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一种超高真空原位滴水装置制造方法及图纸
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下载一种超高真空原位滴水装置的技术资料
文档序号:34288514
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本发明涉及超高真空设备技术领域,尤其涉及一种超高真空原位滴水装置,包括内部中空形成滴水腔的滴水腔体,滴水腔体上安装有用于向滴水腔内传入或传出样品的进样组件、于滴水腔内承托样品的样品台组件、用于对滴水腔进行抽真空的冷泵组件、用于向滴水腔内提供...
该专利属于上海科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海科技大学授权不得商用。
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