用于扫描电镜的岩石样品制备方法及系统技术方案

本公开实施例提供的用于扫描电镜的岩石样品制备方法，包括：对岩石进行机械研磨抛光处理；对所述机械研磨抛光处理的岩石进行氩离子抛光处理；对所述氩离子抛光处理的岩石进行镀膜处理，获得岩石样品；其中，所述岩石样品用于扫描电镜。这里，通过先对岩石进行机械研磨抛光再进行氩离子抛光处理，相较于仅对岩石进行单一方式的抛光处理，可以获得岩石观察面更加平整光滑、在扫描电镜下孔隙清晰的岩石样品，提高了扫描电镜对岩石样品的观察研究效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
用于扫描电镜的岩石样品制备方法及系统


[0001]本公开涉及但不限于地质领域，尤其涉及一种用于扫描电镜的岩石样品制备方法及系统。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜分析岩石，可以获得岩石的形貌、结构、成分和/或结晶学等信息，在科学研究、勘探和/或开采等多种应用场景中的应用越来越广泛。
[0003]通过现有技术制作的岩石样品往往存在样品的观察面面积小和/或在扫描电镜下成像质量较低等多种问题，大大影响了扫描电镜对岩石样品的观察研究。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本公开实施例公开了一种用于扫描电镜的岩石样品制备方法及系统。
[0005]根据本公开实施例的第一方面，提供一种用于扫描电镜的岩石样品制备方法，所述方法包括：
[0006]对岩石进行机械研磨抛光处理；
[0007]对所述机械研磨抛光处理的岩石进行氩离子抛光处理；
[0008]对所述氩离子抛光处理的岩石进行镀膜处理，获得岩石样品；其中，所述岩石样品用于扫描电镜。
[0009]在一个实施例中，所述方法还包括：在所述对岩石进行机械研磨抛光处理之前，对预定体积的岩石进行半镶嵌包埋处理。在一个实施例中，所述对预定体积的岩石进行半镶嵌包埋处理，包括：在半镶嵌包埋模具中加入包埋剂；将所述预定体积的岩石放入所述半镶嵌包埋模具中；继续向所述半镶嵌包埋模具中加入所述包埋剂，直至所述包埋剂的堆积面与岩石观察面之间的距离在预设范围内。
[0010]在一个实施例中，所述机械研磨抛光处理，包括：对岩石进行粗磨处理；对粗磨处理后的岩石进行精磨处理；对精磨处理后的岩石进行机械抛光处理。
[0011]在一个实施例中，所述氩离子抛光处理，包括：调整岩石观察面的高度，使岩石观察面可以用于抛光处理；通过预定的抛光参数对所述岩石进行氩离子抛光处理。
[0012]在一个实施例中，所述通过预定的抛光参数对所述岩石进行氩离子抛光处理，包括：通过第一电压下的氩离子对岩石进行氩离子抛光处理；通过第二电压下的氩离子对所述通过第一电压的氩离子进行氩离子抛光处理的岩石进行氩离子抛光处理；其中，所述第二电压低于第一电压。
[0013]在一个实施例中，所述镀膜处理，包括：根据预定的镀膜参数对岩石进行真空镀膜处理。
[0014]在一个实施例中，所述预定的抛光参数包括以下至少之一：电压；电流；抛光时长；离子枪的数量；离子枪的角度。
[0015]在一个实施例中，所述方法还包括：通过切割整形处理获得预定体积的岩石。
[0016]在一个实施例中，所述方法还包括：在对所述半镶嵌包埋处理的岩石进行机械研磨抛光处理之后，对所述机械研磨抛光的岩石进行清洁与烘干处理。
[0017]第二方面，本公开实施例提供一种用于扫描电镜的岩石样品制备系统，所述系统包括：
[0018]对所述预定体积的岩石进行半镶嵌包埋处理；
[0019]机械研磨抛光设备，用于对半镶嵌包埋处理后的预定体积岩石进行机械研磨抛光处理；
[0020]氩离子抛光设备，用于对所述机械研磨抛光处理的岩石进行氩离子抛光处理；
[0021]镀膜设备，用于对所述氩离子抛光处理的岩石进行镀膜处理，获得岩石样品；其中，所述岩石样品用于扫描电镜。
[0022]本公开实施例提供的用于扫描电镜的岩石样品制备方法，包括：对岩石进行机械研磨抛光处理；对所述机械研磨抛光处理的岩石进行氩离子抛光处理；对所述氩离子抛光处理的岩石进行镀膜处理，获得岩石样品；其中，所述岩石样品用于扫描电镜。通过先对岩石进行机械研磨抛光再进行氩离子抛光处理，相较于仅对岩石进行单一方式抛光处理，可以获得岩石观察面更加平整光滑、在扫描电镜下孔隙清晰的岩石样品，提高了扫描电镜对岩石样品的观察研究效果。
附图说明
[0023]图1为本公开实施例提供的一种用于扫描电镜的岩石样品制备方法的流程示意图。
[0024]图2为本公开实施例提供的一种用于扫描电镜的岩石样品制备方法的流程示意图。
[0025]图3为本公开实施例提供的一种氩离子抛光的示意图。
[0026]图4为本公开实施例提供的一种半镶嵌包埋处理的结构示意图。
