一种槽轮槽型检测装置及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种槽轮槽型检测装置及检测方法，包括以下步骤：获取槽型图像：获取槽型的采样数据；对采样数据处理，去除无效数据，得到槽型形状图像；依次对槽型的各个参数进行测量，并将各个参数的测量值与各个参数相对应的预设的标准范围值进行对比，判断槽型是否满足使用要求，其中，槽型参数包括：槽梗宽度、槽深、槽距、开槽角度、底部夹角和底角开口宽度；若槽型的各个参数的测量值在相对应的预设的标准范围值内，则槽型满足使用要求；否则，槽型不满足使用要求。本发明专利技术的有益效果是对槽轮的槽型的各个参数进行测量，可以在线下对槽轮进行全检，提前发现问题，避免因槽轮异常导致上机后更换槽轮，浪费生产时间。浪费生产时间。浪费生产时间。

【技术实现步骤摘要】
一种槽轮槽型检测装置及检测方法


[0001]本专利技术属于硅片切割
，尤其是涉及一种槽轮槽型检测装置及检测方法。

技术介绍

[0002]目前晶片体系在主辊检测方面的手段非常局限，仅仅是对外观进行目测或者以供应商的检测仪局部扫描提供的图像作为检验标准，对主辊的检测没有精确的判断。而质量不合格的主辊在使用过程中可能会出现以下的问题：连续线痕、TTV、跳线、断线等，同时也造成了硅片的降级损失。对于切割中出现的以上问题，除了深槽、异物等外观可检验，其余问题只能通过更换主辊解决。

