本实用新型专利技术公开了一种高纯电子气流量控制装置，包括电子气流量控制组件，所述电子气流量控制组件包括电子气流量控制本体，所述电子气流量控制本体的右端固定连接有电子气体净化组件，所述电子气体净化组件包括流经管道，所述流经管道的内腔前后壁之间转动连接有转轴，本实用新型专利技术涉及电子气流量技术领域。该高纯电子气流量控制装置，电子气体从外部流入流经管道内，先经过灰尘过滤网进行初步过滤，接着透过电子气体穿透孔进入电子气流量控制本体的内部，过程中会接触选择性吸附块，选择性吸附块根据杂质气体的属性进行设置，针对性的进行吸附，保证电子气体的高纯度，提高了产品的使用性能，保证装置的正常使用。保证装置的正常使用。保证装置的正常使用。
【技术实现步骤摘要】
一种高纯电子气流量控制装置
[0001]本技术涉及电子气流量
，具体为一种高纯电子气流量控制装置。
技术介绍
[0002]电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。
[0003]但是现有的电子气流量控制装置对于电子气体的纯度无法进行把控，导致进入装置的气体纯度较低，含有灰尘等其他杂质，降低产品的使用性能，影响正常的使用。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种高纯电子气流量控制装置，解决了现有的电子气流量控制装置对于电子气体的纯度无法进行把控，导致进入装置的气体纯度较低，含有灰尘等其他杂质，降低产品的使用性能，影响正常的使用的问题。
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种高纯电子气流量控制装置，包括电子气流量控制组件，所述电子气流量控制组件包括电子气流量控制本体，所述电子气流量控制本体的右端固定连接有电子气体净化组件，所述电子气体净化组件包括流经管道，所述流经管道的内腔前后壁之间转动连接有转轴，所述转轴的外表面均匀固定连接有若干个电子气体净化叶组件，所述电子气体净化叶组件包括电子气体净化叶板，所述电子气体净化叶板的内部均匀开设有若干个电子气体穿透孔，若干个所述电子气体穿透孔相交处的前后端均通过粘扣带粘贴有选择性吸附块。
[0006]优选的，所述电子气流量控制本体的前端上部固定设置有仪器显示屏，所述流经管道的右端卡接有灰尘过滤网。
[0007]优选的，所述灰尘过滤网的外壁均匀固定设置有若干个弹性片。
[0008]优选的，所述弹性片卡接在流经管道的内壁上。
[0009]优选的，若干个所述电子气体净化叶组件将流经管道的内腔完全覆盖。
[0010]优选的，若干个所述选择性吸附块相互靠近的一端均通过连接杆固定连接。
[0011]有益效果
[0012]本技术提供了一种高纯电子气流量控制装置。与现有技术相比具备以下有益效果：
[0013](1)、该高纯电子气流量控制装置，通过在电子气流量控制本体的右端固定连接有电子气体净化组件，电子气体净化组件包括流经管道，流经管道的内腔前后壁之间转动连接有转轴，转轴的外表面均匀固定连接有若干个电子气体净化叶组件，电子气体净化叶组件包括电子气体净化叶板，电子气体净化叶板的内部均匀开设有若干个电子气体穿透孔，若干个电子气体穿透孔相交处的前后端均通过粘扣带粘贴有选择性吸附块，电子气体从外
部流入流经管道内，先经过灰尘过滤网进行初步过滤，接着透过电子气体穿透孔进入电子气流量控制本体的内部，过程中会接触选择性吸附块，选择性吸附块根据杂质气体的属性进行设置，针对性的进行吸附，保证电子气体的高纯度，提高了产品的使用性能，保证装置的正常使用。
[0014](2)、该高纯电子气流量控制装置，通过在电子气流量控制本体的前端上部固定设置有仪器显示屏，流经管道的右端卡接有灰尘过滤网，灰尘过滤网的外壁均匀固定设置有若干个弹性片，弹性片卡接在流经管道的内壁上，若干个电子气体净化叶组件将流经管道的内腔完全覆盖，若干个选择性吸附块相互靠近的一端均通过连接杆固定连接，通过粘扣带和连接杆的相互配合，便于对选择性吸附块进行更换，提高装置使用的灵活性，便于更换所需属性的选择性吸附块，对杂质气体高效吸附。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构立体图；
