿（101）。3.根据权利要求1所述的一种用于静电吸盘陶瓷表面磨抛用的夹具，其特征在于：所述支撑滑槽（5）为T型槽，所述滑块（6）为T型结构。4.根据权利要求1所述的一种用于静电吸盘陶瓷表面磨抛用的夹具，其特征在于：所述支撑板（2）平行设置，所述螺纹杆（3）以底座（1）的中部为对称线对称设置。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王成杰，顾健，林凤兰，王梦霞，
申请(专利权)人：苏州合志杰新材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：