下载扫描设备及其制造方法的技术资料

文档序号:3602171

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一种扫描设备,包括形成在基片上,使得以一个轴为中心可旋转,以便调整反射光的方向的反射器单元;形成在反射器单元的一个表面上,用于防止反射器单元的动扰度,并且支撑反射器单元的支撑框架;和提供在基片上,并且驱动反射器单元的驱动单元。因此,当反射器...
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