一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器，包括传感器本体以及设置在传感器本体顶部的连接器，传感器本体的外部固定连接有固定外壳，固定外壳的内部开设有储液腔，固定外壳的外部设置有注液管，储液腔与注液管连通，注液管的外部设置有开关阀，固定外壳的外部还设置有用于检测储液腔内部压力的压力表。本实用新型专利技术中：通过在固定外壳内部开设储液槽，储液槽的内部填充液体，使得传感器本体具有良好的隔温效果，从而避免该具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器在使用时受到外界温度的影响；且固定外壳由阻燃层、隔温层以及防腐蚀内衬层组成，使得传感器本体具有良好的阻燃、隔温以及耐腐蚀效果。隔温以及耐腐蚀效果。隔温以及耐腐蚀效果。

【技术实现步骤摘要】
一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器


[0001]本技术涉及MEMS气体压力传感器
，尤其涉及一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器。

技术介绍

[0002]目前的MEMS气体压力传感器有硅压阻式气体压力传感器和硅电容式气体压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。硅压阻式气体压力传感器采用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01％～0.03％FS。硅电容式气体压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状，上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器，上横隔栅受压力作用向下位移，改变了上下二根横隔栅的间距，也就改变了板间电容量的大小。
[0003]其中，硅压阻式气体压力传感器在实际工程的应用中，由于硅材料受温度的影响，导致零点漂移和灵敏度漂移，因此温度补偿功能是硅压阻式气体压力传感器必须具备的一个性能。
[0004]但现有的具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器在实际使用时，由于MEMS气体压力传感器不耐高温，使其无法在高温环境工作，导致其使用的局限性较大；且现有的具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器在实际使用时无法固定，需要人工手持检测观察，导致其使用较为不便。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在MEMS气体压力传感器不耐高温，使其无法在高温环境工作，导致其使用的局限性较大的缺点，而提出的一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器，包括传感器本体以及设置在所述传感器本体顶部的连接器，所述传感器本体的外部固定连接有固定外壳，所述固定外壳的内部开设有储液腔，所述固定外壳的外部设置有注液管，所述储液腔与所述注液管连通，所述注液管的外部设置有开关阀，所述固定外壳的外部还设置有用于检测所述储液腔内部压力的压力表。
[0008]上述技术方案进一步包括：
[0009]所述连接器的外部设置有压力显示屏和连接口。
[0010]所述固定外壳包括由外到内依次固定连接的阻燃层、隔温层以及防腐蚀内衬层。
[0011]所述固定外壳远离所述压力表的一侧固定连接有四个连接柱，四个所述连接柱远离所述固定外壳的一侧固定连接有强力吸盘A。
[0012]所述固定外壳远离所述压力表的一侧设置有连接框，所述连接框的底部固定连接
有若干个强力吸盘B，所述固定外壳远离所述压力表的一侧还设置有用固定所述连接框的固定组件。
[0013]所述固定组件包括固定连接在所述固定外壳外部的固定板和固定螺纹套，所述固定螺纹套的内部螺纹连接紧固螺栓，所述紧固螺栓的底部转动连接有滑动板。
[0014]所述滑动板滑动连接在所述固定外壳的外部，且所述滑动板位于所述固定板的正上方。
[0015]相比现有技术，本技术的有益效果为：
[0016]1、本技术中的传感器本体外部固定连接有固定外壳，通过在固定外壳内部开设储液槽，储液槽的内部填充液体，使得传感器本体具有良好的隔温效果，从而避免该具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器在使用时受到外界温度的影响。
[0017]2、本技术中的固定外壳由阻燃层、隔温层以及防腐蚀内衬层组成，使得传感器本体具有良好的阻燃、隔温以及耐腐蚀效果，从而进一步地提高了该具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器的检测的精度。
