一种超高真空原子力显微镜送样设备制造技术

本发明专利技术公开了一种超高真空原子力显微镜送样设备，包括原子力显微镜主体、送样机构、传输机构、出样机构、驱动机构和抽真空机构，送样机构用于将样品输送至传输机构，传输机构用于将样品输送至出样机构，出样机构将样品输出至原子力显微镜主体的内腔，驱动机构用于驱动送样机构和传输机构运转，原子力显微镜主体用于对样品进行测量，以将样品中的合格样品和不合格样品进行识别，并控制合格样品和合格样品从出样机构的不同区域滑出，原子力显微镜主体为密封腔体结构，送样机构、传送机构和出样机构均设置于原子力显微镜主体内，抽真空机构与原子力显微镜主体相连通，且能将主体内抽取为预设真空范围值。上述结构可有效减少测量时间，提高测量效率。提高测量效率。提高测量效率。

【技术实现步骤摘要】
一种超高真空原子力显微镜送样设备


[0001]本专利技术涉及原子力显微镜
，特别涉及一种超高真空原子力显微镜送样设备。

技术介绍

[0002]原子力显微镜，一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材样表面结构的分析仪器，它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质，将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。
[0003]现有技术中，原子力显微镜在进行送样时，通常采用人力送样的方式，在测量不同样本时需要停止原子力显微镜并重新装载样本，由于造超高真空的时间大约需要一周时间，此方式较为耗费时间和精力，
[0004]因此，如何提供一种超高真空原子力显微镜送样设备，能够有效减少测量时间，提高测量效率是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种超高真空原子力显微镜送样设备，能够有效减少测量时间，提高测量效率。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种超高真空原子力显微镜送样设备，包括原子力显微镜主体、送样机构、传输机构、出样机构、驱动机构和抽真空机构，所述送样机构用于将样品输送至所述传输机构，所述传输机构用于将所述样品输送至所述出样机构，所述出样机构将所述样品输出至所述原子力显微镜主体的内腔，所述驱动机构用于驱动所述送样机构和所述传输机构运转，所述原子力显微镜主体用于对所述样品进行测量，以将所述样品中的合格样品和不合格样品进行识别，并控制所述合格样品和所述不合格样品从所述出样机构的不同区域滑出；
[0008]所述原子力显微镜主体为密封腔体结构，所述送样机构、所述传送机构和所述出样机构均设置于所述原子力显微镜主体内，所述抽真空机构与所述原子力显微镜主体相连通，且所述抽真空机构能够将所述原子力显微镜主体的内腔抽取为预设真空范围值。
[0009]优选的，所述原子力显微镜主体包括壳体，测量模块和控制面板，所述测量模块和所述控制面板电连接，所述送样机构、所述传输机构和所述出样机构均设置于所述壳体内部；
[0010]所述测量模块包括图像获取模块、数据接收模块、数据整合模块、对比分析模块、反馈模块和通讯单元，所述图像获取模块用于获取所述样品的图像信息，并传输给所述数据接收模块，所述数据接收模块用于接收所述图像信息并传输给所述数据整合模块，所述数据整合模块用于将所述图像信息进行整合分类并传输给所述对比分析模块，所述对比分析模块用于将获取的所述图像信息与数据储存库存储的预设数据信息进行对比分析，并通
过所述反馈模块和所述通讯单元将比较结果传输给所述控制面板，所述控制面板控制所述出样机构转动不同角度，以控制所述合格样品和所述不合格样品从不同区域滑出。
[0011]优选的，还包括工作台、底座和安装座，所述工作台设置于所述底座上，所述安装座设置于所述底座的一侧，所述送样机构和所述传输机构均设置于所述工作台上，所述底座上开设有用于容纳所述出样机构的容纳腔，所述安装座上设置有用于安装所述驱动机构的安装腔。
[0012]优选的，所述送样机构包括托盘、送样盘和送样筒；
[0013]所述托盘固定于所述工作台上，所述送样筒固定于所述托盘上，所述送样筒为两端相连通的筒状结构，所述送样筒的底端面置于所述送样盘的上端面，所述送样筒用于盛放放置有所述样品的样品台；
[0014]所述送样盘置于所述托盘上部且与所述托盘相搭接，沿所述送样盘的外壁开设有多个用于容纳所述样品台的置物槽，所述送样盘和所述托盘均为仿形的环形结构，所述送样盘能够沿所述托盘的周向旋转，且在所述送样盘旋转的过程中，所述样品台能够从所述送样筒落到所述送样盘的置物槽内，并旋转至所述传输机构上。
[0015]优选的，所述送样机构还包括弹性伸缩杆和刮板，所述弹性伸缩杆固定于所述托盘上，所述刮板的一端与所述弹性伸缩杆固连，所述刮板的另一端与所述送样盘的上表面相接触。
[0016]优选的，所述传输机构包括用于输送所述样品台的传输带，和分别设置于所述传输带两侧的第一挡板和第二挡板，所述传输带与所述驱动机构相连接。
[0017]优选的，所述驱动机构包括驱动组件和连接组件，所述连接组件能够连接所述驱动组件和所述出样机构，以及所述驱动组件与所述传输机构；
[0018]所述驱动组件包括驱动电机、连接盘和顶杆，所述连接盘和所述顶杆均设置于所述驱动电机的电机轴上，所述顶杆能够与所述连接组件连接或脱离，所述连接盘上设置有避让凹槽；
