一种多晶硅还原炉壁面喷涂控制方法和系统技术方案

技术编号:36045976 阅读:12 留言:0更新日期:2022-12-21 10:54
本发明专利技术提供一种多晶硅还原炉壁面喷涂控制方法和系统,该方法包括:应用于喷涂控制系统,喷涂控制系统包括:机械臂装置、升降装置、控制装置和喷枪结构;控制装置用于:向机械臂装置发送第一控制信号,控制喷枪结构与还原炉内壁的第一区域之间保持第一状态;向升降装置发送第二控制信号,控制升降装置在第一方向上滑动,联动机械臂装置在第一方向运动,并控制喷枪结构与还原炉内壁的第二区域之间保持第一状态;在第一状态时,向喷枪结构发送第三控制信号,控制喷枪结构进行涂层喷涂;其中,第一方向为与喷涂系统的底面垂直的方向。本发明专利技术的方案解决了现有技术中存在的还原炉内壁喷涂旋转机构结构复杂、控制难度大问题。控制难度大问题。控制难度大问题。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原炉壁面喷涂控制方法和系统


[0001]本专利技术涉及多晶硅生产领域,特别是指一种多晶硅还原炉壁面喷涂控制方法和系统。

技术介绍

[0002]多晶硅还原炉是光伏上游硅料核心的生产设备,其内壁状态显著影响生产能耗。针对多晶硅还原炉因高温氯腐蚀、壁面结垢、倒棒滑痕等导致的还原炉内壁红外反射率持续衰减,辐射换热耗散大量热量致使能量利用效率降低的问题,国内外开展了大量还原炉内壁修复及涂层技术研究工作。
[0003]目前行业内多使用热喷涂或冷喷涂制备还原炉涂层,在还原炉桶内固定喷涂设备,通过传动机构使还原炉桶产生旋转运动,喷涂设备只做升降运动,从而完成还原炉桶内壁全范围内的喷涂。还原炉桶体积大、重量达20吨,同时为非对称结构,旋转易产生偏心倾倒,要实时控制和调整还原炉桶(大尺寸、大惯性的非对称设备)的旋转速度,以保证喷涂质量,因此旋转机构结构复杂、制造成本高、控制难度大。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种多晶硅还原炉壁面喷涂控制方法和系统,以解决现有技术中存在的还原炉内壁喷涂旋转机构结构复杂、制造成本高、控制难度大的问题。
[0005]为达到上述目的,本专利技术的实施例提供一种多晶硅还原炉壁面喷涂控制方法,应用于喷涂控制系统,所述喷涂控制系统包括:机械臂装置、升降装置、控制装置和喷枪结构;
[0006]所述控制装置用于:向所述机械臂装置发送第一控制信号,控制所述喷枪结构与还原炉内壁的第一区域之间保持第一状态;
[0007]所述控制装置还用于:向所述升降装置发送第二控制信号,控制所述升降装置在第一方向上滑动,联动所述机械臂装置在所述第一方向运动,并控制所述喷枪结构与还原炉内壁的第二区域之间保持所述第一状态;
[0008]所述控制装置还用于:在所述第一状态时,向所述喷枪结构发送第三控制信号,控制所述喷枪结构进行涂层喷涂;
[0009]其中,所述第一方向为与所述喷涂系统的底面垂直的方向;所述第一区域为所述机械臂装置所伸缩的最大范围区域;所述第二区域为还原炉内壁的非第二区域的区域。
[0010]可选地,所述控制装置还用于:
[0011]获取还原炉内壁的三维数据,构建三维模型,并确定所述机械臂装置和所述升降装置的参数范围;
[0012]获取所述机械臂装置和所述升降装置的实时参数,控制所述机械臂装置和所述升降装置的实时参数满足所述参数范围。
[0013]可选地,所述第一状态为:
[0014]所述喷枪结构与所述第一区域或所述第二区域上的点位置垂直,且所述喷枪结构
与所述第一区域或所述第二区域上的点位置之间的距离处于180mm至200mm之间。
[0015]可选地,所述喷涂控制系统还包括与所述控制装置连接的通风降温装置的情况下;
[0016]在所述喷枪结构进行涂层喷涂前的第一预设时间,所述控制装置还用于向所述通风降温装置发送第一开启信号,所述通风降温装置根据所述第一开启信号,开启通风降温功能。
[0017]可选地,所述喷涂控制系统还包括与所述控制装置连接的除尘装置的情况下;
[0018]在所述喷枪结构进行涂层喷涂前的第二预设时间,所述控制装置还用于向所述除尘装置发送第二开启信号,所述除尘装置根据所述第二开启信号,开启除尘功能。
[0019]可选地,所述控制装置还用于:
[0020]获取还原炉内壁的圆柱部分的第一三维数据;
[0021]根据所述第一三维数据,确定奇点数据集合;
[0022]根据所述奇点数据集合,确定所述机械臂装置和所述升降装置的避障数据。
[0023]可选地,所述控制装置还用于:
[0024]获取还原炉内壁的炉顶部分的第二三维数据;
[0025]根据所述第二三维数据,确定炉顶弧度离散数据集合;
[0026]根据所述炉顶弧度离散数据集合,确定炉顶部分中每一炉顶弧度对应的所述喷枪结构的启停点。
[0027]可选地,所述控制装置还用于:
[0028]根据所述奇点数据集合,确定所述还原炉内壁的圆柱部分的喷涂参数数据;
[0029]所述圆柱部分的喷涂参数数据包括所述圆柱部分对应的喷涂时间、所述圆柱部分对应的喷涂用粉量、所述圆柱部分对应的喷涂用气量、所述圆柱部分对应的喷涂间断次数、所述圆柱部分对应的喷涂间断时间点和所述圆柱部分对应的作业释放能量数据中的至少一项。
[0030]可选地,所述控制装置还用于:
[0031]根据所述炉顶弧度离散数据集合,确定所述还原炉内壁的炉顶部分的喷涂参数数据;
