搬送机构和搬送机构的设定方法技术

提供搬送机构和搬送机构的设定方法，即使工件的形状为四边形、圆形或其他形状，也容易设定搬送机构。该搬送机构包含：搬出单元，其从盒搬出工件；拍摄单元，其对搬出至规定的位置的工件的状态进行拍摄并存储；修正单元，其对工件的状态进行修正；搬送单元，其将修正后的工件载置于卡盘工作台的所需位置。该设定方法具有：载置工序，将工件载置于卡盘工作台的所需位置；反向搬送工序，将工件反向搬送至规定的位置；基准图像存储工序，对工件的状态进行拍摄，将所拍摄的工件的状态作为基准图像而进行存储；修正工序，对工件的状态进行拍摄，按照与基准图像一致的方式对工件的状态进行修正；保持工序，对修正后的工件进行搬送而保持于卡盘工作台。盘工作台。盘工作台。

【技术实现步骤摘要】
搬送机构和搬送机构的设定方法


[0001]本专利技术涉及将工件搬送至卡盘工作台的搬送机构和该搬送机构的设定方法。

技术介绍

[0002]由分割预定线划分而在正面上形成有IC、LSI等多个器件的工件(例如半导体的晶片)在通过磨削装置对背面进行磨削而加工成期望的厚度之后，通过切割装置分割成各个器件芯片，并用于移动电话、个人计算机等电子设备。
[0003]磨削装置大致包含：盒，其对多个晶片进行收纳；搬出单元，其将晶片从该盒搬出；暂放工作台，其暂放所搬出的晶片而进行对位；搬送单元，其将晶片从该暂放工作台搬送至卡盘工作台；以及磨削单元，其对搬送至该卡盘工作台的晶片进行磨削，该磨削装置能够将晶片加工成期望的厚度(例如参照专利文献1)。
[0004]另外，暂放在配设于磨削装置的暂放工作台上的晶片通过配设于暂放工作台的多个销向中心方向移动而与晶片的外周接触并将晶片的中心定位于暂放工作台的中心，由此进行对位，构成搬送单元的保持部被设定成从暂放工作台的中心移动至卡盘工作台的中心。
[0005]专利文献1：日本特开2011
‑
003611号公报
[0006]但是，在通过上述搬送单元将晶片搬送至卡盘工作台而载置于所需位置的情况下，必须以1mm以下的精度精密地实施，特别是在工件的形状为四边形的情况下，难以进行上述那样的基于多个销的中心的对位，并且需要在各边的方向均被准确地定位的状态下搬送至卡盘工作台的所需位置，搬送机构的设定存在不胜其烦的问题。

