一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质，涉及工艺质量管控技术领域。所述工艺质量分析方法包括：获取多晶硅生产工序中的至少一个工艺参数的运行数据；对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据；根据筛选后的运行数据，对所述多晶硅生产工序进行工艺质量分析，得到工艺质量分析结果；其中，所述工艺质量分析为以下至少一项：过程能力分析；方差分析；试验设计分析；可靠性分析；多变量分析。本发明专利技术的方案能够对多晶硅生产工序中的工艺参数进行分析，从而为多晶硅的质量提升奠定基础。奠定基础。奠定基础。

【技术实现步骤摘要】
一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质


[0001]本专利技术涉及工艺质量管控
，尤其是涉及一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质。

技术介绍

[0002]在多晶硅产品的生产过程中，工艺参数的质量稳定性对于多晶硅产品质量至关重要，在目前的控制方式中，对于工艺参数的质量分析大多采用在DCS(Distributed Control System，分布式控制系统)或者PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)系统中进行历史趋势分析方式，或者采用人为统计分析方式。其中，历史趋势分析方式，虽然整体较为直观，但实质是为定性型的判断，当趋势较为平稳时，定性型的分析精度已不足以支撑生产要求；人为统计分析方式，存在着分析方式不统一，数据处理工作量大，分析周期覆盖不全，效率低等诸多问题。因此上述两类分析方式的弊端日益突出，急需一种高效的工艺质量分析方式。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例的目的在于提供一种工艺质量分析方法、装置及可读存储介质，从而解决现有技术中多晶硅生产过程的工艺参数分析效率低的问题。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术提供了一种工艺质量分析方法，包括：
[0005]获取多晶硅生产工序中的至少一个工艺参数的运行数据；
[0006]对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据；
[0007]根据筛选后的运行数据，对所述多晶硅生产工序进行工艺质量分析，得到工艺质量分析结果；
[0008]其中，所述工艺质量分析为以下至少一项：
[0009]过程能力分析；
[0010]方差分析；
[0011]试验设计分析；
[0012]可靠性分析；
[0013]多变量分析。
[0014]可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，所述方法还包括：
[0015]在所述工艺质量分析结果指示控制达标的情况下，确定所述工艺参数的运行范围。
[0016]可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，所述对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据，包括：
[0017]对于每一所述工艺参数，按照预设时段，将所述运行数据划分为至少一个数据组；
[0018]对每一所述数据组进行统计分析，获取质量控制信息；
[0019]根据所述质量控制信息，判断所述数据组中是否存在异常运行数据；
[0020]在所述数据组中存在所述异常运行数据的情况下，根据所述异常运行数据，对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据。
[0021]可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，所述根据所述质量控制信息，判断所述数据组中是否存在异常运行数据，包括：
[0022]根据所述质量控制信息，生成控制图；其中，所述控制图包括移动极差控制图和/或I
‑
控制图；
[0023]采用判异原则对所述控制图上的数据点进行分析，判断所述数据组中是否存在异常运行数据。
[0024]可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，所述判异原则为所述控制图上的数据点满足第一条件的情况下，确定所述数据组中存在所述异常运行数据；
[0025]其中，所述第一条件包括以下至少一项：
[0026]至少第一数量的数据点超出预设控制界限，所述预设控制界限包括预设控制上限和预设控制下限；
[0027]连续第二数量的数据点位于中心线的同一侧，所述中心线是根据所述控制图上的全部数据点的中值确定的；
[0028]连续第三数量的数据点递增或递减；
[0029]连续第四数量的数据点中相邻两个数据点上下交错；
[0030]连续第五数量的数据点中存在第六数量的数据点均位于所述中心线的同一侧，且与所述中心线的距离均大于第一倍数的标准差，所述标准差是所述控制图上的全部数据点的标准差；
[0031]连续第七数量的数据点中存在第八数量的数据点均位于所述中心线的同一侧，且与所述中心线的距离均大于第二倍数的标准差；
[0032]连续第九数目的数据点与所述中心线的距离均小于或等于第二倍数的所述标准差；
