一种X射线显微镜隔振装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种X射线显微镜隔振装置，本装置采用多模块化设计，包括射线源隔振平台、光学成像隔振平台、探测器隔振平台、管道组件以及大理石底座。其中射线源隔振平台位于大理石底座左上侧、光学成像隔振平台位于大理石底座上侧中间、探测器隔振平台位于大理石底座右上侧，管道组件位移大理石底座上，探测器左侧。所述射线源隔振平台与探测器隔振平台中琴钢丝弹簧与高阻尼橡胶提供吸振隔振功能。光学成像隔振平台为三层夹心蜂窝构造，通过螺钉穿过橡胶垫以及安装在平台上的上下法兰固定在大理石底座上。管道组件直接连接在大理石底座上。本发明专利技术益处为可使仪器便于安装使用，多模块隔振方案可以将不同模块间的振动隔离，有效避免振动传递给光学成像区域。避免振动传递给光学成像区域。避免振动传递给光学成像区域。

【技术实现步骤摘要】
一种X射线显微镜隔振装置


[0001]本专利技术涉及一种隔振装置，尤其涉及一种X射线显微镜隔振装置。属于精密科学仪器领域。

技术介绍

[0002]X射线显微镜是X射线成像术的一种，也是显微成像技术，即将微观的、肉眼无法分辨看出的结构、图形放大成像以便观察研究的器械。在科学研究仪器中占有重要的地位，在各大实验室中，实验人员以此来观察生物样本或者不同样本的物理性质。
[0003]现有的X射线显微镜一般含有射线源模块、样品模块、主体调节模块、探测器模块、管道组件，这些仪器模块共同安装在一块安装底座上，形成一个完整的X射线显微镜。但是当X射线显微镜工作时，显微镜中各个模块都会产生振动，该振动也会以波动的形式传递给仪器的光学成像腔，令光学成像腔无法正常工作，导致实验结果无使用价值，耗费实验人员时间的同时还会损耗实验样本，因而需要一种新型的隔振平台，有效的降低X射线显微镜仪器中各个模块的振动，来保证整个仪器的平稳运行，令X射线显微镜更稳定的为实验人员提供助力，获得更好的科技成果。
[0004]现有的射线类仪器传统隔振做法一般是采用单一大理石底座减振或者橡胶垫隔振，这种做法的隔振使大理石底座的尺寸、X射线显微镜中各个模块的排布会受到限制，同时会导致X射线显微镜安装排线变得更加困难。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种X射线显微镜隔振装置，减少X射线显微镜工作时各模块产生的振动对X射线显微镜的光学成像腔的影响。并使X射线显微镜更方便安装调整。而且本专利技术中的隔振装置采用模块化设计，可直接安装在大理石底座或者光学平台等平台上，安装方便的同时还可以隔绝不同模块间振动对光学成像腔的影响。
[0006]本专利技术目的通过以下技术方案实现：
[0007]一种X射线光学仪器射线源隔振装置，由大理石底座、射线源隔振平台、光学成像隔振平台、探测器隔振平台、管道组件组成。
[0008]进一步的，大理石底座找平清理后，在大理石底座表面打孔，并向孔内镶嵌螺纹丝扣，保证后期螺纹连接时的稳固性。
[0009]进一步的，射线源隔振模块，其主要由下侧不锈钢底板、上侧不锈钢底板、琴钢丝弹簧、高阻尼橡胶垫组成，所述下侧不锈钢底板与大理石底座通过螺纹连接，所述琴钢丝弹簧下端与下侧不锈钢底板接触，上侧穿过上侧不锈钢底板与支撑弹簧固定盖板接触，支撑弹簧固定盖板通过螺钉固定在上侧不锈钢底板上，导向螺钉穿过盖板和琴钢丝弹簧固定在不锈钢底板上；高阻尼橡胶垫安装在上侧不锈钢底板与下侧不锈钢底板之间并通过螺纹连接固定三者之间的相应位置。
[0010]进一步的，琴钢丝弹簧和橡胶垫协同运用在射线源隔振平台上，根据射线源隔振
平台上侧射线源及其调节机构的重量、振动幅度及频率选取不同型号的琴钢丝弹簧、不同大小的橡胶垫。
[0011]进一步的，可以通过调节弹簧盖板与上侧不锈钢底板之间的螺钉可以调节琴钢丝弹簧的形变量，进而来调节隔振的效果。
[0012]进一步的，由于射线源平台中射线源组件重量过重，安装在射线源平台之上会导致射线源平台重心偏置，导致上侧不锈钢底板收到的的压力分布不均，导致对上侧不锈钢底板与下侧不锈钢底板之间的橡胶垫挤压力度不均，当射线源组件工作产生振动时会导致隔振效果较弱，因此在上侧不锈钢底板上安装有对应重量的配重块，可有效的解决射线源及其调节机构偏置带来的偏载荷问题。
