一种用于半导体发光元件的加工设备制造技术

技术编号:35866520 阅读:11 留言:0更新日期:2022-12-07 10:59
本发明专利技术公开了一种用于半导体发光元件的加工设备,本发明专利技术涉及半导体元件加工技术领域。该用于半导体发光元件的加工设备,包括设备主体,所述设备主体的顶部固定连接有XY移动平台,所述XY移动平台的滑块底部固定连接有提升器,所述提升器的驱动端固定连接有驱动器,所述驱动器的驱动端固定连接有钻头,半导体元件加工时,固定座水平中心线上方的挤压头受重力向下移动,进而顶开密封板,钻头加工中产生的废屑沿着导流板进入收集筒的内部,对废屑进行收集,固定座水平中心线上方的挤压头退出排料口,密封板在限位条的弹性力下堵住排料口,避免废屑溢出,进而完成对废屑的自动收集处理。理。理。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体发光元件的加工设备


[0001]本专利技术涉及半导体元件加工
,具体为一种用于半导体发光元件的加工设备。

技术介绍

[0002]半导体元件的生产制造是一个十分复杂的流程,大致分为前道和后道两个阶段,在前道阶段,主要是对半导体晶圆进行氧化、退火、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光、金属化等加工,其工艺流程最为复杂,每一环节都需要使用专门的机器来进行精密加工,而在后道阶段,则是进行较为传统的封装、切割、贴片、电镀、模塑、钻孔、清洗、加热、终测等加工,工艺难度和对设备的要求远低于前道阶段;现有的用于半导体发光元件的加工设备移动夹持稳定性不强,易晃动,不便于自动清理加工区域碎屑,对其进行收集集中处理,造成废屑的飞溅。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种用于半导体发光元件的加工设备,解决了半导体发光元件的加工设备移动夹持稳定性不强,易晃动,不便于自动清理加工区域碎屑,对其进行收集集中处理,造成废屑的飞溅的问题。
[0004](二)技术方案为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:种用于半导体发光元件的加工设备,包括设备主体,所述设备主体的顶部固定连接有XY移动平台,所述XY移动平台的滑块底部固定连接有提升器,所述提升器的驱动端固定连接有驱动器,所述驱动器的驱动端固定连接有钻头,所述设备主体的内部中心处转动连接有固定座,所述设备主体的侧壁固定连接有步进电机,且步进电机的驱动端与固定座固定连接,所述固定座上开设有固定槽,所述固定座的内部开设有收集口,所述收集口的内部插接有收集筒,所述固定槽的底部设有掉落口,所述收集筒的侧壁设有排料口,所述设备主体的侧壁固定连接有液压杆,液压杆抵住固定座,避免其加工时产生晃动,所述排料口的下方设有密封组件,所述密封组件包括密封板,且密封板滑动安装在收集筒的内壁处,所述收集筒的内壁固定连接有限位板,所述限位板上固定连接有限位条,且限位条固定安装在密封板处,所述掉落口的下方固定连接有导流板,所述导流板的内侧设有挤压头,所述挤压头的内部设有滑动口,且滑动口的内部设有固定架,所述固定架固定安装在导流板处,密封板通过限位条的弹性力对排料口进行封堵,半导体元件通过机械臂或者人工放置在固定槽的内部,步进电机带动固定槽旋转使半导体元件保持水平,XY移动平台调整钻头位置,提升器调整钻头高度,驱动器带动钻头对半导体元件进行钻孔加工,半导体元件加工时,固定座水平中心线上方的挤压头受重力向下移动,进而顶开密封板,钻头加工中产生的废屑沿着导流板进入收集筒的内部,对废屑进行收集,固定座水平中心线上方的挤压头退出排料口,密封板在限位条的弹性力下堵住
排料口,避免废屑溢出,进而完成对废屑的自动收集处理。
[0005]优选的,所述导流板的侧壁上方滑动连接有刮板,所述刮板的底部固定连接有第一弹性条,且第一弹性条固定安装在导流板的底部,刮板通过第一弹性条的弹性力保持在导流板的上方。
[0006]优选的,所述挤压头的侧壁通过转轴转动连接与连杆,所述连杆通过转轴转动安装在刮板的侧壁,废屑顺着导流板进入收集筒的内部,避免废屑逃逸,同时废屑会粘附在导流板的内壁处,挤压头下滑时,通过连杆带动刮板向下滑动,刮去导流板内壁粘附的废屑使其掉落至收集筒的内部,保持设备主体的清洁。
[0007]优选的,所述固定槽的内部设有夹持组件,所述夹持组件包括夹持板,且夹持板滑动安装在固定槽的内部,所述夹持板的底部固定连接有第二弹性条,且第二弹性条固定安装在固定槽的内部,所述夹持板的中心处嵌入连接有第一磁块。
[0008]优选的,所述设备主体的侧壁固定连接有第二磁块,且第二磁块与第一磁块磁性相斥,通过固定座侧面的第二磁块与第一磁块的磁性力,进而使夹持板滑动打开,方便放置待加工半导体元件,并同时方便取出加工后的半导体元件,同时半导体元件位于顶时,通过第二弹性条的弹力拉力使夹持板夹持住半导体元件,避免其在加工过程中产生晃动,进而提高加工质量。
[0009]优选的,所述夹持板的一侧设有安装槽,所述安装槽的内部通过转轴转动连接有弧形推料板。
