本发明专利技术的实施例提供一种可以在节减干燥空气的使用量的同时也提升检查精确度的晶圆检查装置、晶圆检查方法以及探针台。根据本发明专利技术的实施例的晶圆检查装置包括：腔室，提供用于针对晶圆进行电气检查的空间；支承部，位于所述腔室内部并支承所述晶圆；温度调节部，调节所述晶圆的检查温度；干燥空气供应部，向所述腔室供应干燥空气；以及流量控制部，基于所述检查温度来控制所述干燥空气供应部，以调节所述干燥空气的流量。根据基于本发明专利技术的实施例的晶圆检查装置以及晶圆检查方法，基于晶圆的检查温度来可变地调节干燥空气的供应流量，由此可以防止干燥空气浪费的同时，提升针对晶圆的检查精确度。的检查精确度。的检查精确度。
【技术实现步骤摘要】
晶圆检查装置、晶圆检查方法以及探针台
[0001]本专利技术涉及一种晶圆检查装置以及晶圆检查方法，更具体地，涉及一种用于防止腔室内结露的可变地调节干燥空气的流量的晶圆检查装置以及晶圆检查方法。
技术介绍
[0002]半导体制造工艺作为用于在基板(例：晶圆)上制造半导体元件的工艺，包括例如曝光、蒸镀、蚀刻、离子注入、清洗等。另一方面，执行用于针对形成在晶圆上的各元件执行电气检查的EDS(Electrical Die Sorting，芯片电特性拣选)工艺。
[0003]在EDS工艺中，具备多个引脚的探针卡(Probe Card)接触于晶圆，将电信号施加于晶圆，并基于针对此的响应而执行针对晶圆的各半导体元件的检查。这样的电气检查在各种温度环境下检查，可以在低温环境(例：
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20℃)和高温环境(例：60℃)下分别执行检查。
[0004]另一方面，在低温环境下检查时，若在晶圆周边存在水分，则产生结露，因此在低温环境下检查时营造水分几乎不存在的干燥环境尤为重要，在针对晶圆检查时，将充分量的干燥空气供应至检查用腔室。但是，在高温环境的情况下，尽管不产生结露，也与低温环境一样地供应大量的干燥空气的情况下，存在干燥空气的使用量过度升高的问题。
技术实现思路
[0005]因此，本专利技术的实施例提供一种可以在减低干燥空气的使用量的同时也提升检查精确度的晶圆检查装置以及晶圆检查方法。
[0006]本专利技术的解决课题不限于以上提及的，本领域技术人员可以从下面的记载明确地理解未提及的其它解决课题。
[0007]根据本专利技术的实施例的晶圆检查装置包括：腔室，提供用于针对晶圆进行电气检查的空间；支承部，位于所述腔室内部并支承所述晶圆；温度调节部，调节所述晶圆的检查温度；干燥空气供应部，向所述腔室供应干燥空气；以及流量控制部，基于所述检查温度以调节所述干燥空气的流量的方式控制所述干燥空气供应部。
[0008]根据本专利技术的实施例，可以是，所述干燥空气供应部包括：流入口，流入所述干燥空气；第一供应线，与所述流入口连接，并构成为所述干燥空气以第一流量流动；第二供应线，与所述流入口连接，并构成为所述干燥空气以低于所述第一流量的第二流量流动；切换阀，将通过所述流入口流入的干燥空气引导至所述第一供应线以及所述第二供应线中的一个；排出口，分别连接于所述第一供应线和所述第二供应线并向所述腔室排出所述干燥空气；以及流量计，设置于所述排出口并测定向所述腔室排出的所述干燥空气的流量。
[0009]根据本专利技术的实施例，可以是，所述第一供应线包括：第一管路，所述干燥空气能够流动；第一速度控制器，控制为使所述干燥空气在所述第一管路中以所述第一流量流动；以及第一止回阀，引导为使所述干燥空气向所述排出口的方向流动，并阻挡所述干燥空气向所述排出口的相反方向流动。
[0010]根据本专利技术的实施例，可以是，所述第二供应线包括：第二管路，所述干燥空气能
够流动；第二速度控制器，控制为使所述干燥空气在所述第二管路中以所述第二流量流动；以及第二止回阀，引导为使所述干燥空气向所述排出口的方向流动，并阻挡所述干燥空气向所述排出口的相反方向流动。
