扫描设备及其制造方法技术

一种扫描设备，包括形成在基片上，使得以一个轴为中心可旋转，以便调整反射光的方向的反射器单元；形成在反射器单元的一个表面上，用于防止反射器单元的动扰度，并且支撑反射器单元的支撑框架；和提供在基片上，并且驱动反射器单元的驱动单元。因此，当反射器单元以旋转轴为中心旋转的时候，不会出现动扰度现象。因此，可以稳定运行，并且反射器单元的旋转角可以被准确地调整，使得该扫描设备可以有效地在高速精密扫描系统中使用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种扫描设备，其包括：　　　　反射器单元，其形成在基片上，使得以一个轴为中心以预定的角度可旋转，以调整反射光的方向；　　　　支撑框架，其形成在反射器单元的一个表面上，用于防止反射器单元的动扰度，并且支撑反射器单元；和　　　　驱动单元，其被提供在基片上，并且驱动反射器单元。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李泳柱，池昌炫，金声赫，
申请(专利权)人：LG电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]