[0010]优选的,所述弧形推料板的侧壁固定连接有第三弹性条,且第三弹性条固定安装在夹持板的底部,所述弧形推料板的上方设有挤压杆,且挤压杆固定安装在固定座的表面,弧形推料板通过第三弹性条其上端保持在夹持板的上方,夹持板滑动打开时,通过弧形推料板与挤压杆相挤压,进而使弧形推料板的底部翘起,将固定槽内部加工后的半导体元件自动顶出,进而节省人员取货环节,加快工作效率。
[0011]优选的,所述夹持板的端部设有凹槽,所述凹槽的内部中心处通过转轴转动连接有限位架,所述限位架上方的侧壁固定连接有橡胶层,所述限位架的侧壁固定连接有复位条,且复位条固定安装在凹槽的侧壁处,通过复位条的弹性力保持限位架的位置,夹持板夹持半导体元件时,通过限位架与半导体元件侧壁的配合,使其上方旋转向下抵在半导体元件的上表面,进而避免半导体元件在加工过程中产生跳动,影响加工质量。
[0012](三)有益效果本专利技术提供了一种用于半导体发光元件的加工设备。具备以下有益效果:(一)、该用于半导体发光元件的加工设备,半导体元件加工时,固定座水平中心线上方的挤压头受重力向下移动,进而顶开密封板,钻头加工中产生的废屑沿着导流板进入收集筒的内部,对废屑进行收集,固定座水平中心线上方的挤压头退出排料口,密封板在限位条的弹性力下堵住排料口,避免废屑溢出,进而完成对废屑的自动收集处理。
[0013](二)、该用于半导体发光元件的加工设备,废屑顺着导流板进入收集筒的内部,避免废屑逃逸,挤压头下滑时,通过连杆带动刮板向下滑动,刮去导流板内壁粘附的废屑使其掉落至收集筒的内部,保持设备主体的清洁。
[0014](三)、该用于半导体发光元件的加工设备,通过固定座侧面的第二磁块与第一磁块的磁性力,进而使夹持板滑动打开,方便放置待加工半导体元件,并同时方便取出加工后
的半导体元件,同时半导体元件位于顶时,通过第二弹性条的弹力拉力使夹持板夹持住半导体元件,避免其在加工过程中产生晃动,进而提高加工质量。
[0015](四)、该用于半导体发光元件的加工设备,夹持板滑动打开时,通过弧形推料板与挤压杆相挤压,进而使弧形推料板的底部翘起,将固定槽内部加工后的半导体元件自动顶出,进而节省人员取货环节,加快工作效率。
[0016](五)、该用于半导体发光元件的加工设备,夹持板夹持半导体元件时,通过限位架与半导体元件侧壁的配合,使其上方旋转向下抵在半导体元件的上表面,进而避免半导体元件在加工过程中产生跳动,影响加工质量。
附图说明
[0017]图1为本专利技术整体结构示意图;图2为本专利技术图1的侧视图;图3为本专利技术密封组件剖视图;图4为本专利技术夹持组件结构示意图;图5为本专利技术导流板结构示意图;图6为本专利技术弧形推料板结构示意图;图7为本专利技术限位架结构示意图。
[0018]图中:1、设备主体;2、XY移动平台;3、提升器;4、驱动器;5、钻头;本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体发光元件的加工设备,包括设备主体(1),其特征在于:所述设备主体(1)的顶部固定连接有XY移动平台(2),所述XY移动平台(2)的滑块底部固定连接有提升器(3),所述提升器(3)的驱动端固定连接有驱动器(4),所述驱动器(4)的驱动端固定连接有钻头(5),所述设备主体(1)的内部中心处转动连接有固定座(6),所述设备主体(1)的侧壁固定连接有步进电机(7),且步进电机(7)的驱动端与固定座(6)固定连接,所述固定座(6)上开设有固定槽(8),所述固定座(6)的内部开设有收集口,所述收集口的内部插接有收集筒(9),所述固定槽(8)的底部设有掉落口(10),所述收集筒(9)的侧壁设有排料口(11),所述设备主体(1)的侧壁固定连接有液压杆(13);所述排料口(11)的下方设有密封组件(12),所述密封组件(12)包括密封板(121),且密封板(121)滑动安装在收集筒(9)的内壁处,所述收集筒(9)的内壁固定连接有限位板(122),所述限位板(122)上固定连接有限位条(123),且限位条(123)固定安装在密封板(121)处,所述掉落口(10)的下方固定连接有导流板(124),所述导流板(121)的内侧设有挤压头(125),所述挤压头(125)的内部开设有滑动口,且滑动口的内部设有固定架(126),所述固定架(126)固定安装在导流板(124)处。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体发光元件的加工设备,其特征在于:所述导流板(124)的侧壁上方滑动连接有刮板(127),所述刮板(127)的底部固定连接有第一弹性条(128),且第一弹性条(128)固定安装在导流板(124)的底部。3.根据权利要求2所述的一种用于半导体发光元件的加工设备,其特征在于:所述挤压头(12...

【专利技术属性】
技术研发人员:王灿
申请(专利权)人:江苏东燃机电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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