过渡腔室和镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种过渡腔室和镀膜设备，其中，过渡腔室包括主体，主体内设置有腔体，腔体内部设置有基座，基座上间隔设置有支撑架，支撑架用于支撑面板，支撑架通过连接件与基座连接，连接件设置在支撑架长度方向的两端，支撑架的下表面凹陷设置有凹槽，支撑架具有两个相对的周侧面，两个周侧面与支撑架的长度方向平行，凹槽至少与其中一个周侧面连通，支撑架的下方还设置有加强结构，加强结构支撑凹槽的槽底。通过在支撑架的下表面设置凹槽，可以增大支撑架与基座之间的间隙，方便清洁工具可以伸入支撑架和基座之间的区域中进行擦拭清洁；通过设置加强结构，可以为支撑架提供强度支撑，避免支撑架强度过小而产生弯曲变形。避免支撑架强度过小而产生弯曲变形。避免支撑架强度过小而产生弯曲变形。

【技术实现步骤摘要】
过渡腔室和镀膜设备


[0001]本技术涉及面板加工设备领域，尤其涉及一种过渡腔室，以及包括此过渡腔室的镀膜设备。

技术介绍

[0002]显示设备的显示面板在加工时，需要使用镀膜设备对显示面板(以下简称面板)进行镀膜处理。
[0003]参照图1和图2，镀膜设备包括过渡腔室100＇、分配腔室200＇和多个镀膜腔室300＇，分配腔室200＇和镀膜腔室300＇均为真空环境，面板进入过渡腔室100＇之后，需要先对过渡腔室100＇抽真空，然后再将面板送入分配腔室200＇内，由分配腔室200＇内的机械手将面板送入相应的镀膜腔室300＇；当面板镀膜完成后，面板经分配腔室200＇回到过渡腔室100＇，此时，需要向过渡腔室100＇通入气体，使过渡腔室100＇内恢复大气压，然后才能将面板移送到外部。过渡腔室100＇的腔体内设置有基座1＇，基座1＇上设置有用于支撑面板的支撑架2＇，支撑架2＇和基座1＇之间通过垫片3＇间隔。
[0004]现有技术存在以下问题：过渡腔室100＇持续在真空状态和大气压状态下切换，过渡腔室100＇内气压变化大，零部件受气压的影响会出现膨胀或收缩，导致零部件之间出现摩擦(特别是垫片3＇的两侧)，产生杂质，而基座1＇与支撑架2＇之间的间隙较小，在清洁时，清洁工具(如拖把)难以伸入到该区域中进行有效清洁，导致该区域内会堆积有大量的杂质，杂质附着在面板会影响面板的镀膜质量。

