【技术实现步骤摘要】
一种超高真空原子力显微镜送样设备
[0001]本专利技术涉及原子力显微镜
，特别涉及一种超高真空原子力显微镜送样设备。
技术介绍
[0002]原子力显微镜，一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材样表面结构的分析仪器，它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质，将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。
[0003]现有技术中，原子力显微镜在进行送样时，通常采用人力送样的方式，在测量不同样本时需要停止原子力显微镜并重新装载样本，由于造超高真空的时间大约需要一周时间，此方式较为耗费时间和精力，
[0004]因此，如何提供一种超高真空原子力显微镜送样设备，能够有效减少测量时间，提高测量效率是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种超高真空原子力显微镜送样设备，能够有效减少测量时间，提高测量效率...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超高真空原子力显微镜送样设备，其特征在于，包括原子力显微镜主体、送样机构、传输机构、出样机构、驱动机构和抽真空机构，所述送样机构用于将样品输送至所述传输机构，所述传输机构用于将所述样品输送至所述出样机构，所述出样机构将所述样品输出至所述原子力显微镜主体的内腔，所述驱动机构用于驱动所述送样机构和所述传输机构运转，所述原子力显微镜主体用于对所述样品进行测量，以将所述样品中的合格样品和不合格样品进行识别，并控制所述合格样品和所述不合格样品从所述出样机构的不同区域滑出；所述原子力显微镜主体为密封腔体结构，所述送样机构、所述传送机构和所述出样机构均设置于所述原子力显微镜主体内，所述抽真空机构与所述原子力显微镜主体相连通，且所述抽真空机构能够将所述原子力显微镜主体的内腔抽取为预设真空范围值。2.根据权利要求1所述的超高真空原子力显微镜送样设备，其特征在于，所述原子力显微镜主体包括壳体，测量模块和控制面板，所述测量模块和所述控制面板电连接，所述送样机构、所述传输机构和所述出样机构均设置于所述壳体内部；所述测量模块包括图像获取模块、数据接收模块、数据整合模块、对比分析模块、反馈模块和通讯单元，所述图像获取模块用于获取所述样品的图像信息，并传输给所述数据接收模块，所述数据接收模块用于接收所述图像信息并传输给所述数据整合模块，所述数据整合模块用于将所述图像信息进行整合分类并传输给所述对比分析模块，所述对比分析模块用于将获取的所述图像信息与数据储存库存储的预设数据信息进行对比分析，并通过所述反馈模块和所述通讯单元将比较结果传输给所述控制面板，所述控制面板控制所述出样机构转动不同角度，以控制所述合格样品和所述不合格样品从不同区域滑出。3.根据权利要求1所述的超高真空原子力显微镜送样设备，其特征在于，还包括工作台、底座和安装座，所述工作台设置于所述底座上，所述安装座设置于所述底座的一侧，所述送样机构和所述传输机构均设置于所述工作台上，所述底座上开设有用于容纳所述出样机构的容纳腔，所述安装座上设置有用于安装所述驱动机构的安装腔。4.根据权利要求3所述的超高真空原子力显微镜送样设备，其特征在于，所述送样机构包括托盘、送样盘和送样筒；所述托盘固定于所述工作台上，所述送样筒固定于所述托盘上，所述送样筒为两端相连通的筒状结构，所述送样筒的底端面置于所述送样盘的上端面，所述送样筒用于盛放放置有所述样品的样品台；所述送样盘置于所述托盘上部且与所述托盘相搭接，沿所述送样盘的外壁开设有多个用于容纳所述样品台的置物槽，所述送样盘和所述托盘均为仿形的环形结构，所述送样盘能够沿所述托盘的周向旋转，且在所述送样盘旋转的过程...
【专利技术属性】
技术研发人员：许军，龚月，李承林，李想，赵倩，毛成状，姚本东，汪亮，高倩妹，游阿峰，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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