本实用新型专利技术公开了一种冷却装置和晶体生长炉，冷却装置用于对晶体进行冷却，晶体生长炉具有进液管路和出液管路，冷却装置包括第一冷却套和切换组件，第一冷却套内限定出分隔的第一冷却通道和第二冷却通道，第一冷却通道的冷却能力高于第二冷却通道的冷却能力，在第一工作位置下，第一冷却通道适于与进液管路和出液管路均连通、且第二冷却通道适于与进液管路和出液管路均隔断，在第二工作位置下，第二冷却通道适于与进液管路和出液管路均连通、且第一冷却通道适于与进液管路和出液管路均隔断；切换组件用于驱动第一冷却套在第一工作位置和第二工作位置之间切换。根据本实用新型专利技术的冷却装置，可以提升晶冠的散热效率。可以提升晶冠的散热效率。可以提升晶冠的散热效率。
【技术实现步骤摘要】
冷却装置和晶体生长炉
[0001]本技术涉及晶体生长
，尤其是涉及一种冷却装置和晶体生长炉。
技术介绍
[0002]相关技术中，在晶体生长炉中，例如CZ长晶炉，设置用于对晶体进行冷却的冷却套，但是由于晶体的晶冠处与冷却套之间的热辐射角度较大，有效换热面积较小，导致晶冠的散热效率低。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种冷却装置，所述冷却装置可以提升晶冠的散热效率。
[0004]本技术还提出一种具有上述冷却装置的晶体生长炉。
[0005]根据本技术第一方面实施例的冷却装置，所述冷却装置用于晶体生长炉，且用于对晶体进行冷却，所述晶体生长炉具有进液管路和出液管路，所述冷却装置包括：至少一个第一冷却套，所述第一冷却套内限定出分隔的第一冷却通道和第二冷却通道，所述第一冷却通道的冷却能力高于所述第二冷却通道的冷却能力，所述第一冷却套适于在第一工作位置和第二工作位置之间切换，在所述第一工作位置下，所述第一冷却通道适于与所述进液管路和所述出液管路均连通、且所述第二冷却通道适于与所述进液管路和所述出液管路均隔断，在所述第二工作位置下，所述第二冷却通道适于与所述进液管路和所述出液管路均连通、且所述第一冷却通道适于与所述进液管路和所述出液管路均隔断；切换组件，所述切换组件用于驱动所述第一冷却套在所述第一工作位置和所述第二工作位置之间切换。
[0006]根据本技术实施例的冷却装置，通过在第一冷却套设置分隔的第一冷却通道和第二冷却通道，第一冷却通道的冷却能力高于第二冷却通道的冷却能力，使得第一冷却套在的第一工作位置时的冷却能力强于在第二工作位置时的冷却能力，从而当第一冷却套对晶冠进行冷却时，当晶体上升至某一位置，通过切换组件驱动将第一冷却套切换至为第一工作位置，使得加快第一冷却套第一冷却通道与晶冠之间的进行热量交换效率，以对晶冠进行快速有效散热，从而提高晶冠处的散热效率。
[0007]在一些实施例中，所述第一冷却套适于与所述进液管路和所述出液管路滑移配合，所述切换组件用于驱动所述第一冷却套相对于所述进液管路和所述出液管路绕所述第一冷却套的中心轴线转动。
[0008]在一些实施例中，所述第一冷却套和所述切换组件分别为多个，多个所述第一冷却套沿所述第一冷却套的轴向依次设置，相邻两个所述第一冷却套之间枢转相连，所述切换组件用于驱动对应所述第一冷却套绕所述第一冷却套的中心轴线转动。
[0009]在一些实施例中，所述第一冷却套为一个，所述第一冷却套为第一冷却件；或者，所述第一冷却套为多个，多个所述第一冷却套沿所述第一冷却套的轴向依次设置，多个所述第一冷却套的最下侧的一个为第一冷却件，其余所述第一冷却套为第二冷却件，所述第
二冷却件还限定出两个回流通道，所述第二冷却件在所述第一工作位置下，其中一个所述回流通道连通在所述第一冷却件和所述出液管路之间，所述第二冷却件在所述第二工作位置下，另一个所述回流通道连通在所述第一冷却件和所述出液管路之间，其中，所述第一冷却件的所述第一冷却通道和所述第一冷却件的所述第二冷却通道均沿所述第一冷却件的周向延伸成环形，所述第一冷却件的所述第一冷却通道的进液口和出液口、以及所述第一冷却件的所述第二冷却通道的进液口和出液口均位于所述第一冷却套的顶部，所述第二冷却件的所述第一冷却通道和所述第二冷却件的所述第二冷却通道分别沿所述第二冷却件的周向至少延伸一圈，所述第二冷却件的所述第一冷却通道的进液口和出液口分别位于所述第二冷却件的顶部和底部，所述第二冷却件的所述第二冷却通道的进液口和出液口分别位于所述第二冷却件的顶部和底部。
[0010]在一些实施例中，所述冷却装置还包括：第二冷却套，所述第二冷却套设在所述第一冷却套的上侧，且适于与所述进液管路和所述出液管路分别固定，所述第二冷却套内限定出分隔的进液通道和出液通道，所述进液通道适于连接在所述进液管路和所述第一冷却套之间，所述出液通道适于连接在所述出液管路和所述第一冷却套之间，其中，所述第一冷却套与所述第二冷却套枢转相连，所述切换组件用于驱动所述第一冷却套相对于所述第二冷却套转动。
[0011]在一些实施例中，所述进液通道和/或所述出液通道沿所述第二冷却套的周向至少延伸一圈，所述进液通道的进液口和出液口分别位于所述进液通道的顶部和底部，所述出液通道的进液口和出液口分别位于所述进液通道的顶部和底部。
