一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置制造方法及图纸

技术编号:35794230 阅读:11 留言:0更新日期:2022-12-01 14:44
本实用新型专利技术涉及一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置,所述检测装置包括安装架,所述安装架的下部设有环形框,所述环形框内设有光源,所述光源为环形光源,安装架上设有相机,所述安装架侧壁设有固定板,所述固定板中部设有圆形的开口,所述固定板的下侧设有穹顶灯,所述环形光源与穹顶灯相互作用。本实用新型专利技术利用穹顶灯光的水平特性与环形光组合,既能够检出待测区域表面颜色差异的缺陷,又能够检测出平面上出现高低差的缺陷(可明确分辨出氧化膜残留、玻璃残留、凹坑),同时两个光源不存在阻挡干扰,并且在穹顶灯光下显空和玻璃断开缺陷特征明显,可以被准确识别,进一步提高了检测的精度,减轻了工作人员后期的工作量。减轻了工作人员后期的工作量。减轻了工作人员后期的工作量。

【技术实现步骤摘要】
一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置


[0001]本技术属于晶片检测
,特别涉及一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置。

技术介绍

[0002]裸片是指在加工厂生产出来的芯片,即是晶圆经过切割测试后没有经过封装的芯片,这种裸片上只有用于封装的压焊点,是不能直接应用于实际电路当中的。然而裸片极易受外部环境的温度、杂质和物理作用力的影响,很容易遭到破坏,所以必须封入一个密闭空间内,引出相应的引脚,才能作为一个基本的元器件使用,由于其容易受到外部因素而遭到破坏,所以,需要对裸片进行表面缺陷的检测。
[0003]对于GPP裸片而言,传统的检测方式包括视觉AOI检测,视觉AOI检测技术是模仿人工通过显微镜目检的情景,将相机与镜头组合好后,选用一个高角度环形光作为光源,将光源安装套在镜头中间,拍摄出来的图像与显微镜近似,但上述拍摄方法中,由于光源单一,沟底玻璃会对检测裸片进行干扰,并且相机拍摄时也会将检测台面上的瑕疵,例如氧化膜残留、玻璃点和凹坑拍摄进照片里,使得工作人员需要对照片里的瑕疵进行区分,而单个环形光的拍摄方式,使得玻璃上的显空与玻璃断裂区分度低,通过图像难以与复杂的沟槽玻璃区分,同时检测台面上的玻璃点、氧化膜残留、坑这三种缺陷也难以区分,这些缺陷需要人工在显微镜下将产品多次转换角度才能区分,普通单个光源在2D图像上难以明确区分,增大了工作人员后期的工作量,并且检测精度不高。