[0013]进一步的，隔振装置中的光学成像隔振平台的非标定制光学平台采用三层夹心蜂窝式，其上下面板均选用优质高导磁不锈钢，表面精密研磨处理，保证其平面度。面板具有多个螺孔，用于固定下法兰的孔位和使支撑柱通过的孔位，并有使支撑柱穿过光学成像隔振平台安装在大理石底座上的孔位。中层高分子复合高阻尼橡胶垫提供对高频振动的隔振能力，台板采用蜂窝芯夹板结构，具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点。
[0014]进一步的，所述探测器隔振模块与射线源隔振模块组成架构相同。
[0015]进一步的，所述管道组件包括支撑柱、管道支撑平台、管道支撑组件、光路管道；所述支撑柱穿过非标定制平台安装在大理石底座上；所述支撑柱为双头螺纹圆柱，分别与大理石底座和管道支撑平台螺纹连接；所述管道支撑平台上下两表面均有螺纹孔，管道支撑组件安装在上表面螺纹孔中；所述管道支撑组件支撑上下位置变化以及左右平移位置变化，更加方便调试光路管道位置；所述光路管道放置在管道支撑组建的两个夹持部位上，在调整好光路管道后，将夹持部位紧固。
[0016]本专利技术的益处是：
[0017]本专利技术中的一种X射线显微镜隔振装置，采用大理石底座作为支撑减振底座，射线源隔振平台和探测器隔振平台采用琴钢丝弹簧与橡胶垫组合的双重减振方式，使大理石底座等支撑部件尺寸更容易规划生产，X射线显微镜装置中各模块组件更容易在大理石底座上安装调整。使射线仪器各模块更容易排列布局，多模块隔振设计有效将各模块在工作时产生的振动隔离减振，隔振效果更好，安装方便。
附图说明
[0018]图1为X射线显微镜隔振装置整体布局主视图；
[0019]图2为光学平台隔振模块剖视图；
[0020]图3为射线源隔振平台主视图；
[0021]图4为探测器隔振平台轴测图；
[0022]图5为管道组件主视图。
[0023]图中：1
‑
射线源隔振平台；2
‑
大理石底座；3
‑
探测器隔振平台；4
‑
光学隔振平台；5
‑
管道组件；6
‑
非标定制光学平台；7
‑
下法兰；8
‑
导向螺钉；9
‑
上法兰；10
‑
高阻尼橡胶垫；11
‑
不锈钢下底板；12
‑
琴钢丝弹簧；13
‑
高阻尼橡胶垫；14
‑
不锈钢上底板；15
‑
导向螺钉；16
‑
射线源及其调节机构；17
‑
配重块；18
‑
琴钢丝弹簧盖板；19
‑
琴钢丝弹簧垫片；20
‑
不锈钢下底板；21
‑
高阻尼橡胶垫；22
‑
琴钢丝弹簧垫片；23
‑
琴钢丝弹簧；24
‑
不锈钢上底板；25
‑
琴钢丝
弹簧盖板；26
‑
导向螺钉；27
‑
探测器及其调节机构；28
‑
管道支撑平台；29
‑
管道支撑组架；30
‑
光路管道；31
‑
支撑柱。
具体实施方式
[0024]应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0025]需要注意的是，这里所使用的术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线显微镜隔振装置，其特征在于隔振装置由射线源隔振平台、光学成像隔振平台、探测器隔振平台、管道组件以及大理石底座组成；所述射线源隔振平台位于大理石底座左上侧、光学成像隔振平台位于大理石底座上侧中间、探测器隔振平台位于大理石底座右上侧、管道组件位于在大理石底座上侧，探测器左侧；所述射线源隔振平台与探测器隔振平台中琴钢丝弹簧通过螺栓和导向螺钉固定上下不锈钢板对应凹槽中，上下不锈钢板中间有高阻尼橡胶起到吸振隔振支撑作用；所述光学成像隔振平台为非标定制光学平台，通过螺栓穿过安装在平台上的上下法兰以及橡胶垫固定在大理石底座上；所述管道组件由管道支撑组件、管道支撑平台、光路管道与支撑柱组成。2.如权利要求1所述的一种X射线显微镜隔振装置，其特征在于大理石底座上有各模块安装孔位并向孔内镶嵌螺纹丝扣。3.如权利要求1所述的一种X射线显微镜隔振装置，其特征在于射线源隔振平台分别为上侧不锈钢板、高阻尼橡胶垫、琴钢丝弹簧、下侧不锈钢板。4.如权利要求1所述的一种X射线显微镜隔振装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖可梁，宋茂华，
申请(专利权)人：济南汉江光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：