[0012]在一些实施例中，所述切换组件包括：驱动电机；传动机构，所述传动机构配合在所述驱动电机和所述第一冷却套之间，所述传动机构为齿轮传动机构，且包括啮合配合的主动齿轮和从动轮齿，所述主动齿轮与所述驱动电机相连以由所述驱动电机驱动转动，所述从动轮齿设在所述第一冷却套的外周壁上；或者，所述传动机构为链传动机构，且包括主动轮、传动链和从动齿，所述主动轮与所述驱动电机相连以由所述驱动电机驱动转动，所述传动链与所述主动轮和所述从动齿分别啮合，所述从动齿设在所述第一冷却套的外周壁上；或者，所述传动机构为带传动机构，且包括主动轮和传动带，所述传动带张紧配合在所述主动轮和所述第一冷却套上。
[0013]在一些实施例中，在所述第一冷却套的径向上，所述第一冷却通道位于所述第二冷却通道的径向内侧；和/或，所述第一冷却通道的换热面积大于所述第二冷却通道的换热面积。
[0014]在一些实施例中，所述第一冷却通道和所述第二冷却通道分别沿所述第一冷却套的周向延伸为波浪形。
[0015]根据本技术第二方面实施例的晶体生长炉，包括根据本技术上述第一方面实施例的冷却装置。
[0016]根据本技术实施例的晶体生长炉，通过采用上述的冷却装置，可以节约晶体生长炉的拉晶时间，从而提高晶体生长炉的生产效率。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0019]图1是根据本技术一个实施例的冷却装置的示意图；
[0020]图2是图1中所示的冷却装置的又一示意图；
[0021]图3是图1中所示的第一冷却套和第二冷却套的爆炸图；
[0022]图4是图1中所示的第一冷却件的透视图；
[0023]图5是图1中所示的第二冷却件的透视图；
[0024]图6是图1中所示的冷却装置的第一冷却套处于第一工作位置的管路的展开图；
[0025]图7是图1中所示的冷却装置的第一冷却套处于第二工作位置的管路的展开图；
[0026]图8是根据本技术一个实施例的冷却装置的控制方法流程示意图；
[0027]图9是根据本技术一个实施例的冷却装置的控制方法流程示意图。
[0028]附图标记：
[0029]冷却装置100、进液管路101、出液管路102、...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种冷却装置(100)，其特征在于，所述冷却装置(100)用于晶体生长炉，且用于对晶体进行冷却，所述晶体生长炉具有进液管路(101)和出液管路(102)，所述冷却装置(100)包括：至少一个第一冷却套(1)，所述第一冷却套(1)内限定出分隔的第一冷却通道(1a)和第二冷却通道(1b)，所述第一冷却通道(1a)的冷却能力高于所述第二冷却通道(1b)的冷却能力，所述第一冷却套(1)适于在第一工作位置和第二工作位置之间切换，在所述第一工作位置下，所述第一冷却通道(1a)适于与所述进液管路(101)和所述出液管路(102)均连通、且所述第二冷却通道(1b)适于与所述进液管路(101)和所述出液管路(102)均隔断，在所述第二工作位置下，所述第二冷却通道(1b)适于与所述进液管路(101)和所述出液管路(102)均连通、且所述第一冷却通道(1a)适于与所述进液管路(101)和所述出液管路(102)均隔断；切换组件(2)，所述切换组件(2)用于驱动所述第一冷却套(1)在所述第一工作位置和所述第二工作位置之间切换。2.根据权利要求1所述的冷却装置(100)，其特征在于，所述第一冷却套(1)适于与所述进液管路(101)和所述出液管路(102)滑移配合，所述切换组件(2)用于驱动所述第一冷却套(1)相对于所述进液管路(101)和所述出液管路(102)绕所述第一冷却套(1)的中心轴线转动。3.根据权利要求2所述的冷却装置(100)，其特征在于，所述第一冷却套(1)和所述切换组件(2)分别为多个，多个所述第一冷却套(1)沿所述第一冷却套(1)的轴向依次设置，相邻两个所述第一冷却套(1)之间枢转相连，所述切换组件(2)用于驱动对应所述第一冷却套(1)绕所述第一冷却套(1)的中心轴线转动。4.根据权利要求2所述的冷却装置(100)，其特征在于，所述第一冷却套(1)为一个，所述第一冷却套(1)为第一冷却件(11)；或者，所述第一冷却套(1)为多个，多个所述第一冷却套(1)沿所述第一冷却套(1)的轴向依次设置，多个所述第一冷却套(1)的最下侧的一个为第一冷却件(11)，其余所述第一冷却套(1)为第二冷却件(12)，所述第二冷却件(12)还限定出两个回流通道，所述第二冷却件(12)在所述第一工作位置下，其中一个所述回流通道连通在所述第一冷却件(11)和所述出液管路(102)之间，所述第二冷却件(12)在所述第二工作位置下，另一个所述回流通道连通在所述第一冷却件(11)和所述出液管路(102)之间，其中，所述第一冷却件(11)的所述第一冷却通道(1a)和所述第一冷却件(11)的所述第二冷却通道(1b)均沿所述第一冷却件(11)的周向延伸成环形，所述第一冷却件(11)的所述第一冷却通道(1a)的进液口和出液口、以及所述第一冷却件(11)的所述第二冷却通道(1b)的进液口和出液口均位于所述第一冷却套(1)的顶部，所述第二冷却件(12)的所述第一冷却通道(1a)和所述第二冷却件(12)...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈俊宏，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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