太阳能电池镀膜设备制造技术

本公开实施例中提供太阳能电池镀膜设备，包括：多个电池加工腔室，工艺顺序设置；其中，所述多个电池加工腔室中包括至少一个镀膜腔室；每个所述镀膜腔室，内部设有一对镀膜加工装置；所述一对镀膜加工装置分别设于所述镀膜腔室内的顶部和底部。本公开实施例中的太阳能电池镀膜设备提供的镀膜腔室可以选择执行单面或双面镀膜工艺，节省降低镀膜设备的占地空间。并且，所述太阳能电池镀膜设备中可以将多种镀膜腔室连通使用，缩短硅片上下料以及减小两种镀膜方式之间所不必须的升降温度节省了工艺步骤，节省了成本。也极大地缩短双面镀膜的工艺时间和避免绕镀造成的刻蚀段的成本，提高太阳能电池产品良率。高太阳能电池产品良率。高太阳能电池产品良率。

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池镀膜设备


[0001]本公开涉及光伏
，尤其涉及太阳能电池镀膜设备。

技术介绍

[0002]制备高效晶硅太阳能电池需要在硅片上生长具有优良的钝化薄膜和导电薄膜。质量优异的表面钝化层，可以降低硅表面的缺陷态密度，减少载流子在表面附近的复合。而且随着太阳能电池行业的飞速发展，对透明导电薄膜的透光率和导电性提出了更高的要求。
[0003]目前，氧化铝钝化膜的制备一般采用原子层沉积(ALD)方法和等离子增强化学气相沉积(PECVD)方法来制备氧化铝薄膜。导电金属薄膜主要采用高质量的沉积技术包括：磁控溅射法、电子束蒸发法和脉冲激光沉积法。
[0004]对于两种薄膜的制备，目前主要的方式采用2道工序，先在一台设备上完成钝化薄膜的制备，然后取出硅片送到另一台设备上进行导电薄膜的制备。这种方式需要两台设备，占地面积大，所需作业人员多，硅片上下料机构多，容易造成污染，并且严重影响了产能。

