一种芯片生产用蚀刻精度高的节能环保刻蚀机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片生产用蚀刻精度高的节能环保刻蚀机，包括刻蚀机本体、限位密封机构、防尘散热机构、铰链和密封门，所述限位密封机构设置在刻蚀机本体上，所述防尘散热机构设置在刻蚀机本体上。本实用新型专利技术通过固定壳、固定板、活动板、连接块、限位板、定位杆、电磁铁、铁块、安装块、滑杆和滑块的相互配合，从而大大提高了密封门和刻蚀机接触时的紧密性和密封性，从而避免因产生缝隙漏气影响工件刻蚀的精度，通过散热口、防尘网、稳固块和固定螺栓的相互配合，从而起到了防尘的效果，避免外界的灰尘通过散热口进入到刻蚀机的内部，从而避免影响其使用寿命，而且后期方便对防尘网进行拆卸维护。行拆卸维护。行拆卸维护。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片生产用蚀刻精度高的节能环保刻蚀机


[0001]本技术涉及刻蚀机
，具体为一种芯片生产用蚀刻精度高的节能环保刻蚀机。

技术介绍

[0002]等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，由于工件需要在真空环境下进行加工，所以对于刻蚀机门的密封度要求较高。
[0003]根据申请号CN202021777681.X，本技术公开了一种智能刻蚀机，包括刻蚀机主体，所述刻蚀机主体的下端外表面设置有固定底座，所述刻蚀机主体的前端外表面设置有多功能密封机构，所述刻蚀机主体的上端外表面设置有安装机构。本技术所述的一种智能刻蚀机，通过安装的非石棉垫片，非石棉垫片是以芳纶等有机纤维和植物纤维与丁腈橡胶、无机矿物质在高温下压延而成的密封材料，由于含石棉纤维很少，适用为石棉垫片的无石棉垫片的替代产品，非石棉垫片既具有较高的强度，又具有较好的回弹性，同时具有超强的抗渗透性能是在高温高压下取代石棉垫片的良好环保材料，通过安装的透明玻璃板，透明玻璃板提供了可视功能，也达到了提高装置实用性的目的；但是上述案例的密封门密封效果不理想，因密封门长时间的开启和关闭，导致密封门和刻蚀机不能保证始终处于紧密的接触状态，从而容易产生缝隙漏气，从而大大影响工件刻蚀的精度，影响其加工质量，而且散热之间通过散热孔进行散热，导致外界的灰尘容易通过散热孔进入到刻蚀机的内部，从而影响其使用寿命。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种芯片生产用蚀刻精度高的节能环保刻蚀机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片生产用蚀刻精度高的节能环保刻蚀机，包括刻蚀机本体、限位密封机构、防尘散热机构、铰链和密封门，所述限位密封机构设置在刻蚀机本体上，所述防尘散热机构设置在刻蚀机本体上，所述密封门的左侧通过两个铰链与刻蚀机本体活动连接；
[0006]所述限位密封机构包括固定壳和固定板，所述固定壳安装在刻蚀机本体的正面，所述固定壳的内壁上滑动连接有活动板，所述活动板左侧的顶部与底部均安装有连接块，所述连接块的左侧贯穿固定壳且延伸至其外部，所述连接块的左侧安装有限位板，所述固定板安装在密封门正面的右侧，所述固定板的右侧且对应限位板的位置安装有定位杆，所述定位杆的右端贯穿限位板且延伸至其外部，两个限位板之间通过电磁铁固定连接，所述固定板的右侧且对应电磁铁的位置安装有铁块，所述固定壳顶部与底部的左侧均安装有安装块，所述安装块的左侧安装有滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有滑块；
[0007]所述防尘散热机构包括散热口和两个防尘网，所述散热口开设在刻蚀机本体的正
面，所述防尘网设置在散热口正面，所述防尘网的顶部安装有稳固块，所述稳固块的正面设置有与刻蚀机本体螺纹连接的固定螺栓。
[0008]优选的，所述限位板靠近密封门的一侧与密封门相互接触。
[0009]优选的，所述限位板靠近固定板的一侧与固定板相互接触。
[0010]优选的，所述铁块靠近电磁铁的一侧与电磁铁相互吸合。
[0011]优选的，所述滑块的背面与刻蚀机本体的正面滑动连接，所述滑块靠近限位板的一侧与限位板固定连接。
[0012]优选的，所述稳固块靠近刻蚀机本体的一侧与刻蚀机本体相互接触。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0014]本技术通过固定壳、固定板、活动板、连接块、限位板、定位杆、电磁铁、铁块、安装块、滑杆和滑块的相互配合，从而大大提高了密封门和刻蚀机接触时的紧密性和密封性，从而避免因产生缝隙漏气影响工件刻蚀的精度，通过散热口、防尘网、稳固块和固定螺栓的相互配合，从而起到了防尘的效果，避免外界的灰尘通过散热口进入到刻蚀机的内部，从而避免影响其使用寿命，而且后期方便对防尘网进行拆卸维护。
