晶圆检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种晶圆检测装置，运动组件用于承载并驱动晶圆翻转；所述照明组件用于发出非平行的照明光束至所述晶圆的待测表面上；图像检测组件用于在所述晶圆翻转至预定角度时获取所述待测表面的图像。本实用新型专利技术由于配置了发出非平行的照明光束的照明组件，即使所述晶圆的翻转角度较大，所述待测表面也能够被照明光束覆盖，避免图像出现阴阳面，且图像的畸变更小，图像中的晶圆更接近于圆形，有利于后续的缺陷检测；并且，本实用新型专利技术不需要增加所述照明组件的宽度，可以减小装置的体积。积。积。

【技术实现步骤摘要】
晶圆检测装置


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种晶圆检测装置。

技术介绍

[0002]晶圆可加工制作成各种电路元件结构，从而形成有特定电性功能的集成电路产品。一般晶圆的加工制作过程繁琐且复杂，若晶圆上存在缺陷将导致制备而成的集成电路产品失效，降低产品的良率，提高制作成本。因此，需要对晶圆上的缺陷进行实时检测，以便及时去除缺陷或停止制备过程，同时还需要在来料端和出货端对整片晶圆进行宏观检测，从而发现宏观缺陷(一般指尺寸大于100微米的缺陷)，可以通过人眼直接观察。晶圆在生产以及各个工艺步骤运输过程中，均会存在产生宏观缺陷的可能性，常见的宏观缺陷有色差、水印、气泡、划痕以及工艺微粒等。
[0003]由于晶圆的待测表面通常是镜面或类镜面，用于采集图像的图像检测组件不能设置在晶圆的正上方，否则会采集到图像检测组件或照明组件的反射像，对后续缺陷检测形成干扰。因此，需要将晶圆放置在运动组件上，令运动组件驱动晶圆翻转一定角度后再采集晶圆的图像。然而，当晶圆的翻转角度较大时，照明组件发出的照明光束可能无法完全覆盖待测表面，导致采集的图像出现阴阳面；并且采集的图像中晶圆的畸变也较大(晶圆会畸变为长宽比较大的椭圆形)，不利于后续的缺陷检测。虽然可以通过增加照明组件的宽度使得待测表面能够被照明光束完全覆盖，然而，受限于检测装置的体积，照明组件的宽度无法进一步增加。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆检测装置，以解决晶圆的翻转角度较大时，照明组件发出的照明光束无法完全覆盖晶圆的待测表面的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种晶圆检测装置，包括：
[0006]运动组件，用于承载并驱动晶圆翻转；
[0007]照明组件，用于发出非平行的照明光束至所述晶圆的待测表面上；以及，
[0008]图像检测组件，用于在所述晶圆翻转至预定角度时获取所述待测表面的图像。
[0009]可选的，所述照明组件包括一个照明单元，所述照明单元用于发出非平行的照明光束。
[0010]可选的，所述照明单元为一体式折弯光源、弧形光源或穹顶光源。
[0011]可选的，所述照明组件包括至少两个照明单元，每个所述照明单元用于发出非平行或平行的照明光束。
[0012]可选的，所述照明单元为平板光源、一体式折弯光源、弧形光源及穹顶光源中的至少一者。
[0013]可选的，所述照明单元具有两个，所述图像检测组件位于所述两个所述照明单元之间。
[0014]可选的，两个所述照明单元垂直设置。
[0015]可选的，所述图像检测组件位于所述照明组件发出的照明光束之外，所述照明组件位于所述图像检测组件的检测视野之外。
[0016]可选的，所述运动组件驱动所述晶圆在一预定角度范围内翻转，所述晶圆翻转至所述预定角度范围内的每个角度时，所述待测表面均可被照明光束完全覆盖。
[0017]可选的，所述待测表面可被任一所述照明单元发出的照明光束覆盖；或者，所述待测表面可被至少两个所述照明单元发出的照明光束拼接后覆盖。
[0018]可选的，所述预定角度范围为0
°
～90
°
。
[0019]可选的，每个所述照明单元的最大宽度均小于400毫米。
[0020]可选的，还包括：
[0021]控制组件，用于单独控制每个所述照明单元的开启和关闭。
[0022]可选的，所述图像检测组件获取的图像用于实现所述晶圆的缺陷检测或对准。
