下载清扫装置、连接管组件和晶体生长设备的技术资料

文档序号:36039896

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本实用新型公开了一种清扫装置、连接管组件和晶体生长设备,清扫装置包括固定件、清扫部件和第一驱动部件,固定件适于固设于第二支路的远离第一支路的一端;清扫部件包括连杆、承载台和铲除器,连杆穿设于固定件,承载台和铲除器沿连杆的轴向间隔设置,铲除器...
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