一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置制造方法及图纸

技术编号:35996579 阅读:23 留言:0更新日期:2022-12-17 23:13
本实用新型专利技术公开了一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置,涉及吸盘制作技术领域;而本实用新型专利技术包括工作台,所述工作台上表面中间端固定设有圆形的底座,所述底座上以底座中心点环形分布开设有滑槽,所述滑槽内滑动设有长杆,所述长杆位于滑槽外壁一端固定设有夹持板;本实用新型专利技术中电机通过第二转轴带动第二齿轮进行转动,第二齿轮可驱动啮合设置的第一齿轮进行转动,第一齿轮转动时可推动活动插设而在弧形槽内的移动杆进行移动,从而可带动长杆回收到滑槽内,使得环形分布的夹持板同时移动对放置在摆放板的吸盘本体进行有效的定位夹持,可避免吸盘本体受到晃动,影响后续打孔效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置


[0001]本技术涉及吸盘制作
,具体为一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置。

技术介绍

[0002]真空吸盘,又称真空吊具,是真空设备执行器之一。一般来说,利用真空吸盘抓取制品是最廉价的一种方法,在硅片的加工过程中,需要对硅片进行倒角,在对硅片进行倒角的步骤中,经常会配合吸盘进行使用。
[0003]现有技术中吸盘生产用时存在以下问题:
[0004]现有真空吸盘在进行生产时需要对其表面进行打孔操作,在对真空吸盘真孔吸盘进行打孔时为避免晃动需要对其进行夹持,但在面对一些体积较大的真空吸盘时,夹持稳定效果变差,影响打孔的效果。
[0005]针对上述问题,专利技术人提出一种硅片倒角吸盘以及吸盘加工用夹持装置用于解决上述问题。

技术实现思路

[0006]为了解决在对真空吸盘进行打孔时,可其进行稳定夹持的问题;本技术的目的在于提供一种硅片倒角吸盘。
[0007]为解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:一种硅片倒角吸盘,包括吸盘本体,所述吸盘本体还包括吸附面,所述吸盘本体位于吸附面开设有若干环形分布吸气槽,所述吸气槽内开设有以吸盘本体中心点环形分布的吸气孔,通过环形分布的吸气槽和吸气孔可使得吸附面在对硅片进行吸附时,硅片受力均匀,对硅片进行保护。
[0008]优选地,一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置,包括工作台,所述工作台上表面中间端固定设有圆形的底座,所述底座上以底座中心点环形分布开设有滑槽,所述滑槽内滑动设有长杆,所述长杆位于滑槽外壁一端固定设有夹持板,所述底座上表面中点处转动设有第一转轴,所述第一转轴上端固定设有的第一齿轮,所述第一齿轮上开设有与滑槽分布相同的弧形槽,所述长杆远离夹持板一端的上表面固定设有移动杆,所述移动杆上端活动插设在弧形槽内,第一齿轮转动时可推动活动插设而在弧形槽内的移动杆进行移动,从而可带动长杆回收到滑槽内,使得环形分布的夹持板同时移动对放置在摆放板的吸盘本体进行有效的定位夹持,可避免吸盘本体受到晃动,影响后续打孔效果,所述底座上表面靠近第一齿轮一设有驱动装置,驱动装置包括第二转轴,所述第二转轴转动在底座上,所述第二转轴上端固定设有第二齿轮,所述第二齿轮与第一转轴相互啮合,所述第一转轴下端贯穿底座和工作台,所述底座位于工作台下表面一端设有电机,电机可提供足够的动力使得夹持板可对吸盘本体进行稳定的夹持,所述工作板下表面靠近电机固定设有支撑架,所述电机固定摆放在支撑架上,对电机进行支撑,使得电机可稳定进行工作。
[0009]优选地,所述底座上表面固定设有三个等间距分布的固定块,三个所述固定块上
端共同固定设有摆放板,所述摆放板侧壁相对的两端开设有凹槽,所述凹槽固定设有弹簧,所述弹簧端部固定设有拉块,所述拉块位于放置板外壁一端固定设有竖直设置的限位板,弹簧拉动拉块使得两个限位板可对吸盘本体进行限位,使其可设置在摆放板上,避免在启动电机时,吸盘本体受到电机震动导致掉落。
[0010]优选地,所述固定块高度高于第一转轴的上端所处的水平位置,使得摆放板和第一齿轮间正常进行工作;所述夹持板同限位板面向第一齿轮一侧为弧形,可贴合吸盘本体边缘,对吸盘本体进行稳定夹持。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果在于:
[0012]本技术中电机通过第二转轴带动第二齿轮进行转动,第二齿轮可驱动啮合设置的第一齿轮进行转动,第一齿轮转动时可推动活动插设而在弧形槽内的移动杆进行移动,从而可带动长杆回收到滑槽内,使得环形分布的夹持板同时移动对放置在摆放板的吸盘本体进行有效的定位夹持,可避免吸盘本体受到晃动,影响后续打孔效果。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本技术吸盘本体结构示意图。
[0015]图2为本技术工作台俯视结构示意图。
[0016]图3为本技术工作台侧视结构示意图。
[0017]图4为本技术底座结构示意图。
[0018]图5为本技术摆放板剖面结构示意图。
[0019]图中:1、工作台;11、底座;111、滑槽;12、长杆;13、夹持板;14、第一转轴;15、第一齿轮;16、弧形槽;17、移动杆;18、第二转轴;19、第二齿轮;20、电机;21、支撑架;22、固定块;23、摆放板;24、限位板;25、凹槽;26、弹簧;27、拉块;3、吸盘本体;31、吸附面;32、吸气槽;33、吸气孔。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例:如图1

