清扫装置、连接管组件和晶体生长设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种清扫装置、连接管组件和晶体生长设备，清扫装置包括固定件、清扫部件和第一驱动部件，固定件适于固设于第二支路的远离第一支路的一端；清扫部件包括连杆、承载台和铲除器，连杆穿设于固定件，承载台和铲除器沿连杆的轴向间隔设置，铲除器具有镂空部，铲除器位于承载台的背离固定件的一侧且用于至少清扫第一支路的内壁面，承载台用于承载铲除器去除的附着物的至少部分；第一驱动部件设于固定件且用于驱动连杆沿连杆的轴向移动。根据本实用新型专利技术的清扫装置，可以提高对管路的清理能力，节约清扫时间，延长对管路清扫周期，同时避免了管路堵塞造成的生产损失。同时避免了管路堵塞造成的生产损失。同时避免了管路堵塞造成的生产损失。

【技术实现步骤摘要】
清扫装置、连接管组件和晶体生长设备


[0001]本技术涉及管道
，尤其是涉及一种清扫装置、连接管组件和晶体生长设备。

技术介绍

[0002]相关技术中，在晶体生长过程中，晶体生长设备一般在真空状态下进行工作，在高温环境下，炉体内需要工艺气体进行保护或者反应，因此需要对晶体生长设备用真空泵进行持续抽空作业；然而在抽空作业的过程中，会伴随着大量的反应挥发物进入排放管道，由于排放管道处于炉体外部，且与外部环境接触，使得排放管道内温度较低，导致高温的反应挥发物在排出或进去排放管道时温度急剧降低，以至于反应挥发物会在排放管道入口处造成凝聚固化；当长时间的持续抽空作业，凝固的附着物会使得管路变细或者堵塞，造成炉体内压力变化和工艺气体流量变化，以影响晶体品质良率。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种清扫装置，所述清扫装置可以提高对管路的清理能力，节约清扫时间，延长对管路清扫周期，同时避免了管路堵塞造成的生产损失。
[0004]本技术还提出一种具有上述清扫装置的连接管组件。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清扫装置(100)，其特征在于，所述清扫装置(100)用于清扫管路的内壁面，所述管路包括第一支路(101)、第二支路(102)和第三支路(103)，所述第一支路(101)和所述第二支路(102)同轴设置，所述第三支路(103)与所述第一支路(101)和所述第二支路(102)均连通，所述清扫装置(100)包括：固定件(1)，所述固定件(1)适于固设于所述第二支路(102)的远离所述第一支路(101)的一端；清扫部件(2)，所述清扫部件(2)包括连杆(21)、承载台(22)和铲除器(23)，所述连杆(21)穿设于所述固定件(1)，所述承载台(22)和所述铲除器(23)沿所述连杆(21)的轴向间隔设置，所述铲除器(23)具有镂空部(231)，所述铲除器(23)位于所述承载台(22)的背离所述固定件(1)的一侧且用于至少清扫所述第一支路(101)的内壁面，所述承载台(22)用于承载所述铲除器(23)去除的附着物的至少部分；第一驱动部件(3)，所述第一驱动部件(3)设于所述固定件(1)且用于驱动所述连杆(21)沿所述连杆(21)的轴向移动。2.根据权利要求1所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述承载台(22)设于所述连杆(21)的邻近所述铲除器(23)的一端，所述承载台(22)和所述铲除器(23)之间设有多个连接件(4)，多个所述连接件(4)沿所述连杆(21)的周向间隔设置。3.根据权利要求2所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述连接件(4)的横截面积小于所述连杆(21)的横截面积。4.根据权利要求2所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述铲除器(23)形成为环形。5.根据权利要求1所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述第一驱动部件(3)包括：第一驱动器(31)；伸缩机构(32)，所述伸缩机构(32)连接所述第一驱动器(31)和所述清扫部件(2)，且所述伸缩机构(32)在所述第二支路(102)的轴向上可伸缩变形。6.根据权利要求1
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5中任一项所述的清扫装置(100)，其特征在于，还包括转接件(5)和第二驱动部件(6)，所述第二驱动部件(6)用于驱动所...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜子棋，李向阳，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：