附图说明
[0015]图1为本技术立体结构剖面图；
[0016]图2为本技术正视图的结构剖面图。
[0017]图中：1刻蚀机本体、2限位密封机构、21固定壳、22固定板、23活动板、24连接块、25限位板、26定位杆、27电磁铁、28铁块、29安装块、210滑杆、211滑块、3防尘散热机构、31散热口、32防尘网、33稳固块、34固定螺栓、4铰链、5密封门。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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2，一种芯片生产用蚀刻精度高的节能环保刻蚀机，包括刻蚀机本体1、限位密封机构2、防尘散热机构3、铰链4和密封门5，限位密封机构2设置在刻蚀机本体1上，防尘散热机构3设置在刻蚀机本体1上，密封门5的左侧通过两个铰链4与刻蚀机本体1活动连接。
[0020]限位密封机构2包括固定壳21和固定板22，固定壳21安装在刻蚀机本体1的正面，固定壳21的内壁上滑动连接有活动板23，活动板23左侧的顶部与底部均固定连接有连接块24，连接块24的左侧贯穿固定壳21且延伸至其外部，连接块24的左侧固定连接有限位板25，限位板25靠近密封门5的一侧与密封门5相互接触，限位板25靠近固定板22的一侧与固定板22相互接触，固定板22安装在密封门5正面的右侧，固定板22的右侧且对应限位板25的位置固定连接有定位杆26，定位杆26的右端贯穿限位板25且延伸至其外部，两个限位板25之间通过电磁铁27固定连接，固定板22的右侧且对应电磁铁27的位置固定连接有铁块28，铁块28靠近电磁铁27的一侧与电磁铁27相互吸合，固定壳21顶部与底部的左侧均固定连接有安
装块29，安装块29的左侧固定连接有滑杆210，滑杆210的表面滑动连接有滑块211，滑块211的背面与刻蚀机本体1的正面滑动连接，滑块211靠近限位板25的一侧与限位板25固定连接。
[0021]防尘散热机构3包括散热口31和两个防尘网32，散热口31开设在刻蚀机本体1的正面，防尘网32设置在散热口31正面，防尘网32的顶部固定连接有稳固块33，稳固块33靠近刻蚀机本体1的一侧与刻蚀机本体1相互接触，稳固块33的正面设置有与刻蚀机本体1螺纹连接的固定螺栓34，通过固定壳21、固定板22、活动板23、连接块24、限位板25、定位杆26、电磁铁27、铁块28、安装块29、滑杆210和滑块211的相互配合，从而大大提高了密封门5和刻蚀机接触时的紧密性和密封性，从而避免因产生缝隙漏气影响工件刻蚀的精度，通过散热口31、防尘网32、稳固块33和固定螺栓34的相互配合，从而起到了防尘的效果，避免外界的灰尘通过散热口31进入到刻蚀机的内部，从而避免影响其使用寿本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片生产用蚀刻精度高的节能环保刻蚀机，包括刻蚀机本体（1）、限位密封机构（2）、防尘散热机构（3）、铰链（4）和密封门（5），其特征在于：所述限位密封机构（2）设置在刻蚀机本体（1）上，所述防尘散热机构（3）设置在刻蚀机本体（1）上，所述密封门（5）的左侧通过两个铰链（4）与刻蚀机本体（1）活动连接；所述限位密封机构（2）包括固定壳（21）和固定板（22），所述固定壳（21）安装在刻蚀机本体（1）的正面，所述固定壳（21）的内壁上滑动连接有活动板（23），所述活动板（23）左侧的顶部与底部均安装有连接块（24），所述连接块（24）的左侧贯穿固定壳（21）且延伸至其外部，所述连接块（24）的左侧安装有限位板（25），所述固定板（22）安装在密封门（5）正面的右侧，所述固定板（22）的右侧且对应限位板（25）的位置安装有定位杆（26），所述定位杆（26）的右端贯穿限位板（25）且延伸至其外部，两个限位板（25）之间通过电磁铁（27）固定连接，所述固定板（22）的右侧且对应电磁铁（27）的位置安装有铁块（28），所述固定壳（21）顶部与底部的左侧均安装有安装块（29），所述安装块（29）的左侧安装有滑杆（210），所述滑杆（210）的表面滑动连接有滑块（211...

【专利技术属性】
技术研发人员：周勉力，
申请(专利权)人：上海禾馥电子有限公司，
类型：新型
国别省市：