[0016]图2为本技术电子气体净化组件的分解图；
[0017]图3为本技术图2中A处的局部放大图；
[0018]图4为本技术选择性吸附块的示意图。
[0019]图中：1、电子气流量控制组件；11、电子气流量控制本体；12、仪器显示屏；2、电子气体净化组件；21、流经管道；22、灰尘过滤网；23、弹性片；24、转轴；25、电子气体净化叶组件；251、电子气体净化叶板；252、电子气体穿透孔；253、选择性吸附块；254、粘扣带；255、连接杆。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种高纯电子气流量控制装置，包括电子气流量控制组件1，电子气流量控制组件1包括电子气流量控制本体11，电子气流量控制本体11的右端固定连接有电子气体净化组件2，电子气体净化组件2包括流经管道21，流经管道21的内腔前后壁之间转动连接有转轴24，转轴24的外表面均匀固定连接有若干个电子气体净化叶组件25，电子气体净化叶组件25包括电子气体净化叶板251，电子气体净化叶板251的内部均匀开设有若干个电子气体穿透孔252，若干个电子气体穿透孔252相交处的前后端均通过粘扣带254粘贴有选择性吸附块253，电子气体从外部流入流经管道21内，先经过灰尘过滤网22进行初步过滤，接着透过电子气体穿透孔252进入电子气流量控制本体11的内部，过程中会接触选择性吸附块253，选择性吸附块253根据杂质气体的属性进行设置，利用其内的化学药剂针对性的进行吸附，保证电子气体的高纯度，提高了产品的使用性能，保证装置的正常使用，电子气流量控制本体11的前端上部固定设置有仪器显示屏12，流经管道21的右端卡接有灰尘过滤网22，灰尘过滤网22的外壁均匀固定设置有若干个弹性片23，弹性片23卡接在流经管道21的内壁上，若干个电子气体净化叶组件25将流经管道21
的内腔完全覆盖，若干个选择性吸附块253相互靠近的一端均通过连接杆255固定连接，通过粘扣带254和连接杆255的相互配合，便于对选择性吸附块253进行更换，提高装置使用的灵活性，便于更换所需属性的选择性吸附块253，对杂质气体高效吸附。
[0022]同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。
[0023]使用时，电子气体从外部流入流经管道21内，过程中，先经过灰尘过滤网22进行初步过滤，对大杂质等进行过滤，接着吹向电子气体净化叶组件25，使电子气体净化叶组件25绕着转轴24转动，透过电子气体穿透孔252进入电子气流量控制本体11的内部，过程中会接触选择性吸附块253，选择性吸附块253根据杂质气体的属性进行设置，针对性的进行吸附，使电子气体的纯度提高。
[0024]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高纯电子气流量控制装置，包括电子气流量控制组件(1)，其特征在于：所述电子气流量控制组件(1)包括电子气流量控制本体(11)，所述电子气流量控制本体(11)的右端固定连接有电子气体净化组件(2)，所述电子气体净化组件(2)包括流经管道(21)，所述流经管道(21)的内腔前后壁之间转动连接有转轴(24)，所述转轴(24)的外表面均匀固定连接有若干个电子气体净化叶组件(25)，所述电子气体净化叶组件(25)包括电子气体净化叶板(251)，所述电子气体净化叶板(251)的内部均匀开设有若干个电子气体穿透孔(252)，若干个所述电子气体穿透孔(252)相交处的前后端均通过粘扣带(254)粘贴有选择性吸附块(253)。2.根据权利要求1所述的一种高纯电子气流量控制...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘国清，胡旭伟，
申请(专利权)人：杭州必耕自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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