多晶硅棒翘曲度的测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了多晶硅棒翘曲度的测试装置。多晶硅棒翘曲度的测试装置包括：支撑台，多晶硅棒放置在支撑台的台面上；第一刻度尺，第一刻度尺的一端设置在支撑台的第一侧面上，且第一刻度尺的长度延伸方向与第一侧面的长度延伸方向相垂直，且第一刻度尺可沿第一侧面的长度延伸方向滑动；定位杆，定位杆的一端设置在所述第一刻度尺上，定位杆的长度延伸方向与第一侧面的长度延伸方向相垂直，且与第一刻度尺的长度延伸方向相垂直，定位杆可在所述第一刻度尺上沿第一刻度尺的长度方向滑动。通过上述测试装置测试多晶硅棒的翘曲度，不仅简单快速，而且测试精度较高。而且测试精度较高。而且测试精度较高。

【技术实现步骤摘要】
多晶硅棒翘曲度的测试装置


[0001]本技术涉及多晶硅
，具体的，涉及多晶硅棒翘曲度的测试装置。

技术介绍

[0002]随着新能源汽车和光伏的大规模应用，基于区熔硅的高功率器件得到广泛应用，工业用区熔硅棒一般采用改良西门子法生产，改良西门子法生产的多晶硅棒必须满足一定的平直度才可以用于制造区熔硅棒。所以，在生产多晶硅棒时必须严格控制多晶硅棒的翘曲度