5所示,本技术提供了一种硅片倒角吸盘,包括吸盘本体3,吸盘本体3还包括吸附面31,吸盘本体3位于吸附面31开设有若干环形分布吸气槽32,吸气槽32内开设有以吸盘本体3中心点环形分布的吸气孔33,通过环形分布的吸气槽32和吸气孔33可使得吸附面31在对硅片进行吸附时,硅片受力均匀,对硅片进行保护。
[0022]一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置,包括工作台1,工作台1上表面中间端固定设有圆形的底座11,底座11上以底座11中心点环形分布开设有滑槽111,滑槽111内滑动设有
长杆12,长杆12位于滑槽111外壁一端固定设有夹持板13,底座11上表面中点处转动设有第一转轴14,第一转轴14上端固定设有的第一齿轮15,第一齿轮15上开设有与滑槽111分布相同的弧形槽16,长杆12远离夹持板13一端的上表面固定设有移动杆17,移动杆17上端活动插设在弧形槽16内,底座11上表面靠近第一齿轮15一设有驱动装置。
[0023]通过采用上述技术方案,第一齿轮15转动时可推动活动插设而在弧形槽16内的移动杆17进行移动,从而可带动长杆12回收到滑槽111内,使得环形分布的夹持板13同时移动对放置在摆放板23的吸盘本体3进行有效的定位夹持,可避免吸盘本体3受到晃动,影响后续打孔效果。
[0024]驱动装置包括第二转轴18,第二转轴18转动在底座11上,第二转轴18上端固定设有第二齿轮19,第二齿轮19与第一转轴14相互啮合,第一转轴14下端贯穿底座11和工作台1,底座11位于工作台1下表面一端设有电机20。
[0025]通过采用上述技术方案,电机20可提供足够的动力使得夹持板13可对吸盘本体3进行稳定的夹持。
[0026]工作板下表面靠近电机20固定设本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片倒角吸盘,包括吸盘本体(3),其特征在于:所述吸盘本体(3)还包括吸附面(31),所述吸盘本体(3)位于吸附面(31)开设有若干环形分布吸气槽(32),所述吸气槽(32)内开设有以吸盘本体(3)中心点环形分布的吸气孔(33)。2.如权利要求1所述的一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)上表面中间端固定设有圆形的底座(11),所述底座(11)上以底座(11)中心点环形分布开设有滑槽(111),所述滑槽(111)内滑动设有长杆(12),所述长杆(12)位于滑槽(111)外壁一端固定设有夹持板(13),所述底座(11)上表面中点处转动设有第一转轴(14),所述第一转轴(14)上端固定设有的第一齿轮(15),所述第一齿轮(15)上开设有与滑槽(111)分布相同的弧形槽(16),所述长杆(12)远离夹持板(13)一端的上表面固定设有移动杆(17),所述移动杆(17)上端活动插设在弧形槽(16)内,所述底座(11)上表面靠近第一齿轮(15)一设有驱动装置。3.如权利要求2所述的一种硅片倒角吸盘加工用夹持装置,其特征在于,所述驱动装置包括第二转轴(18),所述第二转轴(18)转动在底座(11...

【专利技术属性】
技术研发人员:李炜王看看
申请(专利权)人:徐州威聚电子材料有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1