【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光束扫描领域,具体涉及一种新型x射线钨丝光束扫描组件。
技术介绍
1、光束扫描技术在x射线成像、步进投影扫描光刻系统等应用领域有着十分重要的应用前景。而其中x射线光源所具有基本参数,如其能量谱范围、光强、角度发散、光斑尺寸、能量分辨率和能量带宽等,对其基本参数进行测量表征的过程称之为光束表征。在对光束进行表征的相关实验过程中,所使用的方法根据系统特性可分为狭缝法、刀口法和栅条法(张晓琳,杜国浩,邓彪,谢红兰,薛艳玲,陈灿,任玉琦,周光照,肖体乔.刀口法高精度测量x射线ccd调制传递函数研究[j].光学学报,2010,30(06):1680-1687.)。狭缝法(slitcamera)和刀口法(edge)已被国际放射学会公认为是获得mtf的较好方法,日本将狭缝法定义成测量mtf的标准方法,刀口法也已被国际电气技术委员会(iec)指定为测量系统mtf的标准方法。由于刀口法测量仪器自加工相对容易,在科研实验和常规检测中使用较为广泛(龚绍润,高峰,徐雅洁.数字化x射线成像系统mtf的刀口测量法[j].天津大学学报,2010,43(07
...【技术保护点】
1.一种新型X射线钨丝光束扫描组件,其特征在于该组件由G 型板,磁吸底座,垂直正交圆柱形钨丝以及螺钉组成;G型板上开有贯通的凹槽以使光束得以通过,板面上有五个螺纹孔可以安装螺钉以紧固钨丝;G型块与磁吸底座通过连接螺钉连接在一起作为一个整体,钨丝通过压紧螺钉直接压在G型块的表面。
2.如权利要求1中所述的一种新型X射线钨丝光束扫描组件,其特征在于:G型板底部有一螺纹孔用来连接磁吸底座。
3.如权利要求1或2中所述的一种新型X射线钨丝光束扫描组件,其特征在于:G型板材料选用硬质合金。
4.如权利要求1中所述的一种新型X射线钨丝光束扫描组
...【技术特征摘要】
1.一种新型x射线钨丝光束扫描组件,其特征在于该组件由g 型板,磁吸底座,垂直正交圆柱形钨丝以及螺钉组成;g型板上开有贯通的凹槽以使光束得以通过,板面上有五个螺纹孔可以安装螺钉以紧固钨丝;g型块与磁吸底座通过连接螺钉连接在一起作为一个整体,钨丝通过压紧螺钉直接压在g型块的表面。
2.如权利要求1中所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖可梁,李晓龙,李东哲,孙承文,
申请(专利权)人:济南汉江光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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