被测器件的测试电路和测试机制造技术

本实用新型专利技术提供了被测器件的测试电路和测试机，包括输出设定电路、调理电路、功放电路、采样电阻电路和采样电路；功放电路包括第一功放电路和第二功放电路，采样电阻电路包括大电流采样电阻和小电流采样电阻；输出设定电路接收上位机发送的设定电流对应的设定电压；采样电路确定设定电流的类型，使第一功放电路和大电流采样电阻形成第一回路，第二功放电路和小电流采样电阻形成第二回路，通过控制第一回路对应的开关和第二回路对应的开关采集大电流采样电阻或小电流采样电阻的当前电压；调理电路输出稳定的电压给被测器件；或对设定电压和当前电压进行计算得到计算后的电压；功放电路将计算后的电压进行放大后输出给被测器件。件。件。

【技术实现步骤摘要】
被测器件的测试电路和测试机


[0001]本技术涉及半导体自动化测试
，尤其是涉及被测器件的测试电路和测试机。

技术介绍

[0002]半导体自动化测试是利用自动测试设备(Automatic Test Equipment，ATE)对被测器件(Device Under Test，DUT)的各项参数指标进行检测，剔除残次品以控制半导体器件的出厂品质。高压微电流源是为了测试分立器件的微电流指标时候，需要提供的nA级别的恒流源，电压最大可以达到50V以上。
[0003]目前的测试电路包括两个独立的环路。这两个独立的环路会导致电路结构比较复杂，会增加板子尺寸和元器件数量，导致板子面积偏大和成本提升。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的在于提供被测器件的测试电路和测试机，通过开关切换，实现大小电流功放的切换，从而满足用户对高压微电流源的需求；将功放电路、采样电路和输出电路合并后，减小板子面积和器件的数量，降低生产成本。
[0005]第一方面，本技术实施例提供了被测器件的测试电路，所述电路包括：输出设定电路、调理电路、功放电路、采样电阻电路和采样电路；其中，所述功放电路包括第一功放电路和第二功放电路，所述采样电阻电路包括大电流采样电阻和小电流采样电阻；
[0006]所述输出设定电路、所述调理电路和所述功放电路依次连接，所述功放电路和所述采样电阻电路分别与被测器件相连接，所述采样电阻电路和所述调理电路分别与所述采样电路相连接；
[0007]所述输出设定电路，用于接收上位机发送的设定电流对应的设定电压，并将所述设定电流对应的设定电压发送给所述调理电路；
[0008]所述采样电路，用于确定所述设定电流的类型，使所述第一功放电路和所述大电流采样电阻形成第一回路，所述第二功放电路和所述小电流采样电阻形成第二回路，通过控制所述第一回路对应的开关和所述第二回路对应的开关采集所述大电流采样电阻或所述小电流采样电阻的当前电压，并将所述当前电压发送给所述调理电路；
[0009]所述调理电路，用于将所述设定电压和所述当前电压作差，直至电压差为0时，输出稳定的电压给所述被测器件；或者，对所述设定电压和所述当前电压进行计算，得到计算后的电压，并将所述计算后的电压发送给所述功放电路；
[0010]所述功放电路，用于将所述计算后的电压进行放大，得到放大后的电压，并输出给所述被测器件。
[0011]进一步的，所述第一功放电路包括大电流功放电路和第一开关，所述第二功放电路包括小电流功放电路和第四开关。
[0012]进一步的，所述第一功放电路和所述第二功放电路并联连接后的输出线与所述被
测器件的一端相连接；
[0013]其中，所述大电流功放电路和所述第一开关串联连接，所述小电流功放电路和所述第四开关串联连接。
[0014]进一步的，所述采样电阻电路还包括第二开关、第三开关、第五开关和第六开关。
[0015]进一步的，所述第二开关的一端分别与所述被测器件的另一端和所述第五开关的一端相连接，所述第二开关的另一端分别与所述第三开关的一端和所述大电流采样电阻的一端相连接，所述大电流采样电阻的另一端接地，所述第三开关的另一端与所述采样电路的第一输入端相连接；
[0016]所述第五开关的另一端分别与所述第六开关的一端和所述小电流采样电阻的一端相连接，所述第六开关的另一端与所述采样电路的第一输入端相连接，所述小电流采样电阻的另一端与所述采样电路的第二输入端相连接；所述采样电路的输出端与所述调理电路相连接。
[0017]进一步的，所述采样电路，用于在确定所述设定电流为第一电流，使第一开关、所述第二开关和所述第三开关闭合，第四开关、所述第五开关和所述第六开关断开的情况下，采集所述大电流采样电阻的当前电压，并将所述大电流采样电阻的当前电压发送给所述调理电路。
