一种超高真空原位滴水装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及超高真空设备技术领域，尤其涉及一种超高真空原位滴水装置，包括内部中空形成滴水腔的滴水腔体，滴水腔体上安装有用于向滴水腔内传入或传出样品的进样组件、于滴水腔内承托样品的样品台组件、用于对滴水腔进行抽真空的冷泵组件、用于向滴水腔内提供水气的水气路组件、于滴水腔内在冷头处将部分水气形成为水滴并滴向样品表面的控温冷头组件、用于检测控温冷头组件的冷头温度的热偶组件以及供操作者观察滴水腔内部情况的观察窗，进样组件、样品台组件、冷泵组件、水气路组件、控温冷头组件、热偶组件和观察窗均与滴水腔体密封配合连接。由控温冷头组件控制冷头温度，成本低廉、结构简单易加工。结构简单易加工。结构简单易加工。

【技术实现步骤摘要】
一种超高真空原位滴水装置


[0001]本专利技术涉及超高真空设备
，尤其涉及一种超高真空原位滴水装置。

技术介绍

[0002]水在地球表面的覆盖度超过70％，在众多生物、物理及化学过程中都具有极其重要的作用，近些年来，随着表面科学日渐深入的研究，液固界面作用本质受到更多的关注，尤其是不同固体表面与水的相互作用。目前纳米尺度的高精度表面结构表征方法，如扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope，STM)，或电子结构表征方法(如X射线光电子能谱)，均多处于超高真空环境中，因为大气环境中总是存在无法预测、无法识别的气体分子可能吸附在样品表面或溶解在水中形成污染物，包括在水中微量溶解的氧气，在研究水作用时也能带来无法忽略的影响。为了防止大气污染，研究者们通常在手套箱中开展复杂液固环境样品处理，再转移到超高真空环境中，但是该方法实际操作中很难避免碳污染，时间越长样品表面污染越多，后期传入超高真空腔体中也很难通过STM获得高分辨图像。为了得到更干净的表面，迫切需要研究者们发展原位操作方法，实现材料液固表界面前沿研究。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超高真空原位滴水装置，其特征在于，包括内部中空形成滴水腔的滴水腔体(1)，所述滴水腔体(1)上安装有用于向所述滴水腔内传入或传出样品的进样组件(2)、于所述滴水腔内承托所述样品的样品台组件(3)、用于对所述滴水腔进行抽真空的冷泵组件(4)、用于向所述滴水腔内提供水气的水气路组件(5)、于所述滴水腔内在冷头处将部分所述水气形成为水滴并滴向所述样品表面的控温冷头组件(6)、用于检测所述控温冷头组件(6)的冷头(63)温度的热偶组件(7)以及供操作者观察所述滴水腔内部情况的观察窗(8)，所述进样组件(2)、所述样品台组件(3)、所述冷泵组件(4)、所述水气路组件(5)、所述控温冷头组件(6)、所述热偶组件(7)和所述观察窗(8)均与所述滴水腔体(1)密封配合连接。2.根据权利要求1所述的超高真空原位滴水装置，其特征在于，所述控温冷头组件(6)包括冷头法兰(61)、冷头筒(62)、冷头(63)、散热水箱(64)和半导体制冷片(65)，所述冷头法兰(61)与所述滴水腔体(1)密封配合连接，所述冷头筒(62)的一端与所述冷头法兰(61)的中心通孔密封连接，且另一端伸入所述滴水腔内，所述冷头筒(62)内部中空形成空腔，所述空腔位于所述滴水腔内的一端开设有安装通孔，所述冷头(63)与所述安装通孔密封连接，所述散热水箱(64)的一端从所述空腔的另一端伸入所述空腔内并通过所述半导体制冷片(65)与所述冷头(63)导热连接，所述散热水箱(64)的另一端设有用于向所述散热水箱(64)内导入冷却水的进水管(66)和导出所述散热水箱(64)内的冷却水的出水管(67)。3.根据权利要求1所述的超高真空原位滴水装置，其特征在于，所述样品台组件(3)包括样品法兰盘(31)、样品柱(32)、板凳支架(33)、弹片(34)、垫块(35)和样品架(36)，所述样品法兰盘(31)与所述滴水腔体(1)密封配合连接，所述样品柱(32)的一端与所述样品法兰盘(31)连接，且另一端伸入所述滴水腔内并与所述板凳支架(33)连接，所述弹片(34)设于所述板凳支架(33)上，所述样品架(36)通过所述垫块(35)架设在所述板凳支架(33)上并位于所述弹片(34)的上方，所述样品架(36)的两侧形成有用于与样品托卡接配合的限位槽(361)，所述样品架(36)的中心设有供所述弹片(34)穿过以接触所述样品托的镂空区域(362)。4.根据权利要求1所述的超高真空原位滴水装置，其特征在于，所述冷泵组件(4)包括冷泵法兰(41)、冷泵气路管(42)、冷泵气路阀(43)和抽真空泵，所述冷泵法兰(41)与所述滴水...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩钰，周琴，赵爱迪，
申请(专利权)人：上海科技大学，
类型：发明
国别省市：