[0027]图5为本公开实施例提供的一种氩离子抛光的示意图。
[0028]图6为本公开实施例提供的一种氩离子抛光参数。
[0029]图7为本公开实施例提供的一种扫描电镜图像的示意图。
[0030]图8为本公开实施例提供的一种扫描电镜图像的示意图。
[0031]图9为本公开实施例提供的一种用于扫描电镜的岩石样品制备方法的流程示意图。
[0032]图10为本公开实施例提供的一种扫描电镜图像的示意图。
[0033]图11为本公开实施例提供的一种扫描电镜图像的示意图。
[0034]图12为本公开实施例提供的一种扫描电镜图像的示意图。
[0035]图13为本公开实施例提供的一种扫描电镜图像的示意图。
[0036]图14为本公开实施例提供的一种扫描电镜图像的示意图。
[0037]图15为本公开实施例提供的一种扫描电镜图像的示意图。
[0038]图16为本公开实施例提供的一种扫描电镜图像的示意图。
具体实施方式
[0039]为了使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开作进一步地详细描述，所描述的实施例不应视为对本公开的限制，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。
[0040]在以下的描述中，涉及到“一些实施例”，其描述了所有可能实施例的子集，但是可以理解，“一些实施例”可以是所有可能实施例的相同子集或不同子集，并且可以在不冲突的情况下相互结合。
[0041]在以下的描述中，所涉及的术语“第一\第二\第三”仅仅是区别类似的对象，不代表针对对象的特定排序，可以理解地，“第一\第二\第三”在允许的情况下可以互换特定的顺序或先后次序，以使这里描述的本公开实施例能够以除了在这里图示或描述的以外的顺序实施。
[0042]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本公开的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述本公开实施例的目的，不是旨在限制本公开。
[0043]为了更好的理解本公开实施例，以下通过一些场景实施例进行说明：
[0044]在一个实施例中，所述岩石样品可以包括页岩样品。页岩气存在在页岩中，是一种存储量大、用途广泛与经济价值高的天然气资源，对页岩气的勘探开发的发展越来越广泛。页岩气通常存储在页岩的孔隙与裂缝中，通过扫描电镜观察研究页岩内部的微观结构与成分组成，在勘探开发的过程中至关重要。
[0045]页岩具有易碎易脱落的特性，且页岩中孔隙多为纳米级孔隙，难以制备出扫描电镜扫描区域大成像质量高的页岩样品。
[0046]在一个实施例中，所述常规用于扫描电镜岩石样品制备方法包括：获取表面与尺寸符合要求的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电镜的岩石样品制备方法，其特征在于，包括：对岩石进行机械研磨抛光处理；对所述机械研磨抛光处理的岩石进行氩离子抛光处理；对所述氩离子抛光处理的岩石进行镀膜处理，获得岩石样品；其中，所述岩石样品用于扫描电镜。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述对岩石进行机械研磨抛光处理之前，对预定体积的岩石进行半镶嵌包埋处理。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对预定体积的岩石进行半镶嵌包埋处理，包括：在半镶嵌包埋模具中加入包埋剂；将所述预定体积的岩石放入所述半镶嵌包埋模具中；继续向所述半镶嵌包埋模具中加入所述包埋剂，直至所述包埋剂的堆积面与岩石观察面之间的距离在预设范围内。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述机械研磨抛光处理，包括：对岩石进行粗磨处理；对粗磨处理后的岩石进行精磨处理；对精磨处理后的岩石进行机械抛光处理。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述氩离子抛光处理，包括：调整岩石观察面的高度，使岩石观察面可以用于抛光处理；通过预定的抛光参数对所述岩石进行氩离子抛光处理。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述通过预定的抛光参数对所述岩石...

【专利技术属性】
技术研发人员：李龙生，董虎，姚鹏飞，吴国强，刘月宁，魏铭江，杨武，
申请(专利权)人：数岩科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：