[0033]连续第十数目的数据点与所述中心线的距离均大于所述第二倍数的所述标准差。
[0034]可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，在所述工艺质量分析为过程能力分析的情况下，所述根据筛选后的运行数据，对所述多晶硅生产工序进行工艺质量分析，得到工艺质量分析结果，包括：
[0035]对于每一所述工艺参数，按照预设时段，将所述运行数据划分为至少一个数据组；
[0036]对于每一数据组，获取过程能力指数；
[0037]根据至少一个所述数据组的过程能力指数，获取过程能力指数趋势信息；
[0038]根据所述过程能力指数趋势信息，对所述多晶硅生产工序进行工艺质量分析，得到工艺质量分析结果。
[0039]可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，所述获取多晶硅生产工序中的至少一个工艺参数的运行数据，包括：
[0040]通过第一方式，获取所述多晶硅生产工序中的至少一个所述工艺参数的所述运行数据；
[0041]其中，所述第一方式包括以下至少一项：
[0042]实时数据库系统；
[0043]检化验系统；
[0044]制造执行系统。
[0045]可选的，所述的工艺质量分析方法，其中，在所述运行数据中存在所述异常运行数据的情况下，所述方法还包括：
[0046]生成告警信息。
[0047]本专利技术实施例还提供了一种工艺质量分析装置，包括：
[0048]获取模块，用于获取多晶硅生产工序中的至少一个工艺参数的运行数据；
[0049]获得模块，用于对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据；
[0050]分析模块，用于根据筛选后的运行数据，对所述多晶硅生产工序进行工艺质量分析，得到工艺质量分析结果；
[0051]其中，所述工艺质量分析为以下至少一项：
[0052]过程能力分析；
[0053]方差分析；
[0054]试验设计分析；
[0055]可靠性分析；
[0056]多变量分析。
[0057]可选的，所述的工艺质量分析装置，其中，还包括：
[0058]确定模块，用于在所述工艺质量分析结果指示控制达标的情况下，确定所述工艺参数的运行范围。
[0059]可选的，所述的工艺质量分析装置，其中，所述获得模块包括：
[0060]第一划分单元，用于对于每一所述工艺参数，按照预设时段，将所述运行数据划分为至少一个数据组；
[0061]第一分析单元，用于对每一所述数据组进行统计分析，获取质量控制信息；
[0062]判断单元，用于根据所述质量控制信息，判断所述数据组中是否存在异常运行数据；
[0063]获得单元，用于在所述数据组中存在所述异常运行数据的情况下，根据所述异常运行数据，对所述运行数据进行筛选，获得本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工艺质量分析方法，其特征在于，包括：获取多晶硅生产工序中的至少一个工艺参数的运行数据；对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据；根据筛选后的运行数据，对所述多晶硅生产工序进行工艺质量分析，得到工艺质量分析结果；其中，所述工艺质量分析为以下至少一项：过程能力分析；方差分析；试验设计分析；可靠性分析；多变量分析。2.根据权利要求1所述的工艺质量分析方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述工艺质量分析结果指示控制达标的情况下，确定所述工艺参数的运行范围。3.根据权利要求1所述的工艺质量分析方法，其特征在于，所述对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据，包括：对于每一所述工艺参数，按照预设时段，将所述运行数据划分为至少一个数据组；对每一所述数据组进行统计分析，获取质量控制信息；根据所述质量控制信息，判断所述数据组中是否存在异常运行数据；在所述数据组中存在所述异常运行数据的情况下，根据所述异常运行数据，对所述运行数据进行筛选，获得筛选后的运行数据。4.根据权利要求3所述的工艺质量分析方法，其特征在于，所述根据所述质量控制信息，判断所述数据组中是否存在异常运行数据，包括：根据所述质量控制信息，生成控制图；其中，所述控制图包括移动极差控制图和/或I
‑
控制图；采用判异原则对所述控制图上的数据点进行分析，判断所述数据组中是否存在异常运行数据。5.根据权利要求4所述的工艺质量分析方法，其特征在于，所述判异原则为所述控制图上的数据点满足第一条件的情况下，确定所述数据组中存在所述异常运行数据；其中，所述第一条件包括以下至少一项：至少第一数量的数据点超出预设控制界限，所述预设控制界限包括预设控制上限和预设控制下限；连续第二数量的数据点位于中心线的同一侧，所述中心线是根据所述控制图上的全部数据点的中值确定的；连续第三数量的数据点递增或递减；连续第四数量的数据点中相邻两个数据点上下交错；连续第五数量的数据点中存在第六数量的数据点均位于所述中心线的同一侧，且与所述中心线的...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨帅，侯雨，银波，宋玲玲，朱晓明，甘新业，高静，候春霞，王新月，
申请(专利权)人：新疆新特晶体硅高科技有限公司，
类型：发明
国别省市：