[0018]进一步的，所述采样电路，用于在确定所述设定电流为第二电流，使第一开关、所述第二开关和所述第三开关断开，第四开关、所述第五开关和所述第六开关闭合的情况下，采集所述小电流采样电阻的当前电压，并将所述小电流采样电阻的当前电压发送给所述调理电路。
[0019]进一步的，第一电流大于所述第二电流。
[0020]进一步的，所述调理电路包括减法器和积分器；
[0021]所述减法器，用于计算所述设定电压和所述当前电压的差值，得到电压差；
[0022]所述积分器，用于对所述电压差进行积分，得到所述计算后的电压。
[0023]第二方面，本技术实施例提供了测试机，包括如上所述的被测器件的测试电路。
[0024]本技术实施例提供了被测器件的测试电路和测试机，包括：输出设定电路、调理电路、功放电路、采样电阻电路和采样电路；其中，功放电路包括第一功放电路和第二功放电路，采样电阻电路包括大电流采样电阻和小电流采样电阻；输出设定电路、调理电路和功放电路依次连接，功放电路和采样电阻电路分别与被测器件相连接，采样电阻电路和调理电路分别与采样电路相连接；输出设定电路用于接收上位机发送的设定电流对应的设定电压，并将设定电流对应的设定电压发送给调理电路；采样电路用于确定设定电流的类型，使第一功放电路和大电流采样电阻形成第一回路，第二功放电路和小电流采样电阻形成第二回路，通过控制第一回路对应的开关和第二回路对应的开关采集大电流采样电阻或小电流采样电阻的当前电压，并将当前电压发送给调理电路；调理电路用于将设定电压和当前电压作差，直至电压差为0时，输出稳定的电压给被测器件；或者，对设定电压和当前电压进行计算，得到计算后的电压，并将计算后的电压发送给功放电路；功放电路用于将计算后的电压进行放大，得到放大后的电压，并输出给被测器件；通过开关切换，实现大小电流功放的切换，从而满足用户对高压微电流源的需求；将功放电路、采样电路和输出电路合并后，
减小板子面积和器件的数量，降低生产成本。
[0025]本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
[0026]为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1为本技术实施例一提供的被测器件的测试电路结构示意图；
[0029]图2为本技术实施例一提供的另一被测器件的测试电路结构示意图；
[0030]图3为本技术实施例二提供的整机测试原理示意图。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种被测器件的测试电路，其特征在于，所述电路包括：输出设定电路、调理电路、功放电路、采样电阻电路和采样电路；其中，所述功放电路包括第一功放电路和第二功放电路，所述采样电阻电路包括大电流采样电阻和小电流采样电阻；所述输出设定电路、所述调理电路和所述功放电路依次连接，所述功放电路和所述采样电阻电路分别与被测器件相连接，所述采样电阻电路和所述调理电路分别与所述采样电路相连接；所述输出设定电路，用于接收上位机发送的设定电流对应的设定电压，并将所述设定电流对应的设定电压发送给所述调理电路；所述采样电路，用于确定所述设定电流的类型，使所述第一功放电路和所述大电流采样电阻形成第一回路，所述第二功放电路和所述小电流采样电阻形成第二回路，通过控制所述第一回路对应的开关和所述第二回路对应的开关采集所述大电流采样电阻或所述小电流采样电阻的当前电压，并将所述当前电压发送给所述调理电路；所述调理电路，用于将所述设定电压和所述当前电压作差，直至电压差为0时，输出稳定的电压给所述被测器件；或者，对所述设定电压和所述当前电压进行计算，得到计算后的电压，并将所述计算后的电压发送给所述功放电路；所述功放电路，用于将所述计算后的电压进行放大，得到放大后的电压，并输出给所述被测器件。2.根据权利要求1所述的被测器件的测试电路，其特征在于，所述第一功放电路包括大电流功放电路和第一开关，所述第二功放电路包括小电流功放电路和第四开关。3.根据权利要求2所述的被测器件的测试电路，其特征在于，所述第一功放电路和所述第二功放电路并联连接后的输出线与所述被测器件的一端相连接；其中，所述大电流功放电路和所述第一开关串联连接，所述小电流功放电路和所述第四开关串联连接。4.根据权利要求1所述的被测器件的测试电路，其特征在于，所述采样电阻电路还包括第二开关、第...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘杰，杨强，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：