技术实现思路

[0003]鉴于上述问题，本专利技术提供一种槽轮槽型检测装置及检测方法，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种槽轮槽型检测方法，包括以下步骤：
[0005]获取槽型图像：获取槽型的采样数据；
[0006]对采样数据处理，去除无效数据，得到槽型形状图像；
[0007]依次对槽型的各个参数进行测量，并将各个参数的测量值与各个参数相对应的预设的标准范围值进行对比，判断槽型是否满足使用要求，其中，槽型参数包括：槽梗宽度、槽深、槽距、开槽角度、底部夹角和底角开口宽度；
[0008]若槽型的各个参数的测量值在相对应的预设的标准范围值内，则槽型满足使用要求；否则，槽型不满足使用要求。
[0009]进一步的，对槽梗宽度进行测量时，包括：
[0010]确定槽梗的阈值，找出多个槽梗取样点；
[0011]对获取的槽梗取样点进行筛选，去除无效取样点；
[0012]对去除无效取样点后的取样点进行拟合，得到槽梗直线，并对槽梗宽度进行测量。
[0013]进一步的，对槽深进行测量时，包括：
[0014]确定槽底的阈值，找出多个槽底取样点；
[0015]确定槽底的多个取样点中的唯一点，唯一点为多个取样点中的最低点或中间点；
[0016]根据唯一点对槽深进行测量。
[0017]进一步的，对槽距进行测量时，包括：
[0018]根据测量的槽梗宽度进行槽距的测量：确定相邻槽梗中每一个槽梗的中点，测量相邻两个槽梗的中点的距离；或，测量相邻两个槽底之间的距离。
[0019]进一步的，对开槽角度进行测量时，包括：
[0020]确定槽壁的阈值，获取槽壁多个取样点，从多个取样点中确定槽壁的最低点和槽壁的最高点，其中，槽壁的最低点为槽底高度加上槽壁的阈值，槽壁的最高点为槽梗高度减
去槽壁的阈值；
[0021]对位于槽壁的最低点与槽壁的最高点之间的采样点进行拟合，得到槽壁直线，并对开槽角度进行测量。
[0022]进一步的，对底部夹角进行测量时，包括：
[0023]确定底部夹角阈值，获取底部夹角的多个采样点，并对多个采样点进行拟合，得到构成底部夹角的直线，并对底部夹角进行测量。
[0024]进一步的，对底角开口宽度进行测量时，包括：
[0025]确定槽底的拟合直线与槽壁的拟合直线的交点，并对两个交点之间的距离进行测量，获取底角开口宽度测量值。
[0026]一种槽轮槽型检测装置，包括图像获取装置、图像处理装置、第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置和第三方向位移调节装置，其中，
[0027]图像获取装置与图像处理装置连接，图像获取装置获取槽轮的槽型图像，并将槽型图像传送给图像处理装置，图像处理装置对槽型图像进行处理分析；
[0028]图像获取装置与第一方向位移调节装置连接，以使得图像获取装置在第一方向位移调节装置的作用下在第一方向上进行位置调节；
[0029]第一方向位移调节装置与第二方向位移调节装置连接，以使得第一方向位移调节装置在第二方向位移调节装置的作用下在第二方向上进行位置调节；
[0030]第三方向位移调节装置与第二方向位移调节装置连接，以使得第二方向位移调节装置在第三方向位移调节装置作用下在第三方向上进行位置调节；
[0031]其中，第一方向、第二方向与第三方向两两相交，图像获取装置沿着第一方向、第二方向和第三方向进行位置调节，以便于获取槽轮的槽型图像。
[0032]进一步的，图像获取装置为相机，优选的，相机为3D相机。
[0033]进一步的，第一方向、第二方向与第三方向两两相互垂直。
[0034]进一步的，第一方向位移调节装置包括第一移动平台、第一调节杆和第一旋钮，第一旋钮与第一调节杆连接，第一移动平台与第一调节杆连接，旋转第一旋钮，第一调节杆转动，以使得第一移动平台在第一方向上往复移动。
[0035]进一步的，第二方向位移调节装置包括第二移动平台、第二调节杆和第二旋钮，第二旋钮与第二调节杆连接，第二移动平台与第二调节杆连接，旋转第二旋钮，第二调节杆转动，以使得第二移动平台在第二方向上往复移动。
[0036]进一步的，第三方向位移调节装置包括第三移动平台、第三调节杆和第三旋钮，第三旋钮与第三调节杆连接，第三移动平台与第三调节杆连接，旋转第三旋钮，第三调节杆转动，以使得第三移动平台在第三方向上往复移动。
[0037]进一步的，检测装置还包括壳体，图像获取装置被设置为位于壳体内部，第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置与第三方向位移调节装置均被设置为位于壳体内，且第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置与第三方向位移调节装置均部分延伸至壳体的外部。
[0038]进一步的，第一方向位移调节装置的第一旋钮延伸至壳体的外部，第二方向位移调节装置的第二旋钮延伸至壳体的外部，第三方向位移调节装置的第三旋钮延伸至壳体的外部。