技术实现思路

[0004]针对上述问题,本技术提供一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置,所述检测装置包括安装架,所述安装架的下部设有环形框,所述环形框内设有光源,所述光源为环形光源,安装架上设有相机,所述安装架侧壁设有固定板,所述固定板中部设有圆形的开口,所述固定板的下侧设有穹顶灯,所述环形光源与穹顶灯相互作用,环形光源用于检测GPP裸片表面的颜色异常缺陷,在环形光源照射到GPP裸片的颜色异常缺陷部位时,会呈现黑色;穹顶灯用于根据GPP裸片上缺陷的NG标准对缺陷进行细分。
[0005]优选地,所述安装架侧壁设有辅助板,所述辅助板侧壁设有固定块,所述固定块上侧壁与相机固定连接,所述固定块下侧设有与相机连接的远心镜头。
[0006]优选地,所述远心镜头与穹顶灯固定连接,所述远心镜头的下端穿过固定板中部的开口。
[0007]优选地,所述环形框的口径从上往下逐渐减小。
[0008]优选地,所述安装架上设有第一滑动组件,相机和辅助板均与第一滑动组件连接。
[0009]优选地,所述第一滑动组件包括设置在安装架上的电动滑轨,电动滑轨内设有多个电动滑块,相机和辅助板均与对应的电动滑块连接。
[0010]优选地,所述穹顶灯位于远心镜头正下方并紧贴远心镜头。
[0011]优选地,所述穹顶灯的灯光颜色为蓝色。
[0012]优选地,所述安装架上设有第二滑动组件,环形框与第二滑动组件连接。
[0013]优选地,所述第二滑动组件包括设置在安装架两侧的侧滑轨,环形框与侧滑轨连接。
[0014]优选地,所述环形框的上表面设有两个弧形的连接耳,连接耳位于环形框的两端,连接耳延伸至对应的侧滑轨内并与侧滑轨滑动连接。
[0015]优选地,所述固定板的截面呈L型结构。
[0016]本技术具有以下有益效果:
[0017](1)本技术中,在远心镜头的下端设置有穹顶灯,并且,在穹顶灯的外围布设有环形框,环形框内设有环形的光源,利用穹顶灯光的水平特性与环形光组合,既能够检出待测区域表面颜色差异的缺陷,又能够检测出平面上出现高低差的缺陷(可明确分辨出氧化膜残留、玻璃残留、凹坑),同时两个光源不存在阻挡干扰,并且在穹顶灯光下显空和玻璃断开缺陷特征明显,可以被准确识别,进一步提高了检测的精度,减轻了工作人员后期的工作量;
[0018](2)本技术主要通过设置穹顶光与低角度环形光组合,这种设置方式在2D图像上能够检测金属台面的氧化膜残留、玻璃点和凹坑的同时检测玻璃上的显空与玻璃断裂,环形光的色彩信息可以将检测台面上所有颜色异常缺陷检出,氧化膜残留、玻璃点与坑在环形光下都是发黑缺陷,但是不同的缺陷NG标准不同,需要细分,而穹顶光的水平光特性,可以将凹坑和玻璃残留这样的凹陷和凸起缺陷细分出来,显空与亮线断开,玻璃上都会存在高度变化再在穹顶光的水平特性下能够立马显现出缺陷,穹顶光的光源效果对缺陷特征过于敏感,细微缺陷都会检出,会降低良率,再在环形光的效果下做二次判断,这样准确度与良率都能兼顾;
[0019](3)本技术中,在安装架上设有电动滑轨,电动滑轨上设有多个电动滑块,相机和辅助板均与对应的电动滑块连接,通过控制电动滑轨能够实现对相机的高度的调节,同时也实现了对远心镜头和穹顶灯高度的调节;并且,在安装架的两侧设有侧滑轨,环形框上设有连接耳,连接耳延伸至对应的侧滑轨内并与侧滑轨滑动连接,通过控制侧滑轨能够调节环形框以及其内部环形光源的高度,综上,本技术能够根据拍摄需要调节穹顶灯、相机以及环形光源的位置,为拍摄出更加清晰的图像提供了更好的条件。
[0020]本技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所指出的结构来实现和获得。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1示出本技术实施例中检测装置的结构示意图;
[0023]图2示出本技术实施例中检测装置另一视角的结构示意图。
[0024]图中:环形框1;穹顶灯2;远心镜头3;相机4;安装架5;固定板6;辅助板7;固定块8;电动滑轨9;电动滑块10;侧滑轨11。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0026]本技术公开了一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置,如附图1所示,检测装置包括安装架5,安装架5侧壁设有固定板6,固定板6的截面呈L型结构,固定板6中部设有圆形的开口,固定板6的下侧设有穹顶灯2,穹顶灯2的灯光竖直向下照射,安装架5的下部设有环形框1,环形框1内设有光源,光源为环形光源,环形光源与穹顶灯2相互作用,环形光源用于检测GPP裸片表面的颜色异常缺陷,在环形光源照射到GPP裸片的颜色异常缺陷部位时,会呈现黑色;穹顶灯2用于根据G本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置,其特征在于,所述检测装置包括安装架(5),所述安装架(5)的下部设有环形框(1),所述环形框(1)内设有光源,所述光源为环形光源,安装架(5)上设有相机(4),所述安装架(5)侧壁设有固定板(6),所述固定板(6)中部设有圆形的开口,所述固定板(6)的下侧设有穹顶灯(2),所述环形光源与穹顶灯(2)相互作用,环形光源用于检测GPP裸片表面的颜色异常缺陷,在环形光源照射到GPP裸片的颜色异常缺陷部位时,会呈现黑色;穹顶灯(2)用于根据GPP裸片上缺陷的NG标准对缺陷进行细分。2.根据权利要求1所述一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置,其特征在于,所述安装架(5)侧壁设有辅助板(7),所述辅助板(7)侧壁设有固定块(8),所述固定块(8)上侧壁与相机(4)固定连接,所述固定块(8)下侧设有与相机(4)连接的远心镜头(3)。3.根据权利要求2所述一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置,其特征在于,所述远心镜头(3)与穹顶灯(2)固定连接,所述远心镜头(3)的下端穿过固定板(6)中部的开口。4.根据权利要求1所述一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置,其特征在于,所述环形框(1)的口径从上往下逐渐减小。5.根据权利要求2所述一种GPP裸片表面缺陷视觉检测装置,其特征在于,所述安装架(5)上设有第一滑动组件...

【专利技术属性】
技术研发人员:李盘宇徐飞郑飞
申请(专利权)人:合肥图迅电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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