技术实现思路

[0005]本技术的一个目的在于：提供一种过渡腔室，其方便清洁。
[0006]本技术的另一个目的在于：提供一种镀膜设备，其对面板的镀膜质量好。
[0007]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0008]第一方面，提供一种过渡腔室，包括主体，所述主体内设置有腔体，所述腔体内部设置有基座，所述基座上间隔设置有支撑架，所述支撑架用于支撑面板，所述支撑架通过连接件与所述基座连接，所述连接件设置在所述支撑架长度方向的两端，所述支撑架的下表面凹陷设置有凹槽，所述支撑架具有两个相对的周侧面，两个所述周侧面与所述支撑架的长度方向平行，所述凹槽至少与其中一个所述周侧面连通，所述支撑架的下方还设置有加强结构，所述加强结构支撑所述凹槽的槽底。
[0009]作为过渡腔室的一种优选方案，所述加强结构为加强筋，所述加强筋的一端与所述凹槽的槽底连接，另一端与所述凹槽的槽壁连接。
[0010]作为过渡腔室的一种优选方案，所述加强结构为支撑柱，所述支撑柱的上端通过滑动组件与所述支撑架滑动连接，所述支撑柱的下端与所述基座抵紧。
[0011]作为过渡腔室的一种优选方案，所述滑动组件包括安装座、丝杆和滑轨，所述安装座固定在所述凹槽的槽底，所述丝杆与所述安装座可转动连接，所述支撑柱与所述丝杆螺
纹连接，所述滑轨固定在所述安装座上，所述支撑柱滑动设置在所述滑轨上。
[0012]作为过渡腔室的一种优选方案，所述滑动组件包括电机，所述电机的输出轴与所述丝杆连接，所述安装座上设置有位置传感器，所述位置传感器与所述电机电连接，所述位置传感器用于检测所述支撑柱的位置。
[0013]作为过渡腔室的一种优选方案，所述支撑柱的下端设置有滚轮。
[0014]作为过渡腔室的一种优选方案，所述滑动组件包括第一安装板和第二安装板，所述第一安装板呈环形，所述第一安装板固定在所述凹槽的槽底，所述第二安装板设置在所述支撑架的下方并位于所述第一安装板的环形区域内，所述第二安装板和所述第一安装板的内侧壁之间设置有第一转动轮，所述第二安装板和所述支撑架之间设置有第二转动轮，所述支撑柱固定在所述第二安装板上，所述支撑柱至少设置有两个，所有的所述支撑柱绕所述第一安装板的中心环形均布。
[0015]作为过渡腔室的一种优选方案，所述第一安装板的下端朝向所述第一安装板的中心延伸形成限位凸起，所述限位凸起位于所述第二安装板的下方。
[0016]第二方面，提供一种镀膜设备，包括分配腔室、多个镀膜腔室和上述的过渡腔室，所述过渡腔室通过所述分配腔室与所有的所述镀膜腔室连通。
[0017]作为镀膜设备的一种优选方案，所述分配腔室内设置有检查器，所述分配腔室设置有进出口，面板通过所述进出口进入或离开所述分配腔室，所述检查器邻近于所述进出口，所述检查器用于检测所述面板的质量。
[0018]本技术的有益效果为：通过在支撑架的下表面设置凹槽，可以增大支撑架与基座之间的间隙，方便清洁工具可以伸入支撑架和基座之间的区域中进行擦拭清洁；通过设置加强结构，可以为支撑架提供强度支撑，避免支撑架强度过小而产生弯曲变形。
附图说明
[0019]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0020]图1为现有技术所述镀膜设备示意图。
[0021]图2为现有技术所述过渡腔室示意图。
[0022]图3为本技术实施例一所述过渡腔室示意图。
[0023]图4为本技术实施例二所述过渡腔室示意图。
[0024]图5为本技术实施例二所述滑动组件和支撑柱示意图。
[0025]图6为本技术实施例三所述过渡腔室示意图。
[0026]图7为本技术实施例三所述滑动组件和支撑柱示意图。
[0027]图8为本技术实施例所述第二安装板和支撑柱示意图。
[0028]图9为本技术实施例所述镀膜设备示意图。
[0029]图1和图2中：
[0030]100＇、过渡腔室；200＇、分配腔室；300＇、镀膜腔室；
[0031]1＇、基座；2＇、支撑架；3＇、垫片；
[0032]图3至图9中：
[0033]100、过渡腔室；200、分配腔室；300、镀膜腔室；400、腔体；500、主体；600、门；
[0034]1、基座；2、支撑架；201、凹槽；202、加强筋；3、连接件；4、支撑柱；5、滑动组件；501、
安装座；502、丝杆；503、第一转动轮；504、第一安装板；5041、限位凸起；505、第二安装板；506、轴承；507、电机；508、第二转动轮；509、第三转动轮；510、滑轨；6、滚轮；7、位置传感器；8、检查器。
具体实施方式
[0035]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0036]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0037]如图3至图5所示，本技术提供的一种过渡腔室100，包括主体500，主体500内设置有腔体400，主体500的两侧设置有门600，当门600开启时，面板可以进入到腔体400的内部，腔体400内部设置有基座1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种过渡腔室，包括主体，所述主体内设置有腔体，所述腔体内部设置有基座，所述基座上间隔设置有支撑架，所述支撑架用于支撑面板，所述支撑架通过连接件与所述基座连接，所述连接件设置在所述支撑架长度方向的两端，其特征在于，所述支撑架的下表面凹陷设置有凹槽，所述支撑架具有两个相对的周侧面，两个所述周侧面与所述支撑架的长度方向平行，所述凹槽至少与其中一个所述周侧面连通，所述支撑架的下方还设置有加强结构，所述加强结构支撑所述凹槽的槽底。2.根据权利要求1所述的过渡腔室，其特征在于，所述加强结构为加强筋，所述加强筋的一端与所述凹槽的槽底连接，另一端与所述凹槽的槽壁连接。3.根据权利要求1所述的过渡腔室，其特征在于，所述加强结构为支撑柱，所述支撑柱的上端通过滑动组件与所述支撑架滑动连接，所述支撑柱的下端与所述基座抵紧。4.根据权利要求3所述的过渡腔室，其特征在于，所述滑动组件包括安装座、丝杆和滑轨，所述安装座固定在所述凹槽的槽底，所述丝杆与所述安装座可转动连接，所述支撑柱与所述丝杆螺纹连接，所述滑轨固定在所述安装座上，所述支撑柱滑动设置在所述滑轨上。5.根据权利要求4所述的过渡腔室，其特征在于，所述滑动组件包括电机，所述电机的输出轴与所述丝杆连接，所述安装座上设置有位置传感器，所述位置传感器与所述电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙梅丽，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：