一种具有夹紧装置的激光加工装置制造方法及图纸

技术编号:35872729 阅读:14 留言:0更新日期:2022-12-07 11:08
一种具有夹紧装置的激光加工装置,包括机架、设置于所述机架中间的工作台、放置于所述工作台上用于承载吸附基板的真空板,还包括沿X方向固定于所述机架上的至少两条导轨、多个能够沿所述导轨移动设置于所述工作台两侧的夹紧系统。通过设置在基板两侧的多个夹紧系统沿X方向移动固定基板边缘部分,通过真空吸附使基板与真空板紧密接触,使基板的全面积均匀地固定到真空板上,使基板因夹紧而扭曲或弯曲影响达到最小化,并且可以抑制由于基板扭曲而引起的真空漏水问题,由于基板稳定地固定在真空板上,夹紧系统可以通过引导板和气缸高速移动,缩短激光加工作业时间。动,缩短激光加工作业时间。动,缩短激光加工作业时间。

【技术实现步骤摘要】
一种具有夹紧装置的激光加工装置


[0001]本技术涉及一种具有夹紧装置的激光加工装置。

技术介绍

[0002]为了在LCD面板等基板上用激光进行加工作业,例如完成激光打标作业,需要将想要加工的基板装载在平台上,并固定。为此,以往采用夹紧装置的固定爪来固定基板两侧,或通过真空装置将基板吸附到平台上来固定基板。但是,由于根据基板种类不同,弯曲程度或弯曲方向也不同,因此使用传统的夹持方法时,存在难以使基板弯曲最小化的缺点。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种具有夹紧装置的激光加工装置。
[0004]为了解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:一种具有夹紧装置的激光加工装置,包括机架、设置于所述机架中间的工作台、放置于所述工作台上用于承载吸附基板的真空板,还包括沿X方向固定于所述机架上的至少两条导轨、多个能够沿所述导轨移动设置于所述工作台两侧的夹紧系统,多个所述夹紧系统对称设置,每个所述夹紧系统包括能够滑动设置于所述导轨上的引导板、固定于所述引导板上的气缸、固定于所述气缸上的用于固定所述基板的固定板。通过设置在基板两侧的多个夹紧系统沿X方向移动固定基板边缘部分,通过真空吸附使基板与真空板紧密接触,使基板的全面积均匀地固定到真空板上,使基板因夹紧而扭曲或弯曲影响达到最小化,并且可以抑制由于基板扭曲而引起的真空漏水问题,由于基板稳定地固定在真空板上, 夹紧系统可以通过引导板和气缸高速移动,缩短激光加工作业时间。
[0005]优选的,所述固定板通过所述气缸能够在上下方向上移动设置,所述固定板同步所述引导板在X方向上移动设置。实现夹紧系统和激光加工装置的小型化及简单化。
[0006]优选的,所述真空板上开设有多个真空孔,多个所述真空孔为圆形孔、四角形孔中的一种。
[0007]优选的,所述工作台内设置有与多个所述真空孔相对应连通的歧管,所述歧管的一端部与所述真空板连接,所述歧管的另一端部连接有真空泵。
[0008]优选的,所述引导板能够靠近和远离所述机架中心位置的移动。
[0009]优选的,所述固定板包括多个能够与所述基板边缘相配合夹紧固定的固定槽。
[0010]优选的,所述工作台两侧的所述固定槽相匹配对应设置。
[0011]由于上述技术方案运用,本技术与现有技术相比具有下列优点:1、本技术通过设置在基板两侧的多个夹紧系统沿X方向移动固定基板边缘部分,通过真空吸附使基板与真空板紧密接触,使基板的全面积均匀地固定到真空板上,使基板因夹紧而扭曲或弯曲影响达到最小化,并且可以抑制由于基板扭曲而引起的真空漏水问题,由于基板稳定地固定在真空板上, 夹紧系统可以通过引导板和气缸高速移动,缩短激光加工作业时间;
[0012]2、固定板通过气缸能够在上下方向上移动设置,固定板同步引导板在X方向上移
动设置,实现夹紧系统和激光加工装置的小型化及简单化。
附图说明
[0013]图1是激光加工装置立体结构示意图;
[0014]图2是激光加工装置正视图;
[0015]图3是真空板的结构示意图;
[0016]图4a至图6b是夹紧真空板的过程示意图;
[0017]其中: 1、机架;2、工作台;21、歧管;3、真空板;31、真空孔;4、导轨;5、夹紧系统;51、引导板;52、气缸;53、固定板;54、固定槽;6、基板。
具体实施方式
[0018]如各图所示的具有夹紧装置的激光加工装置,包括机架1、设置于机架1中间的工作台2、放置于工作台2上用于承载吸附基板6的真空板3,基板6可以为LCD面板或PCB等。
[0019]激光加工装置还包括沿X方向固定于机架1上的两条导轨4、两个能够沿导轨4移动设置于工作台2两侧的夹紧系统5,两个夹紧系统5对称设置。
[0020]每个夹紧系统5包括能够滑动设置于导轨4上的引导板51、固定于引导板51上的气缸52、固定于气缸52上的用于固定基板6的固定板53,固定板53通过气缸52能够在上下方向上移动设置,固定板53同步引导板51在X方向上移动设置。气缸采用空压气缸等紧凑型气缸。
[0021]真空板3上开设有多个真空孔31,多个真空孔31为圆形孔、四角形孔中的一种。
[0022]工作台2内设置有与多个真空孔31相对应连通的歧管21,歧管21的一端部与真空板3连接,歧管21的另一端部连接有真空泵。
[0023]引导板51能够靠近和远离机架1中心位置的移动。
[0024]固定板53包括多个能够与基板6边缘相配合夹紧固定的固定槽54。固定板53作用是通过上下移动来固定装载在真空板上的基板的边缘部分。采用固定槽可以使得基板的四向边缘部分都可以固定,工作台2两侧的固定槽54相匹配对应设置。
[0025]在上述结构的夹紧系统中,通过设置在基板两侧的多个固定板将基板的边缘部分固定在真空板上,通过真空吸附使基板与真空板紧密接触,使基板的全面积均匀地固定在真空板上。
[0026]因此,可以防止由于夹紧而使基板变形,并且可以抑制由于基板的扭曲而引起的真空漏水问题。
[0027]另外,由于基板稳定地固定在真空板上,所以夹紧系统可以高速移动,因此可以缩短激光加工作业时间,实现夹紧系统和激光加工装置的小型化及简化。
[0028]参照图4a和图4b,设置在真空板两侧的夹紧系统5向远离真空板3的方向移动。
[0029]在此过程中,引导板51驱动,朝着远离真空板3的方向移动,气缸52向上驱动,使固定板53朝着远离真空板3的方向向上移动。
[0030]具体来说,由引导板51驱动,朝着远离真空板3的方向移动,即设置在真空板3左侧的引导板51朝