技术实现思路

[0007]本专利技术是鉴于上述事实而完成的，其主要的技术课题在于，提供即使工件的形状为四边形、圆形或其他形状也容易设定的搬送机构和该搬送机构的设定方法。
[0008]为了解决上述主要的技术课题，根据本专利技术，提供一种搬送机构，其将工件搬送至卡盘工作台，其中，该搬送机构构成为包含：搬出单元，其从载置于盒工作台的盒支承工件并搬出；拍摄单元，其对通过该搬出单元搬出至规定的位置的工件的状态进行拍摄并进行存储；修正单元，其对由该拍摄单元拍摄的工件的状态进行修正；以及搬送单元，其将修正后的工件搬送至卡盘工作台，并载置于该卡盘工作台的所需位置。
[0009]优选的是，该搬送机构与圆形和四边形的工件形状对应。
[0010]根据本专利技术，提供一种搬送机构的设定方法，该搬送机构的设定方法具有如下的工序：载置工序，将工件载置于该卡盘工作台的所需位置；反向搬送工序，通过该搬送单元将载置于该卡盘工作台的工件反向搬送至该规定的位置；以及基准图像存储工序，利用该拍摄单元对反向搬送至该规定的位置的工件的状态进行拍摄，将所拍摄的工件的状态作为基准图像而进行存储，该搬送机构的设定方法构成为包含如下的工序：修正工序，利用该拍摄单元对通过该搬出单元从该盒搬出至该规定的位置的工件的状态进行拍摄，按照与该基
准图像一致的方式通过该修正单元对工件的状态进行修正；以及保持工序，通过该搬送单元对修正后的工件进行搬送而保持于该卡盘工作台。
[0011]本专利技术的搬送机构是将工件搬送至卡盘工作台的搬送机构，其中，该搬送机构构成为包含：搬出单元，其从载置于盒工作台的盒支承工件并搬出；拍摄单元，其对通过该搬出单元搬出至规定的位置的工件的状态进行拍摄并进行存储；修正单元，其对由该拍摄单元拍摄的工件的状态进行修正；以及搬送单元，其将修正后的工件搬送至卡盘工作台，并载置于该卡盘工作台的所需位置，因此即使工件的形状为四边形、圆形或其他形状，也容易设定搬送机构，消除了不胜其烦的问题。
[0012]另外，本专利技术的搬送机构的设定方法具有如下的工序：载置工序，将工件载置于卡盘工作台的所需位置；反向搬送工序，通过搬送单元将载置于卡盘工作台的工件反向搬送至规定的位置；以及基准图像存储工序，利用拍摄单元对反向搬送至该规定的位置的工件的状态进行拍摄，将所拍摄的工件的状态作为基准图像而进行存储，该搬送机构的设定方法构成为包含如下的工序：修正工序，利用该拍摄单元对通过搬出单元从盒搬出至该规定的位置的工件的状态进行拍摄，按照与该基准图像一致的方式通过修正单元对工件的状态进行修正；以及保持工序，通过搬送单元对修正后的工件进行搬送而保持于该卡盘工作台，由此即使工件的形状为四边形、圆形或其他形状，也容易设定搬送机构，消除了不胜其烦的问题。
附图说明
[0013]图1是具有本专利技术的搬送机构的磨削装置的整体立体图。
[0014]图2是与图1所示的磨削装置的搬送机构对应的四边形的晶片、圆形的晶片以及卡盘工作台的立体图。
[0015]图3是示出反向搬送工序的实施方式的立体图。
[0016]图4是示出基准图像存储工序的实施方式的立体图。
[0017]图5是示出在修正工序中从盒搬出晶片的方式的立体图。
[0018]图6是示出修正工序的实施方式的立体图。
[0019]图7是示出搬出单元的其他实施方式的立体图。
[0020]图8是示出通过图7所示的搬出单元实施的修正工序的实施方式的立体图。
[0021]标号说明
[0022]1：磨削装置；2：搬送机构；3：保持单元；32：卡盘工作台；34a：第一区域；34b：第二区域；4：磨削单元；42：磨削磨轮；43：磨削磨具；5：盒；51：盒工作台；6：搬出单元；60：臂基台；61：臂机构；62：机器人手臂；63：吸引孔；6
’
：搬出单元；60：臂基台；61：臂机构；64：机器人手臂；65：机器人手臂罩；66：旋转板；67：吸引孔；7：暂放工作台；71：吸附卡盘；72：基部；73：移动单元；8：搬送单元；81：臂部；82：保持部；83：基端部；9：拍摄单元；10A：晶片(四边形)；10B：晶片(圆形)；11：磨削进给单元；12：显示单元；20：装置壳体；21：主体部；22：直立壁；100：控制单元；120、130：图像信息。
具体实施方式
[0023]以下，参照附图对基于本专利技术而构成的搬送机构和该搬送机构的设定方法的实施
方式进行详细说明。
[0024]图1示出配设有本实施方式的搬送机构2的磨削装置1的立体图。磨削装置1具有：保持单元3，其具有对板状的工件进行吸引保持的卡盘工作台32；磨削单元4，其对卡盘工作台32所吸引保持的工件进行磨削；盒5，其载置于盒工作台51，对多个工件进行收纳；搬出单元6，其从盒5支承工件并搬出；暂放工作台7，其暂放通过搬出单元6搬出的工件；搬送单元8，其将工件从暂放工作台7搬送至卡盘工作台32，并载置于卡盘工作台32的所需位置；拍摄单元9，其对搬出至暂放工作台7的工件的状态进行拍摄并进行存储；显示单元12；以及控制单元100，其与该显示单元12连接并且对各动作部进行控制。另外，本实施方式的工件是图2所示的板状的四边形的晶片10A或者圆形的晶片10B中的任意晶片，卡盘工作台32也与四边形的晶片10A、圆形的晶片10B中的任意晶片对应。
[0025]图1所示的磨削装置1具有装置壳体20。装置壳体20具有：大致长方体形状的主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬送机构，其将工件搬送至卡盘工作台，其中，该搬送机构构成为包含：搬出单元，其从载置于盒工作台的盒支承工件并搬出；拍摄单元，其对通过该搬出单元搬出至规定的位置的工件的状态进行拍摄并进行存储；修正单元，其对由该拍摄单元拍摄的工件的状态进行修正；以及搬送单元，其将修正后的工件搬送至卡盘工作台，并载置于该卡盘工作台的所需位置。2.根据权利要求1所述的搬送机构，其中，该搬送机构与圆形和四边形的工件形状对应。3.一种搬送机构的设定方法，是权利要求1或2所述的搬送机构的设定方法，其中，该搬送机构的设定方法具有如下的工序：载...

【专利技术属性】
技术研发人员：泽田知孝，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：