一种高纯电子气流量控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高纯电子气流量控制装置，包括电子气流量控制组件，所述电子气流量控制组件包括电子气流量控制本体，所述电子气流量控制本体的右端固定连接有电子气体净化组件，所述电子气体净化组件包括流经管道，所述流经管道的内腔前后壁之间转动连接有转轴，本实用新型专利技术涉及电子气流量技术领域。该高纯电子气流量控制装置，电子气体从外部流入流经管道内，先经过灰尘过滤网进行初步过滤，接着透过电子气体穿透孔进入电子气流量控制本体的内部，过程中会接触选择性吸附块，选择性吸附块根据杂质气体的属性进行设置，针对性的进行吸附，保证电子气体的高纯度，提高了产品的使用性能，保证装置的正常使用。保证装置的正常使用。保证装置的正常使用。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯电子气流量控制装置


[0001]本技术涉及电子气流量
，具体为一种高纯电子气流量控制装置。

技术介绍

[0002]电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”，它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。
[0003]但是现有的电子气流量控制装置对于电子气体的纯度无法进行把控，导致进入装置的气体纯度较低，含有灰尘等其他杂质，降低产品的使用性能，影响正常的使用。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种高纯电子气流量控制装置，解决了现有的电子气流量控制装置对于电子气体的纯度无法进行把控，导致进入装置的气体纯度较低，含有灰尘等其他杂质，降低产品的使用性能，影响正常的使用的问题。
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种高纯电子气流量控制装置，包括电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯电子气流量控制装置，包括电子气流量控制组件(1)，其特征在于：所述电子气流量控制组件(1)包括电子气流量控制本体(11)，所述电子气流量控制本体(11)的右端固定连接有电子气体净化组件(2)，所述电子气体净化组件(2)包括流经管道(21)，所述流经管道(21)的内腔前后壁之间转动连接有转轴(24)，所述转轴(24)的外表面均匀固定连接有若干个电子气体净化叶组件(25)，所述电子气体净化叶组件(25)包括电子气体净化叶板(251)，所述电子气体净化叶板(251)的内部均匀开设有若干个电子气体穿透孔(252)，若干个所述电子气体穿透孔(252)相交处的前后端均通过粘扣带(254)粘贴有选择性吸附块(253)。2.根据权利要求1所述的一种高纯电子气流量控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘国清，胡旭伟，
申请(专利权)人：杭州必耕自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：