[0032]所述炉顶部分的喷涂参数数据包括所述炉顶部分对应的喷涂时间、所述炉顶部分对应的喷涂用粉量、所述炉顶部分对应的喷涂用气量、所述炉顶部分对应的喷涂间断次数、所述炉顶部分对应的喷涂间断时间点和所述炉顶部分对应的作业释放能量数据中的至少一项。
[0033]为达到上述目的,本专利技术的实施例提供一种多晶硅还原炉壁面喷涂控制系统,包括:机械臂装置、升降装置和控制装置;
[0034]所述机械臂装置上设置有喷枪结构;
[0035]所述机械臂装置与所述升降装置连接;
[0036]所述控制装置与所述机械臂装置和所述升降装置分别连接;
[0037]其中,所述控制装置用于:向所述机械臂装置发送第一控制信号,控制所述喷枪结构与还原炉内壁的第一区域之间保持第一状态;
[0038]所述控制装置还用于:向所述升降装置发送第二控制信号,控制所述升降装置在
第一方向上滑动,联动所述机械臂装置在所述第一方向运动,并控制所述喷枪结构与还原炉内壁的第二区域之间保持所述第一状态;
[0039]所述控制装置还用于:在所述第一状态时,向所述喷枪结构发送第三控制信号,控制所述喷枪结构进行涂层喷涂;
[0040]其中,所述第一方向为与所述喷涂系统的底面垂直的方向;所述第一区域为所述机械臂装置所伸缩的最大范围区域;所述第二区域为还原炉内壁的非第二区域的区域。
[0041]本专利技术的上述技术方案的有益效果如下:
[0042]上述技术方案中,喷涂控制方法应用于喷涂控制系统,所述喷涂控制系统包括:机械臂装置、升降装置、控制装置和喷枪结构;控制装置用于:向所述机械臂装置发送第一控制信号,控制所述喷枪结构与还原炉内壁的第一区域之间保持第一状态;所述控制装置还用于:向所述升降装置发送第二控制信号,控制所述升降装置在第一方向上滑动,联动所述机械臂装置在所述第一方向运动,并控制所述喷枪结构与还原炉内壁的第二区域之间保持所述第一状态;所述控制装置还用于:在所述第一状态时,向所述喷枪结构发送第三控制信号,控制所述喷枪结构进行涂层喷涂,采用该技术方案的控制方法,在还原炉不旋转的情况下,通过小型机械臂装置及升降装置的运动,实现炉桶内壁高质量的喷涂修复,解决了现有技术中存在的还原炉内壁喷涂旋转机构结构复杂、制造成本高、控制难度大的问题。
附图说明
[0043]图1为本专利技术实施例提供的多晶本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原炉壁面喷涂控制方法,其特征在于,应用于喷涂控制系统,所述喷涂控制系统包括:机械臂装置、升降装置、控制装置和喷枪结构;所述控制装置用于:向所述机械臂装置发送第一控制信号,控制所述喷枪结构与还原炉内壁的第一区域之间保持第一状态;所述控制装置还用于:向所述升降装置发送第二控制信号,控制所述升降装置在第一方向上滑动,联动所述机械臂装置在所述第一方向运动,并控制所述喷枪结构与还原炉内壁的第二区域之间保持所述第一状态;所述控制装置还用于:在所述第一状态时,向所述喷枪结构发送第三控制信号,控制所述喷枪结构进行涂层喷涂;其中,所述第一方向为与所述喷涂系统的底面垂直的方向;所述第一区域为所述机械臂装置所伸缩的最大范围区域;所述第二区域为还原炉内壁的非第二区域的区域。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述控制装置还用于:获取还原炉内壁的三维数据,构建三维模型,并确定所述机械臂装置和所述升降装置的参数范围;获取所述机械臂装置和所述升降装置的实时参数,控制所述机械臂装置和所述升降装置的实时参数满足所述参数范围。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一状态为:所述喷枪结构与所述第一区域或所述第二区域上的点位置垂直,且所述喷枪结构与所述第一区域或所述第二区域上的点位置之间的距离处于180mm至200mm之间。4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述喷涂控制系统还包括与所述控制装置连接的通风降温装置的情况下;在所述喷枪结构进行涂层喷涂前的第一预设时间,所述控制装置还用于向所述通风降温装置发送第一开启信号,所述通风降温装置根据所述第一开启信号,开启通风降温功能。5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述喷涂控制系统还包括与所述控制装置连接的除尘装置的情况下;在所述喷枪结构进行涂层喷涂前的第二预设时间,所述控制装置还用于向所述除尘装置发送第二开启信号,所述除尘装置根据所述第二开启信号,开启除尘功能。6.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述控制装置还用于:获取还原炉内壁的圆柱部分的第一三维数据;根据所述第一三维数据,确定奇点数据集合;根据所述奇点数...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈肖华冯留建银波刘兴平吴万里刘浩周克虎
申请(专利权)人:新疆新特晶体硅高科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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