一种固定芯片防偏移筛盘组件制造技术

本实用新型专利技术公开一种固定芯片防偏移筛盘组件，涉及半导体产品加工装置技术领域，包括：底盘，底盘上开设有一凹槽；筛盘，筛盘安装于底盘上，且筛盘的底部开设有抽气孔，筛盘的内部开设有真空腔，且筛盘上间隔开设有多个真空孔；筛盘覆盖在底盘上，抽气孔位于凹槽内；真空管道，真空管道与底盘的底部连通。本实用新型专利技术解决了现有的筛盘在工作时影响工作效率的技术问题。术问题。术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种固定芯片防偏移筛盘组件


[0001]本技术涉及半导体产品加工装置
，尤其涉及一种固定芯片防偏移筛盘组件。

技术介绍

[0002]目前框架整流桥半导体产品固晶，一般是GPP芯片直接放置筛盘筛,对于SKY芯片是蓝膜切割，晶粒并非散装，因此根本无法直接放置筛盘筛，因此就需要固晶设备将带膜芯片通过机械手抓取把芯片放置在筛盘上，放的时候因为筛盘未通真空,总是跑偏或是从掉落，作业员要一直盯着，既严重影响产能，又影响产品电性性能；而且现有的筛盘通常直接连通真空管，在吸附芯片时，由于抽真空时的均匀性不够从而导致芯片在筛盘上的稳定性不够。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种固定芯片防偏移筛盘组件，解决了现有技术中的筛盘吸附芯片稳定性不够从而导致在工作时影响工作效率的技术问题。
[0004]本申请实施例公开了一种固定芯片防偏移筛盘组件，包括：
[0005]底盘，所述底盘上开设有一凹槽；
[0006]筛盘，所述筛盘安装于所述底盘上，且所述筛盘的底部开设有抽气孔，所述筛盘的内部开设有真空腔，且所述筛盘上间隔开设有多个真空孔；所述筛盘覆盖在所述底盘上，所述抽气孔位于所述凹槽内；
[0007]真空管道，所述真空管道与所述底盘的底部连通。
[0008]本申请实施例分成多个部分，现将筛盘安装在底盘上，然后通过底盘进行抽真空操作，确保在抓取芯片时，筛盘处于工作状态，以此保证工作效率。
[0009]在上述技术方案的基础上，本申请实施例还可以做如下改进：
[0010]进一步地，所述底盘上开设有真空口，所述真空口与所述真空管道连通，采用本步的有益效果是通过真空口完成抽真空操作。
[0011]进一步地，所述底盘的上表面沿其周向设置有密封垫，且所述底盘的上表面间隔设置有多个定位柱；
[0012]所述筛盘上与所述定位柱相对应处开设有定位孔，采用本步的有益效果是通过定位柱和定位孔相互配合，完成定位作用。
[0013]进一步地，所述真空口与所述抽气孔分别位于所述凹槽的斜对角处，避免筛盘被直接抽取真空，影响抽真空的效果。
[0014]进一步地，所述筛盘的上表面开设有多个芯片槽，所述芯片槽与所述真空孔一一对应，采用本步的有益效果是芯片槽和真空孔相互配合，保证芯片能够稳定的限位。
[0015]进一步地，所述底盘的底部开设有滑行凸起，采用本步的有益效果是通过滑行凸起便于底盘稳定运动，从而能够实现筛盘稳定运动。
[0016]本申请提供的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：
[0017]1.本申请能够确保筛盘一直处于抽真空状态，从而保证芯片能够稳定地处于筛盘上。
[0018]2.本申请能够提升产能，降低不良，有效减少浪费及报废。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术具体实施例所述的一种固定芯片防偏移筛盘组件的结构示意图；
[0021]图2为图1中筛盘的俯视图；
[0022]图3为图1中筛盘的仰视图；
[0023]图4为图1中底盘的结构示意图；
[0024]附图标记：
[0025]1‑
底盘；2
‑
筛盘；3
‑
真空管道；4
‑
密封垫；5
‑
定位柱；6
‑
定位孔；7
‑
滑行凸起；
[0026]101
‑
凹槽；102
‑
真空口；
[0027]201
‑
抽气孔；202
‑
真空腔；203
‑
真空孔；204
‑
芯片槽。
具体实施方式
[0028]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0029]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0030]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0031]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体实施方式对上述技术方案进行详细说明。
[0033]实施例：
[0034]如图1所示，本申请实施例公开了一种固定芯片防偏移筛盘组件，用于实现芯片的
防偏移，通过相应的筛盘结构进行设计，保证抽真空时的均匀性；
[0035]具体结构如下，包括：
[0036]底盘1，所述底盘1上开设有一凹槽101，该底盘1与其他部件相互配合，完成装配，同时底盘1的顶面开设有凹槽，在抽真空时，形成真空区域，从而完成稳定的抽真空操作，避免芯片的偏移；同时该底盘1能够稳定运动，从而带动筛盘2稳定运动；
[0037]筛盘2，所述筛盘2安装于所述底盘1上，且所述筛盘2的底部开设有抽气孔201，所述筛盘2的内部开设有真空腔202，且所述筛盘2上间隔开设有多个真空孔203；所述筛盘2覆盖在所述底盘1上，所述抽气孔201位于所述凹槽101内；
[0038]真空管道3，所述真空管道3与所述底盘1的底部连通；本申请中的筛盘2相比较现有的筛盘2在其底部开设有抽气孔201，该抽气孔201可以为方形或者圆形，与真空腔202相配合，提供相应的真空源，而该抽气孔201 大于现有的抽气管道，这样能够保证抽真空时的稳定性；此时的真空源为凹槽形成的真空区域。
[0039]在一实施例中，如图4所示，所述底盘1上开设有真空口102，所述真空口102与所述真空管道3连通，该真空口102与真空管道3相互配合，完成抽真空的操作，同时该真空口的顶部位于所述凹槽101内部，这样便于凹槽101形成真空源。
[0040]在又一实施例中，所述底盘1的上表面沿其周向设置有密封垫4，且所述底盘1的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固定芯片防偏移筛盘组件，其特征在于，包括：底盘，所述底盘上开设有一凹槽；筛盘，所述筛盘安装于所述底盘上，且所述筛盘的底部开设有抽气孔，所述筛盘的内部开设有真空腔，且所述筛盘上间隔开设有多个真空孔；所述筛盘覆盖在所述底盘上，所述抽气孔位于所述凹槽内；真空管道，所述真空管道与所述底盘的底部连通。2.根据权利要求1所述的固定芯片防偏移筛盘组件，其特征在于，所述底盘上开设有真空口，所述真空口与所述真空管道连通。3.根据权利要求2所述的固定芯片防偏移筛盘组件，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王娜，
申请(专利权)人：扬州虹扬科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：