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出一种多晶硅棒翘曲度的测试装置，该测试装置可简单、快捷的测试出多晶硅棒的翘曲度。
[0004]在本技术的一方面，本技术提供了一种多晶硅棒翘曲度的测试装置。根据本技术的实施例，多晶硅棒翘曲度的测试装置包括：支撑台，所述多晶硅棒放置在所述支撑台的台面上；第一刻度尺，所述第一刻度尺的一端设置在所述支撑台的第一侧面上，且所述第一刻度尺的长度延伸方向与所述第一侧面的长度延伸方向相垂直，且所述第一刻度尺可沿所述第一侧面的长度延伸方向滑动；定位杆，所述定位杆的一端设置在所述第一刻度尺上，所述定位杆的长度延伸方向与所述第一侧面的长度延伸方向相垂直，且与所述第一刻度尺的长度延伸方向相垂直，所述定位杆可在所述第一刻度尺上沿所述第一刻度尺的长度方向滑动。由此，通过上述测试装置测试多晶硅棒的翘曲度，不仅简单快速，而且测试精度较高。
[0005]根据本技术的实施例，多晶硅棒翘曲度的测试装置还包括：第二刻度尺，所述第二刻度尺固定设置在所述第一侧面上，所述第一刻度尺的一端尺设置在所述第二刻度尺上，所述第二刻度尺的长度延伸方向与所述第一侧面的长度延伸方向相同，所述第一刻度尺可在所述第二刻度尺上沿所述第二刻度尺的长度方向滑动。
[0006]根据本技术的实施例，多晶硅棒翘曲度的测试装置还包括：限位挡板，所述限位挡板放置在所述支撑台的台面上，且所述限位挡板与所述第二刻度尺平行设置，所述多晶硅棒放置在所述限位挡板与所述第二刻度尺之间。
[0007]根据本技术的实施例，多晶硅棒翘曲度的测试装置还包括：第三刻度尺，所述第三刻度尺设置在所述支撑台的第二侧面上，所述第二侧面与所述第一侧面相邻且相互垂直。
[0008]根据本技术的实施例，所述限位挡板的一端设置在所述第三刻度尺上，且可沿所述第三刻度尺的长度方向滑动。
[0009]根据本技术的实施例，所述第二刻度尺的一端与所述第三刻度尺的一端相交设置，所述第二刻度尺的起始刻度靠近所述第三刻度尺设置，所述第三刻度尺的起始刻度
靠近所述第二刻度尺设置。
[0010]根据本技术的实施例，所述支撑台为可升降支撑台。
[0011]根据本技术的实施例，所述支撑台、所述第一刻度尺、所述第二刻度尺、所述第三刻度尺、所述定位杆和所述限位挡板的材料为聚氨酯。
[0012]根据本技术的实施例，所述支撑台、所述第一刻度尺、所述第二刻度尺、所述第三刻度尺、所述定位杆和所述限位挡板的材料为金属或木头，所述测试装置还包括：表面保护层，所述表面保护层包覆在所述支撑台、所述第二刻度尺、所述第一刻度尺、所述第三刻度尺、所述定位杆和所述限位挡板的表面。
[0013]根据本技术的实施例，多晶硅棒翘曲度的测试装置还包括：控制系统，所述控制系统可控制第一刻度尺、所述定位杆和所述限位挡板的滑动。
附图说明
[0014]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0015]图1是本技术一个实施例中多晶硅棒翘曲度的测试装置的结构示意图；
[0016]图2是本技术另一个实施例中多晶硅棒翘曲度的测试装置的结构示意图；
[0017]图3是本技术另一个实施例中多晶硅棒翘曲度的测试装置的结构示意图；
[0018]图4是本技术另一个实施例中多晶硅棒翘曲度的测试装置的结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面将结合实施例对本技术的方案进行解释。本领域技术人员将会理解，下面的实施例仅用于说明本技术，而不应视为限定本技术的范围。实施例中未注明具体技术或条件的，按照本领域内的文献所描述的技术或条件或者按照产品说明书进行。
[0020]下面参考具体实施例，对本技术进行描述，需要说明的是，这些实施例仅仅是描述性的，而不以任何方式限制本技术。
[0021]在本技术的一方面，本技术提供了一种多晶硅棒翘曲度的测试装置。根据本技术的实施例，参照图1，多晶硅棒翘曲度的测试装置包括：支撑台100，多晶硅棒500放置在支撑台100的台面上；第一刻度尺210，第一刻度尺210的一端设置在支撑台100的第一侧面110上，且第一刻度尺210的长度延伸方向Y与第一侧面110的长度延伸方向X相垂直，且第一刻度尺210可在第一侧面110上沿第一侧面110的长度延伸方向滑动；定位杆300，定位杆300的一端设置在第一刻度尺210上，定位杆300的长度延伸方向Z与第一侧面110的长度延伸X方向相垂直，且与第一刻度尺210的长度延伸方向相垂直，定位杆300可在第一刻度尺210上沿第一刻度尺210的长度方向滑动。由此，通过上述测试装置测试多晶硅棒的翘曲度，不仅简单快速，而且测试精度较高。
[0022]根据本技术的实施例，利用上述多晶硅棒翘曲度的测试装置测试多晶硅棒的翘曲度的方法可以为：如图1所示，将多晶硅棒400放置在支撑台100的台面上，且与第一刻度尺210贴近放置，在多晶硅棒400的某一位置X1测量多晶硅棒400与支撑台100台面之间的间距R1(在第一刻度尺210上读取)，移动第一刻度尺210，在另一位置X2测量多晶硅棒400与支撑台100台面之间的间距R2，然后重复上述测量操作步骤多次，总共测量次数可以为5～
30，得到不同位置处的多晶硅棒400与支撑台100台面之间的间距R1、R2、
……
、Rn，则多晶硅棒300的翘曲度＝MAX(R1、R2、
……
、Rn，n为大于等于1的正整数，n的最大的值为总共的测量次数)，即多晶硅棒300的翘曲度为R1、R2、
……
、Rn中的最大值。
[0023]在测量翘曲度的过程中，保持多晶硅棒400不动，移动第一刻度尺210，可以保护多晶硅棒400，避免其在移动的过程中发生磨损。
[0024]根据本技术的实施例，参照图2，多晶硅棒翘曲度的测试装置还包括：第二刻度尺220，第二刻度尺220固定设置在第一侧面110上，第一刻度尺210的一端尺设置在第二刻度尺220上，第二刻度尺220的长度延伸方向X与第一侧面110的长度延伸方向X相同，第一刻度尺210可在第二刻度尺220上沿第二刻度尺220的长度方向X滑动。由此，在移动第一刻度尺210时，可通过第二刻度尺220读取测量位置Xn。
[0025]根据本技术的实施例，参照本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅棒翘曲度的测试装置，其特征在于，包括：支撑台，所述多晶硅棒放置在所述支撑台的台面上；第一刻度尺，所述第一刻度尺的一端设置在所述支撑台的第一侧面上，所述第一刻度尺的长度延伸方向与所述第一侧面的长度延伸方向相垂直，且所述第一刻度尺可沿所述第一侧面的长度延伸方向滑动；定位杆，所述定位杆的一端设置在所述第一刻度尺上，所述定位杆的长度延伸方向与所述第一侧面的长度延伸方向相垂直，且与所述第一刻度尺的长度延伸方向相垂直，所述定位杆可在所述第一刻度尺上沿所述第一刻度尺的长度方向滑动。2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，还包括：第二刻度尺，所述第二刻度尺固定设置在所述第一侧面上，所述第一刻度尺的一端尺设置在所述第二刻度尺上，所述第二刻度尺的长度延伸方向与所述第一侧面的长度延伸方向相同，所述第一刻度尺可在所述第二刻度尺上沿所述第二刻度尺的长度方向滑动。3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，还包括：限位挡板，所述限位挡板放置在所述支撑台的台面上，且所述限位挡板与所述第二刻度尺平行设置，所述多晶硅棒放置在所述限位挡板与所述第二刻度尺之间。4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于，还包括：第三刻度尺，所述第三刻度尺设置在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张天雨，王付刚，田新，蒋文武，吴鹏，
申请(专利权)人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：