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本发明公开了一种超高真空原子力显微镜送样设备，包括原子力显微镜主体、送样机构、传输机构、出样机构、驱动机构和抽真空机构，送样机构用于将样品输送至传输机构，传输机构用于将样品输送至出样机构，出样机构将样品输出至原子力显微镜主体的内腔，驱动机构...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。

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