x方向移动,设置在真空板3右侧的引导板51朝x方向移动。
[0031]因此,气缸52和固定板53也与引导板51联动,朝着远离真空板3的方向移动。
[0032]另外,设置在真空板3两侧的气缸52向上驱动,固定板53向上移动。
[0033]即,如果设置在真空板3两侧的气缸52向z方向驱动并移动,固定板53也会向远离真空板3的z方向移动。
[0034]如上,当夹紧系统5完成移动并打开时,可以在真空板3的上表面上装载基板6。
[0035]参照图5a和图5b,设置在真空板3两侧的夹紧系统5向接近真空板3的方向移动。
[0036]在此过程中,驱动引导板51,朝着接近真空板3的方向移动。具体来说,驱动引导板51,朝着接近真空板3的方向移动。即设置在真空板3左侧的引导板51向x方向移动,设置在真空板3右侧的引导板51向

x方向移动。5
[0037]另外,在这种情况下,气缸52不会驱动,因此固定板53将保持与道4a及道4b相同的高度。
[0038]参照图6a和图6b,设置在真空板3两侧的夹紧系统5在固定装载在真空板3上的基板6的边缘部分。在此过程中,气缸52向下移动固定板53,从而本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有夹紧装置的激光加工装置,包括机架(1)、设置于所述机架(1)中间的工作台(2)、放置于所述工作台(2)上用于承载吸附基板(6)的真空板(3),其特征在于:还包括沿X方向固定于所述机架(1)上的至少两条导轨(4)、多个能够沿所述导轨(4)移动设置于所述工作台(2)两侧的夹紧系统(5),多个所述夹紧系统(5)对称设置,每个所述夹紧系统(5)包括能够滑动设置于所述导轨(4)上的引导板(51)、固定于所述引导板(51)上的气缸(52)、固定于所述气缸(52)上的用于固定所述基板(6)的固定板(53)。2.根据权利要求1所述的具有夹紧装置的激光加工装置,其特征在于:所述固定板(53)通过所述气缸(52)能够在上下方向上移动设置,所述固定板(53)同步所述引导板(51)在X方向上移动设置。3.根据权利要求1所述的具有夹紧装置的激光加工...

【专利技术属性】
技术研发人员:成奎栋
申请(专利权)人:伊欧激光科技苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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