[0039]进一步的，检测装置还包括至少一组对向设置的底座，底座设于壳体的设有图像获取装置的一端，且对向设置的底座可相对壳体移动，对向设置的底座可以相对靠近或相对远离移动，以适应不同尺寸的槽轮。
[0040]进一步的，对向设置的底座被设计为具有一定间隙，间隙与图像获取装置相对应，以使得图像获取装置获取间隙对应的槽轮上的槽型图像。
[0041]进一步的，检测装置还包括网线接口和电源接口，网线接口与电源接口均与图像获取装置连接。
[0042]由于采用上述技术方案，槽轮槽型检测装置结构简单，使用方便，具有图像获取装置和图像处理装置，能够对槽轮的槽型进行扫描、拍照，获取槽型的图像，图像处理装置能够对槽型图像进行处理，测量槽型的参数尺寸，对槽型是否满足使用要求进行判断；具有第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置和第三方向位移调节装置，能够对图像获取装置进行不同方向位移调节，使得图像获取装置能够对槽轮的不同位置的槽型进行拍照、扫描；具有相对位置可以调节的底座，使得检测装置能够对不同尺寸的槽轮进行检测；该图像获取装置为3D相机，可以通过激光线观察到被检测槽所在槽轮的位置，在高度方向检测不受灰尘等小颗粒干扰，槽底图像清晰，可准确显示槽轮实际加工轮廓并计算出槽梗宽度，对工装要求不高，在同一高度，能兼容槽轮直径在6毫米范本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种槽轮槽型检测方法，其特征在于：包括以下步骤：获取槽型图像：获取槽型的采样数据；对所述采样数据处理，去除无效数据，得到槽型形状图像；依次对槽型的各个参数进行测量，并将各个参数的测量值与各个参数相对应的预设的标准范围值进行对比，判断槽型是否满足使用要求，其中，槽型参数包括：槽梗宽度、槽深、槽距、开槽角度、底部夹角和底角开口宽度；若所述槽型的各个参数的测量值在相对应的预设的标准范围值内，则所述槽型满足使用要求；否则，所述槽型不满足使用要求。2.根据权利要求1所述的槽轮槽型检测方法，其特征在于：对所述槽梗宽度进行测量时，包括：确定槽梗的阈值，找出多个槽梗取样点；对获取的槽梗取样点进行筛选，去除无效取样点；对去除无效取样点后的取样点进行拟合，得到槽梗直线，并对槽梗宽度进行测量。3.根据权利要求1或2所述的槽轮槽型检测方法，其特征在于：对所述槽深进行测量时，包括：确定槽底的阈值，找出多个槽底取样点；确定槽底的多个取样点中的唯一点，所述唯一点为多个取样点中的最低点或中间点；根据所述唯一点对槽深进行测量。4.根据权利要求3所述的槽轮槽型检测方法，其特征在于：对所述槽距进行测量时，包括：根据测量的槽梗宽度进行槽距的测量：确定相邻槽梗中每一个槽梗的中点，测量相邻两个槽梗的中点的距离；或，测量相邻两个槽底之间的距离。5.根据权利要求4所述的槽轮槽型检测方法，其特征在于：对所述开槽角度进行测量时，包括：确定槽壁的阈值，获取槽壁多个取样点，从多个取样点中确定槽壁的最低点和槽壁的最高点，其中，所述槽壁的最低点为槽底高度加上所述槽壁的阈值，所述槽壁的最高点为槽梗高度减去所述槽壁的阈值；对位于所述槽壁的最低点与所述槽壁的最高点之间的采样点进行拟合，得到槽壁直线，并对开槽角度进行测量。6.根据权利要求4或5所述的槽轮槽型检测方法，其特征在于：对所述底部夹角进行测量时，包括：确定底部夹角阈值，获取底部夹角的多个采样点，并对多个采样点进行拟合，得到构成底部夹角的直线，并对底部夹角进行测量。7.根据权利要求6所述的槽轮槽型检测方法，其特征在于：对所述底角开口宽度进行测量时，包括：确定所述槽底的拟合直线与所述槽壁的拟合直线的交点，并对两个交点之间的距离进行测量，获取所述底角开口宽度测量值。8.一种槽轮槽型检测装置，其特征在于：包括图像获取装置、图像处理装置、第一方向位移调节装置、第二方向位移调节装置和第三方向位移调节装置，其中，
所述图像获取装置与所述图像处理装置连接，所述图像获取装置获取槽轮的槽型图像，并将槽型图像传送给所述图像处理装置，所述图像处理装置对槽型图像进行处理分析；所述图像获取装置与所述第一方向位移调节装置连接，以使得所述图像获取装置在所述第一方向位移调节装置的作用下在第一方向上进行位置调节；所述第一方向位移调节装置与所述第二方向位移调节装置连接，以使得所述第一方向位移调节装置在所述第二方向位移调节装置的作用下在第二方向上进行位置调节；所述第三方向位移调节装置与所述第二方向位移调节装置连接，以使得所述第二方向位...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨旭洲，危晨，王少刚，张中赛，李云磊，张万雷，王建佳，侯建明，刘坚强，
申请(专利权)人：天津市环智新能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：