[0023]在本技术提供的晶圆检测装置中，运动组件用于承载并驱动晶圆翻转；所述照明组件用于发出非平行的照明光束至所述晶圆的待测表面上；图像检测组件用于在所述晶圆翻转至预定角度时获取所述待测表面的图像。本技术由于配置了发出非平行的照明光束的照明组件，即使所述晶圆的翻转角度较大，所述待测表面也能够被照明光束覆盖，避免图像出现阴阳面，且图像的畸变更小，图像中的晶圆更接近于圆形，有利于后续的缺陷检测；并且，本技术不需要增加所述照明组件的宽度，可以减小装置的体积。
附图说明
[0024]图1为本技术实施例一提供的晶圆检测装置的结构示意图；
[0025]图2为本技术实施例二提供的晶圆检测装置的结构示意图；
[0026]图3为本技术实施例三提供的晶圆检测装置示意图；
[0027]图4为本技术实施例四提供的晶圆检测装置示意图；
[0028]其中，附图标记为：
[0029]10
‑
运动组件；11
‑
晶圆；21
‑
第一照明单元；22
‑
第二照明单元；23
‑
第三照明单元；24
‑
第四照明单元；25
‑
第五照明单元；30
‑
图像检测组件；31
‑
面阵相机； 32
‑
镜头；
[0030]X
‑
X方向；Y
‑
Y方向；Z
‑
Z方向；a
‑
晶圆的翻转角度。
具体实施方式
[0031]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0032]实施例一
[0033]图1为本实施例提供的晶圆检测装置的结构示意图。如图1所示，所述晶圆检测装置包括运动组件10、照明组件及图像检测组件30。为了便于描述，本实施例中，所述照明组件包括两个照明单元，但应理解，在其他实施例中，所述照明组件可以包括一个、三个或三个以上的所述照明单元。
[0034]具体而言，所述运动组件10可以是一运动台，所述运动组件10具有一吸附面，所述
晶圆11放置于所述吸附面上，通过所述吸附面的吸附作用将所述晶圆11固定。本实施例中，将所述晶圆11的背面与所述吸附面贴合，将所述晶圆11的正面作为其待测表面，但不应以此为限，在其他实施例中，可以将所述晶圆11的正面与所述吸附面贴合，将所述晶圆11的背面作为其待测表面。
[0035]进一步地，自然状态下，所述运动组件10的吸附面与XY平面平行，相应的，所述晶圆11的待测表面也与XY平面平行。所述运动组件10可驱动所述晶圆11相对于XY平面在一预定角度范围内翻转，所述预定角度范围可以是 0
°
～90
°
。图1中示意性地展示出了所述晶圆11的翻转角度a为70
°
的情况。
[0036]本实施例中，两个所述照明单元分别为第一照明单元21和第二照明单元22，所述第一照明单元21和所述第二照明单元22均为面阵的平板光源，也即所述第一照明单元21和所述第二照明单元22发出的照明光束均为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：运动组件，用于承载并驱动晶圆翻转；照明组件，用于发出非平行的照明光束至所述晶圆的待测表面上；以及，图像检测组件，用于在所述晶圆翻转至预定角度时获取所述待测表面的图像。2.如权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述照明组件包括一个照明单元，所述照明单元用于发出非平行的照明光束。3.如权利要求2所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述照明单元为一体式折弯光源、弧形光源或穹顶光源。4.如权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述照明组件包括至少两个照明单元，每个所述照明单元用于发出非平行或平行的照明光束。5.如权利要求4所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述照明单元为平板光源、一体式折弯光源、弧形光源及穹顶光源中的至少一者。6.如权利要求4或5所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述照明单元具有两个，所述图像检测组件位于两个所述照明单元之间。7.如权利要求6所述的晶圆检测装置，其特征在于，两个所述照明单元垂直设置。8.如权利要求1
‑
5中任一项所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述图像检测组件位于所述照明组件发出的照明...

【专利技术属性】
技术研发人员：张记晨，杨金国，周许超，邹秀阳，孙书诚，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：