[0011]根据本专利技术的实施例，可以是，在所述检查温度相应于第一温度的情况下，所述流量控制部控制所述切换阀以使所述干燥空气向所述第一供应线流动，在所述检查温度相应于高于所述第一温度的第二温度的情况下，所述流量控制部控制所述切换阀以使所述干燥空气向所述第二供应线流动。
[0012]根据本专利技术的实施例，可以是，所述干燥空气供应部包括：流入口，流入所述干燥空气；管路，与所述流入口连接并所述干燥空气能够流动；电动空压调节器，设置于所述管路并可变地调节所述干燥空气流动的流量；排出口，连接于所述管路并向所述腔室排出所述干燥空气；以及流量计，设置于所述排出口并测定向所述腔室排出的所述干燥空气的流量。
[0013]根据本专利技术的实施例，可以是，在所述检查温度相应于第一温度的情况下，所述流量控制部以使所述干燥空气以第一流量流动的方式控制所述电动空压调节器，以使得以对应于所述第一流量的第一压力排出所述干燥空气，在所述检查温度相应于高于所述第一温度的第二温度的情况下，所述流量控制部以使所述干燥空气以第二流量流动的方式控制所述电动空压调节器，以使得以对应于所述第二流量的第二压力排出所述干燥空气。
[0014]根据本专利技术的实施例，可以是，所述晶圆检查装置还包括：湿度计，测定所述腔室内部的湿度，所述流量控制部基于通过所述湿度计测定的湿度数据来调节所述干燥空气的供应流量。
[0015]根据本专利技术的实施例的晶圆检查方法包括：使晶圆位于腔室的步骤；设定所述晶圆的检查温度的步骤；基于所述设定的检查温度来向所述腔室供应设定的流量的干燥空气的步骤；以及在所述设定的检查温度下执行针对所述晶圆的电气检查的步骤。
[0016]根据本专利技术的实施例，可以是，向所述腔室供应所述干燥空气的步骤包括：在所述检查温度相应于第一温度的情况下，以第一流量向所述腔室供应所述干燥空气的步骤；以及在所述检查温度相应于高于所述第一温度的第二温度的情况下，以小于所述第一流量的第二流量向所述腔室供应所述干燥空气的步骤。
[0017]根据本专利技术的实施例的探针台包括：装载部，搬入晶圆并搬出检查完的晶圆；检查部，使所述晶圆接触于探针卡以用于针对所述晶圆进行检查；以及接口部，提供所述探针卡与测试头电连接的空间。所述检查部包括：腔室，提供用于针对所述晶圆进行电气检查的空间；温度调节部，调节所述晶圆的检查温度；干燥空气供应部，向所述腔室供应干燥空气；以及流量控制部，基于所述检查温度来调节所述干燥空气的供应流量。在所述检查温度为第一温度的情况下，所述流量控制部以第一流量供应所述干燥空气，在所述检查温度为高于所述第一温度的第二温度的情况下，所述流量控制部以低于所述第一流量的第二流量供应所述干燥空气。
[0018]根据本专利技术的实施例，可以是，所述干燥空气供应部包括：流入口，流入所述干燥空气；第一供应线，与所述流入口连接，并构成为所述干燥空气以所述第一流量流动；第二供应线，与所述流入口连接，并构成为所述干燥空气以所述第二流量流动；切换阀，将通过所述流入口流入的干燥空气引导至所述第一供应线以及所述第二供应线中的一个；排出
口，分别连接于所述第一供应线和所述第二供应线并向所述腔室排出所述干燥空气；以及流量计，设置于所述排出口并测定向所述腔室排出的所述干燥空气的流量。
[0019]根据本专利技术的实施例，可以是，所述第一供应线包括：第一管路，所述干燥空气能够流动；第一速度控制器，控制为使所述干燥空气在所述第一管路中以所述第一流量流动；以及第一止回阀，引导为使所述干燥空气向所述排出口的方向流动，并阻挡所述干燥空气向所述排出口的相反方向流动。