技术实现思路

[0005]鉴于以上相关技术的缺点，本公开的目的在于提供太阳能电池镀膜设备，以解决相关技术中的问题。
[0006]本公开第一方面提供一种太阳能电池镀膜设备，包括：多个电池加工腔室，工艺顺序设置；其中，所述多个电池加工腔室中包括至少一个镀膜腔室；每个所述镀膜腔室，内部设有一对镀膜加工装置；所述一对镀膜加工装置分别设于所述镀膜腔室内的顶部和底部。
[0007]在第一方面的实施例中，所述太阳能电池镀膜设备包括至少一个托盘，在各所述电池加工腔室之间运动，所述托盘为实心或镂空的。
>[0008]在第一方面的实施例中，所述至少一个镀膜腔室包括以下至少一个：钝化膜工艺腔；导电薄膜沉积腔。
[0009]在第一方面的实施例中，所述至少一个镀膜腔室包括：钝化膜工艺腔和导电薄膜沉积腔；所述钝化膜工艺腔位于导电薄膜沉积腔之前。
[0010]在第一方面的实施例中，所述钝化膜工艺腔和导电薄膜沉积腔之间还设置温度压力调整腔。
[0011]在第一方面的实施例中，所述多个电池加工腔室还包括：位于钝化膜工艺腔之前的载入腔和预热腔，以及位于各电池加工腔室最后的载出腔。
[0012]在第一方面的实施例中，所述钝化膜工艺腔内顶部设有第一镀膜加工装置及底部设有第二镀膜加工装置，所述第一镀膜加工装置包括第一顶部喷淋器；所述第二镀膜加工装置分包括第一底部喷淋器。
[0013]在第一方面的实施例中，所述第一镀膜加工装置还包括第一顶部加热器，所述第一顶部加热器和第一顶部喷淋器沿远离钝化膜工艺腔的顶部的方向排列设置，所述第一顶部加热器相较于第一顶部喷淋器更接近于所述钝化膜工艺腔的顶部；和/或，所述第二镀膜
加工装置还包括第一底部加热器，所述第一底部加热器和第一底部喷淋器沿远离钝化膜工艺腔的底部的方向排列设置，所述第一底部加热器相较于第一底部喷淋器更接近于所述钝化膜工艺腔的底部。
[0014]在第一方面的实施例中，在导电薄膜沉积腔中，顶部设有第三镀膜加工装置及底部设有第四镀膜加工装置，所述第三镀膜加工装置包括第一极性电极；所述第四镀膜加工装置包括第二极性电极。
[0015]在第一方面的实施例中，所述第三镀膜加工装置还包括第二顶部加热器，所述第一极性电极和第二顶部加热器沿远离导电薄膜沉积腔的顶部的方向排列设置，所述第二顶部加热器相较于所述第一极性电极更接近于所述导电薄膜沉积腔的顶部；和/或，所述第四镀膜加工装置还包括第二底部加热器，所述第二极性电极和第二底部加热器沿远离导电薄膜沉积腔的底部的方向排列设置，所述第二底部加热器相较于所述第二极性电极更接近于所述导电薄膜沉积腔的底部。
[0016]如上所述，本公开实施例中提供太阳能电池镀膜设备，包括：多个电池加工腔室，工艺顺序设置；其中，所述多个电池加工腔室中包括至少一个镀膜腔室；每个所述镀膜腔室，内部设有一对镀膜加工装置；所述一对镀膜加工装置分别设于所述镀膜腔室内的顶部和底部。本公开实施例中的太阳能电池镀膜设备提供的镀膜腔室可以选择执行单面或双面镀膜工艺，节省降低镀膜设备的占地空间。并且，所述太阳能电池镀膜设备中可以将多种镀膜腔室连通使用，缩短硅片上下料以及减小两种镀膜方式之间所不必须的升降温度节省了工艺步骤，节省了成本。也极大地缩短双面镀膜的工艺时间和避免绕镀造成的刻蚀段的成本，提高太阳能电池产品良率。
附图说明
[0017]图1展示本公开一实施例中太阳能电池镀膜设备的腔室结构示意图。
[0018]图2展示本公开一实施例中钝化膜工艺沉积腔的结构示意图。
[0019]图3展示本公开一实施例中导电薄膜工艺沉积腔的结构示意图。
[0020]图4展示本公开一实施例中镂空托盘的结构示意图。
具体实施方式
[0021]以下通过特定的具体实例说明本公开的实施方式，本领域技术人员可由本公开所揭露的消息轻易地了解本公开的其他优点与功效。本公开还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用系统，本公开中的各项细节也可以根据不同观点与应用系统，在没有背离本公开的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0022]下面以附图为参考，针对本公开的实施例进行详细说明，以便本公开所属
的技术人员能够容易地实施。本公开可以以多种不同形态体现，并不限定于此处说明的实施例。
[0023]在本公开的表示中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的表示意指结合该实施例或示例表示的具体特征、结构、材料或者特点包括于本公开的至少一个实施例或示例中。而且，表示的具体特征、结构、材料或者特点可以
在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本公开中表示的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
[0024]此外，术语“第一”、“第二”仅用于表示目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或隐含地包括至少一个该特征。在本公开的表示中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0025]为了明确说明本公开，省略与说明无关的器件，对于通篇说明书中相同或类似的构成要素，赋予了相同的参照符号。
[0026]在通篇说明书中，当说某器件与另一器件“连接”时，这不仅包括“直接连接”的情形，也包括在其中间把其它元件置于其间而“间接连接”的情形。另外，当说某种器件“包括”某种构成要素时，只要没有特别相反的记载，则并非将其它构成要素排除在外，而是意味着可以还包括其它构成要素。
[0027]虽然在一些实例中术语第一、第二等在本文中用来表示各种元件，但是这些元件不应当被这些术语限制。这些术语仅用来将一个元件与另一个元件进行区分。例如，第一接口及第二接口等表示。再者，如同在本文中所使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”旨在也包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池镀膜设备，其特征在于，包括：多个电池加工腔室，按工艺顺序设置；其中，所述多个电池加工腔室中包括至少一个镀膜腔室；每个所述镀膜腔室，内部设有一对镀膜加工装置；所述一对镀膜加工装置分别设于所述镀膜腔室内的顶部和底部。2.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于，包括：至少一个托盘，在各所述电池加工腔室之间运动，所述托盘为实心或镂空的。3.根据权利要求1所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于，所述至少一个镀膜腔室包括以下至少一个：钝化膜工艺腔；导电薄膜沉积腔。4.根据权利要求3所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于，所述至少一个镀膜腔室包括：钝化膜工艺腔和导电薄膜沉积腔；所述钝化膜工艺腔位于导电薄膜沉积腔之前。5.根据权利要求3所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于，所述钝化膜工艺腔和导电薄膜沉积腔之间还设置温度压力调整腔。6.根据权利要求3所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于，所述多个电池加工腔室还包括：位于钝化膜工艺腔之前的载入腔和预热腔，以及位于各电池加工腔室最后的载出腔。7.根据权利要求3所述的太阳能电池镀膜设备，其特征在于，所述钝化膜工艺腔内顶部设有第一镀膜加工装置及底部设有第二镀膜加工装置，所述第一镀膜加工装置包括第一顶部喷淋器；所述第二镀膜加工装置分包括第一底部...

【专利技术属性】
技术研发人员：张帅，刘成法，刘绍阳，邹杨，张雅倩，陆玉刚，
申请(专利权)人：天合光能股份有限公司，
类型：新型
国别省市：