[0019]所述连接组件包括卡盘、第一转轴、第一盘齿、第二转轴、第二盘齿、第一齿轮、第二齿轮和滚轴，所述卡盘、所述第一盘齿和所述送样盘均与所述第一转轴相连，所述第二盘齿与所述第一盘齿相啮合，所述第二盘齿和第一齿轮均与所述第二转轴相连，所述第二齿轮与所述第一齿轮相啮合，所述第二齿轮设置于所述第一挡板上，所述滚轴穿过所述第二齿轮和所述第一挡板与所述传输带相连；
[0020]所述卡盘上设置有多个卡块，任意相邻两个所述卡块之间设置有滑槽，所述顶杆能够在所述驱动电机旋转的过程中插入所述滑槽内带动所述卡盘旋转，且能够从所述滑槽内脱出使得所述卡盘停止旋转。
[0021]优选的，所述出样机构包括驱动马达、调节齿轮、半齿板、啮合齿轮、导向座、出样筒和轴套，所述驱动马达与所述调节齿轮相连，所述调节齿轮通过所述半齿板与所述啮合齿轮相连接，所述啮合齿轮设置于所述出样筒上；
[0022]所述轴套固定于所述原子力显微镜主体上，所述出样筒设置于所述轴套上，所述导向座上倾斜设置有出样板，所述导向座设置于所述轴套的下端面，且所述出样板对应设置于所述出样筒的下端面。
[0023]优选的，所述出样板上设置有至少一个分隔板，所述分隔板将所述出样板分隔为
用于所述合格样品和所述不合格样品滑出的分隔区域。
[0024]优选的，所述抽真空机构包括分子泵、机械泵、钛泵和离子泵，所述分子泵、所述机械泵、所述钛泵和所述锂离子泵均与所述原子力显微镜主体相连通，使得所述原子例显微镜主体达到所述预设真空范围值。
[0025]由以上技术方案可以看出，当进行样品测量工作时，首先通过抽真空机构对原子力显微镜主体的内腔进行抽真空处理，当原子力显微镜主体的内腔的真空度为预设真空范围值时，便可开始进行测量工作，首先，启动驱动机构，驱动机构驱动送样机构和传输机构运转，使得送样机构将样品输送至传输机构，在样品被传输的过程中，原子力显微镜主体对样品进行测量，以将所述样品中的合格样品和不合格样品进行识别，并控制合格样品和不合格样品从出样机构的不同区域滑出至原子力显微镜主体的内腔。和现有技术相比，上述超高真空原子力显微镜送样设备集送样、传输、出样于一体，大大节省了测量时间，提高了测量效率。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面对实施例或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超高真空原子力显微镜送样设备，其特征在于，包括原子力显微镜主体、送样机构、传输机构、出样机构、驱动机构和抽真空机构，所述送样机构用于将样品输送至所述传输机构，所述传输机构用于将所述样品输送至所述出样机构，所述出样机构将所述样品输出至所述原子力显微镜主体的内腔，所述驱动机构用于驱动所述送样机构和所述传输机构运转，所述原子力显微镜主体用于对所述样品进行测量，以将所述样品中的合格样品和不合格样品进行识别，并控制所述合格样品和所述不合格样品从所述出样机构的不同区域滑出；所述原子力显微镜主体为密封腔体结构，所述送样机构、所述传送机构和所述出样机构均设置于所述原子力显微镜主体内，所述抽真空机构与所述原子力显微镜主体相连通，且所述抽真空机构能够将所述原子力显微镜主体的内腔抽取为预设真空范围值。2.根据权利要求1所述的超高真空原子力显微镜送样设备，其特征在于，所述原子力显微镜主体包括壳体，测量模块和控制面板，所述测量模块和所述控制面板电连接，所述送样机构、所述传输机构和所述出样机构均设置于所述壳体内部；所述测量模块包括图像获取模块、数据接收模块、数据整合模块、对比分析模块、反馈模块和通讯单元，所述图像获取模块用于获取所述样品的图像信息，并传输给所述数据接收模块，所述数据接收模块用于接收所述图像信息并传输给所述数据整合模块，所述数据整合模块用于将所述图像信息进行整合分类并传输给所述对比分析模块，所述对比分析模块用于将获取的所述图像信息与数据储存库存储的预设数据信息进行对比分析，并通过所述反馈模块和所述通讯单元将比较结果传输给所述控制面板，所述控制面板控制所述出样机构转动不同角度，以控制所述合格样品和所述不合格样品从不同区域滑出。3.根据权利要求1所述的超高真空原子力显微镜送样设备，其特征在于，还包括工作台、底座和安装座，所述工作台设置于所述底座上，所述安装座设置于所述底座的一侧，所述送样机构和所述传输机构均设置于所述工作台上，所述底座上开设有用于容纳所述出样机构的容纳腔，所述安装座上设置有用于安装所述驱动机构的安装腔。4.根据权利要求3所述的超高真空原子力显微镜送样设备，其特征在于，所述送样机构包括托盘、送样盘和送样筒；所述托盘固定于所述工作台上，所述送样筒固定于所述托盘上，所述送样筒为两端相连通的筒状结构，所述送样筒的底端面置于所述送样盘的上端面，所述送样筒用于盛放放置有所述样品的样品台；所述送样盘置于所述托盘上部且与所述托盘相搭接，沿所述送样盘的外壁开设有多个用于容纳所述样品台的置物槽，所述送样盘和所述托盘均为仿形的环形结构，所述送样盘能够沿所述托盘的周向旋转，且在所述送样盘旋转的过程...

【专利技术属性】
技术研发人员：许军，龚月，李承林，李想，赵倩，毛成状，姚本东，汪亮，高倩妹，游阿峰，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：