[0020]根据本专利技术的实施例，可以是，所述第二供应线包括：第二管路，所述干燥空气能够流动；第二速度控制器，控制为使所述干燥空气在所述第二管路中以所述第二流量流动；以及第二止回阀，引本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆检查装置，包括：腔室，提供用于针对晶圆进行电气检查的空间；支承部，位于所述腔室内部并支承所述晶圆；温度调节部，调节所述晶圆的检查温度；干燥空气供应部，向所述腔室供应干燥空气；以及流量控制部，基于所述检查温度以调节所述干燥空气的流量的方式控制所述干燥空气供应部。2.根据权利要求1所述的晶圆检查装置，其中，所述干燥空气供应部包括：流入口，流入所述干燥空气；第一供应线，与所述流入口连接，并构成为所述干燥空气以第一流量流动；第二供应线，与所述流入口连接，并构成为所述干燥空气以低于所述第一流量的第二流量流动；切换阀，将通过所述流入口流入的干燥空气引导至所述第一供应线以及所述第二供应线中的一个；排出口，分别连接于所述第一供应线和所述第二供应线并向所述腔室排出所述干燥空气；以及流量计，设置于所述排出口并测定向所述腔室排出的所述干燥空气的流量。3.根据权利要求2所述的晶圆检查装置，其中，所述第一供应线包括：第一管路，所述干燥空气能够流动；第一速度控制器，控制为使所述干燥空气在所述第一管路中以所述第一流量流动；以及第一止回阀，引导为使所述干燥空气向所述排出口的方向流动，并阻挡所述干燥空气向所述排出口的相反方向流动。4.根据权利要求2所述的晶圆检查装置，其中，所述第二供应线包括：第二管路，所述干燥空气能够流动；第二速度控制器，控制为使所述干燥空气在所述第二管路中以所述第二流量流动；以及第二止回阀，引导为使所述干燥空气向所述排出口的方向流动，并阻挡所述干燥空气向所述排出口的相反方向流动。5.根据权利要求2所述的晶圆检查装置，其中，在所述检查温度相应于第一温度的情况下，所述流量控制部控制所述切换阀以使所述干燥空气向所述第一供应线流动，在所述检查温度相应于高于所述第一温度的第二温度的情况下，所述流量控制部控制所述切换阀以使所述干燥空气向所述第二供应线流动。6.根据权利要求1所述的晶圆检查装置，其中，所述干燥空气供应部包括：
流入口，流入所述干燥空气；管路，与所述流入口连接并所述干燥空气能够流动；电动空压调节器，设置于所述管路并可变地调节所述干燥空气流动的流量；排出口，连接于所述管路并向所述腔室排出所述干燥空气；以及流量计，设置于所述排出口并测定向所述腔室排出的所述干燥空气的流量。7.根据权利要求6所述的晶圆检查装置，其中，在所述检查温度相应于第一温度的情况下，所述流量控制部以使所述干燥空气以第一流量流动的方式控制所述电动空压调节器，以使得以对应于所述第一流量的第一压力排出所述干燥空气，在所述检查温度相应于高于所述第一温度的第二温度的情况下，所述流量控制部以使所述干燥空气以第二流量流动的方式控制所述电动空压调节器，以使得以对应于所述第二流量的第二压力排出所述干燥空气。8.根据权利要求1所述的晶圆检查装置，其中，所述晶圆检查装置还包括：湿度计，测定所述腔室内部的湿度，所述流量控制部基于通过所述湿度计测定的湿度数据来调节所述干燥空气的供应流量。9.一种晶圆检查方法，包括：使晶圆位于腔室的步骤；设定所述晶圆的检查温度的步骤；基于所述设定的检查温度来向所述腔室供应设定的流量的干燥空气的步骤；以及在所述设定的检查温度下执行针对所述晶圆的电气检查的步骤。10.根据权利要求9所述的晶圆检查方法，其中，向所述腔室供应所述干燥空气的步骤包括：在所述检查温度相应于第一温度的情况下，以第一流量向所述腔室供应所述干燥空气的步骤；以及在所述检查温度相应于高于所述第一温度的第二温度的情况下，以小于所述第一流量的第二流量向所述腔室供应所述干燥空气的步骤。11...
【专利技术属性】
技术研发人员：李赫柱，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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