[0018]3、本技术中，通过四个强力吸盘A可将固定外壳固定在竖直面上，通过若干个强力吸盘B可将固定外壳固定在水平面上，从而无需要人工手持该具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器进行检测观察。
附图说明
[0019]图1为本技术提出的一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器的第一外观图；
[0020]图2为本技术提出的一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器的内剖图；
[0021]图3为本技术中的固定外壳的内剖图；
[0022]图4为本技术提出的一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器的第二外观图；
[0023]图5为图4中A处结构放大示意图。
[0024]图中：1、传感器本体；2、连接器；3、固定外壳；31、阻燃层；32、隔温层；33、防腐蚀内衬层；4、储液腔；5、注液管；6、开关阀；7、压力表；8、压力显示屏；9、连接口；10、连接柱；11、强力吸盘A；12、连接框；13、强力吸盘B；14、固定组件；141、固定板；142、固定螺纹套；143、紧固螺栓；144、滑动板。
具体实施方式
[0025]下文结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0026]实施例一
[0027]如图1
‑
4所示，本技术提出的一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器，包括传感器本体1以及设置在传感器本体1顶部的连接器2，连接器2的外部设置有压力显示屏8和连接口9，压力显示屏8用于显示传感器本体1的内部压力；
[0028]传感器本体1的外部固定连接有固定外壳3，固定外壳3包括由外到内依次固定连接的阻燃层31、隔温层32以及防腐蚀内衬层33，固定外壳3使得传感器本体1具有良好的阻
燃、隔温以及耐腐蚀效果；
[0029]固定外壳3的内部开设有储液腔4，储液腔4的内部填充有液体，使得传感器本体1具有良好的隔温效果固定外壳3的外部设置有注液管5，储液腔4与注液管5连通，注液管5的外部设置有开关阀6，固定外壳3的外部还设置有用于检测储液腔4内部压力的压力表7。
[0030]本实施例中，首先通过注液管5向储液腔4的内部加入液体，在向储液腔4的内部加入液体的过程中，需要通过观察压力表8的数值，防止储液腔4对传感器本体1的外壁产生的压力不恒定，储液腔4加满后，关闭注液管5上开关阀6即可进行传感器本体1的使用，使得传感器本体1具有良好的隔温效果，该具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器在使用时可以避免外界温度的影响。
[0031]实施例二
[0032]如图1
‑
2和图4
‑
5所示，基于实施例一的基础上，固定外壳3远离压力表7的一侧固定连接有四个连接柱10，四个连接柱10远离固定外壳3的一侧固定连接有强力吸盘A11，通过四个强力吸盘A11可将固定外壳3固定在竖直面上；
[0033]固定外壳3远离压力表7的一侧设置有连接框12，连接框12的底部固定连接有若干个强力吸盘B13，通过若干个强力吸盘B13可将固定外壳3固定在水平面上，固定外壳3远离压力表7的一侧还设置有用固定连接框12的固定组件14；
[0034]固定组件14包括固定连接在固定外壳3外部的固定板1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器，包括传感器本体(1)以及设置在所述传感器本体(1)顶部的连接器(2)，其特征在于，所述传感器本体(1)的外部固定连接有固定外壳(3)，所述固定外壳(3)的内部开设有储液腔(4)，所述固定外壳(3)的外部设置有注液管(5)，所述储液腔(4)与所述注液管(5)连通，所述注液管(5)的外部设置有开关阀(6)，所述固定外壳(3)的外部还设置有用于检测所述储液腔(4)内部压力的压力表(7)。2.根据权利要求1所述的一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器，其特征在于，所述连接器(2)的外部设置有压力显示屏(8)和连接口(9)。3.根据权利要求1所述的一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器，其特征在于，所述固定外壳(3)包括由外到内依次固定连接的阻燃层(31)、隔温层(32)以及防腐蚀内衬层(33)。4.根据权利要求1所述的一种具有自动补偿功能的MEMS气体压力传感器，其特征在于，所述固定外壳(3)远离所述压力表(7)的一侧固定连接有四个连...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱晨，窦云轩，臧寿兵，杨峰云，王梁，王玲，
申请(专利权)人：中微龙图电子科技无锡有限责任公司，
类型：新型
国别省市：